摘要：通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物。以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等。结果表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In4Sn3O12,B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In4Sn3O12和'窄片'In2SnO5,并且A靶第二相比B靶多出约8.32%,比C靶多出约4.48%。

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