真空科学与技术学报

真空科学与技术学报杂志 北大期刊 CSCD期刊 统计源期刊

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

杂志简介:《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准,自1981年创刊,国内刊号为11-5177/TB,是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊,致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:综述评述、研究快报、研究论文

主管单位:中国科学技术协会
主办单位:中国真空学会
国际刊号:1672-7126
国内刊号:11-5177/TB
全年订价:¥ 700.00
创刊时间:1981
所属类别:工业类
发行周期:月刊
发行地区:北京
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.53
复合影响因子:0.43
总发文量:2514
总被引量:9677
H指数:21
引用半衰期:4.2318
立即指数:0.0045
期刊他引率:0.4178
平均引文率:15.5495
  • 基于均匀离子密度的容性耦合射频放电等离子体的实验诊断研究

    作者:朱寒; 何湘; 王春旺; 陈秉岩; 陈建平; 陈玉东; 曾小军 刊期:2019年第09期

    容性耦合射频(CCRF)放电可用于制备大体积、均匀、低温非热平衡等离子体,已得到了国内外的广泛关注。针对CCRF放电过程中等离子体参量的诊断问题,本文提供了一种基于均匀离子密度的描述CCRF放电的等效回路模型(ECM),并根据等效阻抗原理引入能量平衡方程,对等离子体特征参量电子密度n_e和电子温度T_e进行了诊断,诊断结果与等离子体发射光谱诊断结...

  • 高频高压低温等离子体发生研究

    作者:伍远博; 陶智; 黄敏; 顾中浩; 徐超; 周长伟; 江均均; 吴迪 刊期:2019年第09期

    针对传统气体放电式等离子体发生器电源效率不高、使用寿命有限等问题,提出了一种零电压软开关高频高压低温等离子体发生方法,并设计了一个高效率低损耗的高频高压低温等离子体发生系统。该系统通过移相全桥软开关控制电路提供控制信号,光耦隔离电路降低强电干扰,在零电压软开关驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现低温等离子体的稳定...

  • 纳秒脉冲驱动下铝基微沟道等离子体放电特性研究

    作者:麻晓琴; 周璇; 王耀功; 杨静远; 张小宁 刊期:2019年第09期

    本文设计制作了基于铝基衬底的微沟道阵列器件,并研究了纳秒脉冲微沟道等离子体放电特性。通过调控纳秒脉冲输出波形,获得了脉冲参数对微沟道等离子体放电特性的影响规律。结果表明,相比于传统的正弦波驱动,纳秒脉冲微沟道等离子体放电更集中,耦合效应更明显,且等离子体特性更易于调控。当改变脉冲参数时,6%左右的波形过冲电压会造成微沟道等离...

  • 常压N2+H2O气液DBD等离子体处理PP无纺布的超亲水性研究

    作者:张燕; 徐庆南; 孔祥茹; 孙浩; 杨德正; 孙岩洲; 明平美 刊期:2019年第09期

    采用接触式气液介质阻挡放电装置,采用常压N2和N2+去离子水(H2O)两种介质阻挡放电等离子体对PP无纺布的表面进行改性研究,实验结果表明PP无纺布经N2+H2O等离子体处理60 s后表面出现了超亲水,其表面水接触角降为0°。但是经N2等离子体处理60 s,表面接触角由未处理时的115.8°降低至62°,并未出现超亲水。通过扫描电镜、X射线光电子能谱的对比分析发...

  • LiCl溶液真空蒸发过程的实验研究

    作者:韩晓婉; 邹同华; 陈剑波; 侯小兵; 常亚飞 刊期:2019年第09期

    对LiCl溶液在真空状态下的蒸发过程进行研究,为温湿度独立控制空调系统的应用奠定理论基础和技术支持,对保证空气品质、节能减排等的发展都具有重要意义。具体的研究是以单位时间内单位体积LiCl溶液的平均水分蒸发量为评价指标,从当量厚度和传热温差两个方面,对不同真空度条件下,分别使用球形蒸发瓶和锥形蒸发瓶进行实验。结果表明:蒸发瓶的结构...

  • 电动真空泵控制器的设计及应用

    作者:张义伟; 李德月; 李孟娇; 郭彬 刊期:2019年第09期

    针对目前电动汽车刹车系统真空泵在高原低压环境下制动效果差、控制系统寿命短的问题,设计了一种以单片机为核心的电动真空泵控制器。该控制器以STM8S103为核心,采用相对压力传感器为检测单元,提高了刹车助力系统在不同海拔高度下制动的可靠性,有效地解决了高原环境下制动效果差的问题。通过软硬件设计的配合,为真空泵在欠压、过压、过流以及超...

