摘要：从波长、模式、偏振几个维度的复用/解复用和路由出发，分别提出了新颖的器件设计方法并制作了相应的硅基光子器件，包括：阵列波导光栅器件（AWG）/刻蚀衍射光栅器件（EDG）、模式分离合束器件、偏振分离耦合光栅、偏振分离/分离旋转器件。AWG可以采用一步刻蚀简单工艺制作形成，EDG插损得到大幅降低，模式分离器件带宽增大，插损也得到降低，偏振分离耦合光栅的耦合效率得到有效提升，偏振分离/旋转器件的插损和带宽也被显著改进。以上器件全部符合互补金属氧化物半导体（CMOS）-180nm工艺标准，这些器件的研制工作为多维度光波复用/解复用处理及传输提供了先进的器件技术保障。

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