摘要：一种选择性镀膜装置，由一真空腔室，一旋转支撑组件，复数个承盘，复数个基材整合体与蒸镀源所共同组成；旋转支撑组件包含马达和支撑架；基材整合体则包含具有孔洞及磁性的金属薄膜，
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
热门期刊服务
相关文章
影响因子：0.92
期刊级别：北大期刊
发行周期：月刊
期刊在线咨询，1-3天快速下单！
查看更多>
超1000杂志，价格优惠，正版保障！
一站式期刊推荐服务，客服一对一跟踪服务！
