真空科学与技术学报

真空科学与技术学报杂志 北大期刊 CSCD期刊 统计源期刊

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

杂志简介:《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准,自1981年创刊,国内刊号为11-5177/TB,是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊,致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:综述评述、研究快报、研究论文

主管单位:中国科学技术协会
主办单位:中国真空学会
国际刊号:1672-7126
国内刊号:11-5177/TB
全年订价:¥ 700.00
创刊时间:1981
所属类别:工业类
发行周期:月刊
发行地区:北京
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.53
复合影响因子:0.43
总发文量:2514
总被引量:9677
H指数:21
引用半衰期:4.2318
立即指数:0.0045
期刊他引率:0.4178
平均引文率:15.5495
  • 磁性液体密封液体技术的进展简述

    作者:何新智; 苗玉宾; 王礼; 李德才 刊期:2019年第05期

    相比于机械密封、填料密封、迷宫密封等传统密封形式,磁性液体密封具有“零”泄漏、耗能少和可靠性高的特点。目前,用于密封气体的磁性液体密封技术已经趋于成熟且具有稳定的商业应用。相比之下,用磁性液体密封技术来密封液体仍存在许多问题,随着纳米技术、医学技术以及海洋技术的进步,磁性液体密封液体技术有了更广阔的应用需求。本文就此技术...

  • 稻谷薄层真空脉动干燥特性及含水率预测模型

    作者:蒋建东; 金骁; 毛智琳; 孙远方; 周倩 刊期:2019年第05期

    为探究稻谷的真空脉动干燥特性,提升干燥品质,本文研究了不同干燥温度、相对真空度和真空保持时间对稻谷干燥时间和速率的影响;同时根据单因素试验结果进行正交试验确定稻谷真空脉动干燥最佳工艺参数;构建基于最小二乘支持向量机(LS-SVM)的稻谷干燥过程含水率预测模型。结果表明:干燥温度和真空度对稻谷干燥时间、爆腰增率均有显著影响,各因素影...

  • 直流真空断路器换流频率对开断特性影响研究

    作者:臧艺娜; 石晶; 陈红坤 刊期:2019年第05期

    直流断路器作为提高直流输电可靠性、灵活性的重要环节,是一项极具研究意义的关键技术。为给机械式直流断路器的振荡回路参数设计提供指导,有必要研究换流频率不同时的介质恢复过程以及开断特性。本文对真空断路器弧后介质恢复过程分阶段进行分析,提出了鞘层预备阶段的概念,给出了鞘层预备阶段持续时间的计算方法,进一步发展了鞘层发展理论,在此...

  • CFETR内真空室4.5K大抽速低温冷凝泵的设计

    作者:陈晨; 王国栋; 陈长琦; 王庆生; 姚达毛 刊期:2019年第05期

    及时抽除进入内真空室的中性粒子,达到等离子放电所需的真空度,对于维持中国聚变工程实验堆(CFETR)的稳定运行至关重要。本文针对CFETR内真空室粒子负载和抽气性能要求,设计了一种实验堆专用4. 5 K大抽速低温冷凝泵。通过计算冷凝泵在偏滤器开口处的有效抽速,确定了冷凝面积。通过对低温板和热屏蔽罩稳态运行时的热负荷计算,模拟了低温板表面的...

  • 高形转子基于渐开线齿廓的型线构造方法研究

    作者:李玉龙; 范钧; 李光宇; 李成凯; 陈业高 刊期:2019年第05期

    为进一步提升渐开线转子的最大形状系数以实现泵的轻量化和降低径向泄漏。基于渐开线齿廓的构造方法,提出了具有渐开线齿廓的转子型线。先后构建了高形转子的渐开线型线方程,给出了其最大形状系数的计算方法,分析了转子间的型线干涉与改善。结果表明:顶圆弧能有效降低径向泄漏,提高泵的容积效率;0°~5°齿顶半角下的最大形状系数提升了2叶下的9.3%...

  • 微波高功率对生长金刚石膜影响的研究

    作者:余军火; 汪建华; 罗凯; 翁俊 刊期:2019年第05期

    在实验室自制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置中,系统分析提高功率对生长金刚石膜的影响。利用等离子体发射光谱诊断分析高功率微波等离子体放电环境的特征,同时采用扫描电镜及Raman光谱对不同功率条件下获得的金刚石膜的形貌和质量进行表征。结果表明:微波功率的提高可以获得面积更大的强场区域,为金刚石的大面积均匀成膜提供了有利条件;...

  • 电子束蒸镀金膜表面黑色颗粒形成的机理研究

    作者:付学成; 王英; 权雪玲; 瞿敏妮; 王凤丹 刊期:2019年第05期

    采用电子束蒸镀金膜时,会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,这些黑色的颗粒形状大多不规则,尺寸集中在100 nm^-1μm之间,传统的蒸镀理论较难解释这些黑色颗粒的成因。本文尝试提出液态金属表面热发射电子引起液面上杂质颗粒“尖端放电”的理论来解释这一现象。这类电晕放电造成颗粒附近温度极高,瞬间将颗粒蒸发沉积在衬底。通过改变蒸镀功率,或...

