摘要：衡量微电子制造业生命力有三个方面:一是集成度(包括相关工艺技术);二是晶圆直径;三是产量规模.这三个要素当然与项目投入、制造设备、工艺技术有直接的关系,但与动力环境的状况也有密切的联系,动力环境在微电子制造中处于相当重要的地位和发挥着巨大的作用.
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