  • 喷嘴长度和喷嘴出口位置对喷射器性能的影响

    作者:于文艳; 田瑞 刊期:2019年第09期

    为提高喷射器的引射性能,利用Fluent软件对喷射器的内部流场进行数值模拟,研究了喷嘴轴向长度和喷嘴出口位置对喷射器引射性能的影响规律。结果表明:喷嘴扩散角对喷射器的引射性能影响很小;当喷嘴收缩段长度为喷嘴喉部直径的6倍,喷嘴出口位置为混合室圆柱段直径的1.8倍时,喷射器的引射性能最佳。研究结果可以为喷射器的结构参数优化提供参考。

  • 叶片用316L不锈钢表面激光合金化铬涂层性能及参数优化

    作者:王雪艳 刊期:2019年第09期

    采用激光合金化方法在叶片用316L不锈钢表面制备铬涂层性能,并进行组织性能测定以及参数优化。研究结果表明:铬涂层合金化层为月牙状的结构,是一种网状的柱状晶形态。在中形成了具有较大宽度的枝状晶组织形态。在X射线衍射谱图上形成了Fe-Cr与Cr_xFe_y对应的各个衍射峰。硬度表现为由合金化层往基体方向具有明显梯度分布的特征。当激光功率增大...

  • 车用AZ80合金表面磁控溅射MAO-ZrO2涂层组织和划痕测试分析

    作者:邹利华; 周晓燕; 李梦奇; 吴海江; 郭文敏 刊期:2019年第09期

    利用闭合场磁控溅射镀膜技术在AZ80合金基材表面进行沉积得到一层Zr涂层,并进行微弧氧化得到MAO-ZrO2涂层。对其进行组织和划痕实验测试研究得到:ZrO2涂层具有光滑的表面并具有银白色金属光泽,在ZrO2涂层表面上形成了很多细小的胞状晶粒。试样截面上形成了具有均匀结构的ZrO2涂层,同时涂层中的Zr元素也形成了均匀分布状态,最终得到厚度约5μm的涂...

  • 风电叶片用环氧树脂脱泡机设计与仿真分析

    作者:于雪梅; 刘晓燕; 刘卫生; 田丰; 冯立超 刊期:2019年第09期

    针对企业现有设备难以有效去除环氧树脂内部气泡的关键问题,本文设计开发了一套风电叶片用环氧树脂真空脱泡机,包括上料系统、脱泡塔、中继储罐、自密封出料系统和控制系统等部分。利用ANSYS Fluent计算软件对脱泡塔主分离区的内部流场进行优化仿真分析,结果发现主分离区入口倾角对脱泡效果有显著影响。入口倾角增大使脱泡塔内部流体空化现象明...

  • 95%氧化铝陶瓷烧结镍工艺探索

    作者:刘林; 方有维; 肖东梅; 胡小华; 赵建东 刊期:2019年第09期

    通过对不同Mo-Mn金属化配方体系的烧结镍工艺探索,发现烧结镍工艺适用于Mo含量高的Mo-Mn金属化配方体系。当Mo质量分数为70%时,镍粉粒度d0.5为1.872μm,镍层厚度为6~12μm时,封接件断面显示镍层连续、致密,陶瓷标准件的抗拉强度为116 MPa,陶瓷金属封接件的环境性能测试结果符合行业标准要求。

  • 日立扫描电镜真空系统的维护

    作者:潘桂玲 刊期:2019年第09期

    电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。

  • FDC系统在PECVD设备管理中的应用研究

    作者:周立; 金哲山; 董杰; 周东淇; 张猛; 杨晓东; 胡毓龙 刊期:2019年第09期

    针对液晶显示领域等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备原理和结构,构建基于FDC(Fault Detection&Classification)系统的PECVD设备智能化管理模式。通过FDC系统收集PECVD的设备和工艺参数,进行参数的相关性分析并设置监控模型,实时监控关键参数,智能输出锁定异常设备,提升PECVD设备智能化管理水平。

  • 高压脉冲水中放电钨铜电极烧蚀特性实验研究

    作者:罗启平 刊期:2019年第09期

    为了分析高压脉冲水中放电钨铜电极的烧蚀速率和烧蚀机理,设计了实验回路及方法,对钨铜电极的烧蚀特性进行了研究。放电后取水样分析测定水中金属离子的浓度,以此获得钨铜电极总烧蚀率的范围;采用精密天平测量放电后电极的质量损失,得到水中放电钨铜电极的阴极烧蚀率、阳极烧蚀率、平均烧蚀率和总烧蚀率。结果表明,两种方法都能成功获得电极烧蚀...

  • 冷热冲击工况下发动机水套多场耦合分析与优化

    作者:吴飞; 鲁雄; 丁军; 张希 刊期:2019年第09期

    利用CFD软件对某直列式4缸发动机在冷热冲击工况下进行多场耦合分析。通过模拟汽车上下坡过程,制定冷热冲击工况规范。采用双向流固耦合方法全面分析冷却水套内流场参数的变化特点,得知冷却液流速对冷却效果影响显著,自第1缸到第4缸冷却效果逐渐增强。温度场分析可得冷热冲击循环过程中发动机缸体及缸盖火力面的热负荷分布规律,将其作为静力学边...