首页 期刊 大众标准化 对于光干涉测量几何长度的相对不确定度极限研究 【正文】

对于光干涉测量几何长度的相对不确定度极限研究

作者:王典泽 山西省计量科学研究院
光干涉   几何长度   相对不确定度   极限   测量  

摘要:随着社会与科技的发展,测量长度相关技术的进步对于推动人类在各个行业领域进步发挥了重要作用,从天文以及纳米尺度的发现到发展,可以说测量几何长度技术已经取得了飞跃进步,使用光干涉法测量几何长度则是更进一步证明了人类科技的卓越进步。然而,真空条件下对波长基准的定义并不能代表在空气条件下测量出的结果。空气当中的温度、压力等因素的变化都会使得波长处在不断变化当中。使用光学方法来测量几何长度相对不确定度受到光波波长的影响,制约了其更进一步的发展。文章主要介绍了光干涉测量几何长度的几种常用方法,包括折射率修正技术、现代智能化的干涉仪以及干涉条纹的发展及其可能到达的精度极限。

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