  • 4-硝基-4-二甲基氨基偶氮苯薄膜的制备及光学性质

    作者:董宏基; 陈姝帆; 曹林洪; 吴卫东 刊期:2019年第05期

    采用真空蒸发法制备了4-硝基-4-二甲基氨基偶氮苯(Azo)薄膜,研究了蒸发温度和薄膜厚度的关系。分别通过紫外-可见光谱和Z-扫描的方法研究了Azo薄膜的线性光学性质以及薄膜的三阶非线性光学性质。结果表明:Azo薄膜的紫外-可见光谱比Azo溶液紫外可见光谱蓝移了61 nm,该化合物薄膜的光学带隙(Eg)为2.71 eV;Azo薄膜呈现明显饱和吸收和自聚焦的非线性...

  • 具有七个焦点的碳纳米管阴极分布式X射线源

    作者:唐华平; 陈志强; 秦占峰; 张庆辉; 李猛 刊期:2019年第05期

    介绍一种具有七个焦点的碳纳米管阴极分布式X射线源,具有多焦点集成和可编程脉冲发射的特点,基于该X射线源的辐射成像系统能够快速实现7个不同视角的静态层析成像。碳纳米管阴极采用电泳沉积法制备,单个阴极产生的最大电流可达14 mA,具有很好的大电流发射稳定性和一致性。设计的阳极电压为70 kV,通过模拟仿真计算对结构进行优化,实现了电子束的...

  • 纳米沟道真空场发射三极管的制备及其特性研究

    作者:龙铭刚; 吴胜利; 刘逸为; 张劲涛 刊期:2019年第05期

    基于表面传导电子发射源制备技术制备了一种平面底栅型真空场发射三极管(VFET),器件在真空中实现了良好的栅控特性和场发射特性,并初步获得了在大气环境中的电学性能。采用不同厚度的氧化钯(PdO)作为导电薄膜,通过电形成工艺使导电薄膜龟裂制备真空沟道,研究分析了导电薄膜厚度对真空沟道形成、真空及大气环境下器件电子发射性能的影响。结果表...

  • 大气压宽径向空气等离子体射流装置的设计、实验和仿真研究

    作者:李文浩; 褚向前; 赵世奇; 方应翠 刊期:2019年第05期

    大气压空气等离子体射流(空气APPJ)能够在开放的大气环境中产生高活性低温等离子体,在细菌灭活、材料表面处理和生物医学应用等方面有广泛应用前景,但是目前空气放电击穿电压高,放电稳定性较差,射流长度较短、径向尺寸小等限制了它的应用。为了降低放电电压及维持放电稳定性,本文在高压电极上包裹一层介质,设计出一种介质包覆的针-金属喷嘴结构...

  • 高气压直流辉光CH4/H2等离子体放电过程中的占空比效应

    作者:杨宽; 丁芳; 刘汉兴; 朱晓东 刊期:2019年第05期

    对高气压下直流均匀辉光放电的脉冲占空比效应进行了研究。在1.7 kHz脉冲放电条件下,当占空比高于73%时,脉冲间隔后电压需要经过10~20μs的上升时间至稳定;而电流增长明显地滞后于电压的上升,整个增长过程需要的时间约是电压上升时间的10倍。减小占空比,表示电流增长快慢程度的时间常数τ几乎线性增加。这是因为小占空比时,上升通道开始时刻的等离...

  • 真空铝热还原一步法制取镁钙合金的实验研究

    作者:舒辉; 吴林丽; 罗洪杰; 张旻; 刘军 刊期:2019年第05期

    提出一种以煅烧后的菱镁石和白云石为原料,真空铝热还原一步法制备镁钙合金的方法。通过正交试验研究了四种影响金属还原率主要因素的主次关系,然后对这些因素进行实验研究,并通过ICP发射光谱仪、扫描电子显微镜及X射线衍射对金属产物及还原渣进行了分析。结果表明,铝粉过量系数和制块压力对MgO、CaO还原率的影响较大,还原温度和还原时间次之,在...

  • 真空电弧熔炼制备U3Si2块体及其杂质状态研究

    作者:闫婷文; 谢东华; 陈志磊; 蒋春丽; 胡殷 刊期:2019年第05期

    U3Si2作为核燃料,相比于传统的UO2燃料,具有高的铀密度和良好的导热性等优点,是极具潜力的下一代核燃料候选。U3Si2多采用电弧熔炼的方法制备,但目前对U3Si2材料的表面杂质状态的研究仍有待深入开展。本文通过真空四电弧熔炼方法制得了U3Si2样品。通过X射线衍射仪分析了样品结构与取向特性。能量色散谱仪以及X射线光电子能谱分析表明,电弧熔炼得...

  • 金刚石MEMS三维谐振器的设计与加工

    作者:师鹏 刊期:2019年第05期

    微谐振器和陀螺仪因微机电系统(MEMS)水平的不断提升而被广泛关注和学习。采用MEMS设计和制造的微型传感器,因成本低、微尺寸和低耗能等特征而被广泛应用工程领域,在导航、消费电子等航空航天及相关高尖端领域具有广阔的发展前景。谐振器是组成陀螺仪重要组成部分,其相关性能的优良将会直接影响陀螺仪的操作精度。本文主要依据金刚石对MEMS三维...