杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
作者：武涛; 沈兴全; 董振; 张栋 刊期：2018年第09期
针对爪式真空泵现有的几种转子,本文提出了一种新型螺旋直爪形转子,其二维基本结构参数采用直爪型线,在轴向为螺旋结构。此结构可以实现转子之间的正确啮合,且在压缩过程中,提高了气密性,泄漏量有效的降低。通过对其工作过程进行三维数值模拟,与现有的直爪转子进行性能对比,对比分析新型螺旋直爪泵腔内流场的变化规律。研究结果表明：所提出的螺...
作者：纪明; 吴启鹏; 杨敏勃 刊期：2018年第09期
为解决月球样品容器密封可靠性评估的问题,将目前常用的可靠性评估方法引入并应用于对其可靠性的评估。经分析比较,选择所需子样数最少的最大熵试验法作为最终评估方法并详细介绍评估过程。该方法选取容器的密封漏率作为表征密封性能的特征量,通过在临界工况点进行试验和计算来实现可靠性评估。同时,针对密封漏率数值的特殊性提出了其裕度值的计...
作者：刘亿鑫; 崔婧格; 米梦龙; 刘璐 刊期：2018年第09期
对蒸馏水分别通过压力雾化喷嘴和直流喷嘴喷射到低压环境的喷雾过程进行了实验研究,分析了环境压力、工质温度、工质流量对压力雾化喷嘴喷雾锥角和直流喷嘴喷雾瞬态特征的影响。实验结果显示,当采用压力雾化喷嘴时,环境压力越低,工质初始温度越高,喷雾锥角越大;工质流量越大,工质冲转旋转叶片速度越快,喷雾锥角也越大。当采用直流喷嘴时,环境压...
作者：李彤; 刘艳明; 王晨; 李健; 裴志亮 刊期：2018年第09期
硬质涂层的制备及改性是当今涂层领域的研究热点之一,随着科学技术的迅速发展及工业要求的不断提高,对硬质涂层材料、性能及其制备技术则提出了更高的要求。本文主要从硬质涂层制备、组元微结构设计及其强化/退化机理、高性能硬质涂层三方面展开,介绍了硬质涂层领域的一些热点研究方向及其目前存在的问题。主要包括以下内容：发展新的沉积系统和...
作者：郭有志; 孙丽丽; 郭鹏; 柯培玲; 李强; 汪爱英 刊期：2018年第09期
金属掺杂是降低类金刚石薄膜（DLC）内应力、提高其机械性能的一种有效方法。通常,金属掺杂类金刚石薄膜（Me-DLC）为均匀的纳米复合结构,但在一定条件下,会形成特殊的自组织分层结构。为了研究不同金属掺杂种类对自组织分层结构和薄膜性能的影响,本文筛选了两种典型的掺杂金属元素Cu和Cr,采用磁控溅射与阳极层离子源复合系统制备了Cu-DLC和Cr-D...
作者：康皓清; 傅若凡; 杨建文; 张群 刊期：2018年第09期
采用射频磁控溅射法制备了非晶铟锌钨氧化物（a-IZWO）薄膜和以此半导体薄膜为沟道层的薄膜晶体管。研究了沟道宽长比和退火时间对器件电学性能的影响。结果表明,沟道宽长比为400μm：400μm的器件经过120min200℃空气退火后其电学性能达到最佳,场效应迁移率达到7.29 cm2/Vs,阈值电压为-2.86 V,电流开关比超过10 7,亚阈值摆幅低至0.13 V/decade。...
作者：王贵圆; 富容国; 杨明珠; 石峰; 程宏昌; 常本康 刊期：2018年第09期
热增强光电发射是一种新的太阳能转换技术,它可以将光电发射和热电发射结合到一个过程中。本文在细节平衡条件下对光子增强热电子发射进行了理论计算,并给出了反射式GaAs光电阴极的增强热电子发射电流密度和能量转换效率。计算结果表明,阴极的电子亲和势增高会降低发射电流密度,提高输出电压,影响能量转换效率。当电子亲和势为负时,平台期能量转...
作者：王秋实; 吴宛泽; 谢永辉; 王维龙 刊期：2018年第09期
采用直流电弧等离子辅助法合成了β-SiC纳米分支结构。用扫描电镜和透射电镜,X射线电子能谱和拉曼光谱等对样品进行表征,发现分级生长的SiC纳米线为单晶结构,沿方向生长。β-SiC纳米分支结构通过气-液-固（VSL）机制合成。β-SiC纳米分支结构在425 nm处有一个强的发光峰。
作者：黄昕乾; 姚若河 刊期：2018年第09期
基于金属纳米颗粒的光散射理论,利用时域有限差分法计算了Ag纳米球阵列不同结构参数下的散射光谱、吸收光谱及散射效率,分析了Ag纳米球阵列在共振波长下的极化电场和极化电荷分布情况,讨论了Ag纳米球阵列的局域表面等离子体（LSP）对GaN基LED发光效率增加的机理。结果表明,随着间距的减小,Ag纳米球阵列LSP的散射峰逐渐呈双模分布,且位于长波段的...
作者：马建春 刊期：2018年第09期
采用磁控溅射的方法制备了L1 0-FePt/[Fe/C]n薄膜,并与L1 0-FePt/Fe双层膜磁性能进行了对比。结果表明,当[Fe/C]n周期数固定时,薄膜的矫顽力随C层厚度的增大呈先减小后增大的趋势,C层厚度为1 nm时,矫顽力最低。另外,通过一系列硬磁层掺C的[L1 0-FePt/C]（10）/Fe5 nm多层膜中发现,掺入适当的C后,不但降低薄膜的矫顽力,而且可以改善晶粒间的相互...
作者：宗学文; 张斌; 张凌峰; 吕三雷 刊期：2018年第09期
为了有效分析螺旋选晶器温度场梯度对其选晶效果的影响,应用ProCAST和CAFE对镍基高温单晶合金DD4在螺旋选晶器中的晶粒组织演化进行了仿真模拟。结果表明,在其选晶过程中,在激冷面产生大量晶粒生长方向随机分布的晶核,随着离激冷面距离的增加,选晶器内的晶粒组织由等轴晶转变柱状晶,最终选出一个与方向一致的晶粒;从选晶器内组织演化和晶粒数量...
作者：柴振; 蒙峻; 罗成; 朱小荣; 谢文君; 郑亚军 刊期：2018年第09期
针对强流重离子加速器（HIAF）中增强器（BRing）和放射性次级束流分离器（HFRS）之间的BRing引出线真空系统进行极高真空到超高真空的过渡研究。研究表明,为不使处于极高真空状态下的BRing环真空系统受到来自HFRS和高能束运线的影响,通过烘烤段加非烘烤段的方式以及快关阀的作用,可有效地解决真空系统从极高真空到超高真空的过渡问题,并且能够...
作者：陈正伟; 高光伟; 于德军; 刘舒 刊期：2018年第09期
石墨材料已成为真空加热设备尤其是高温（〉1600℃）真空炉的首先材料,电阻率是其作为加热元件的首选指标。真空电阻炉用石墨件经过设计、加工,多为异形件,为了更好的掌握石墨材料的相关理化指标,本文利用ANSYS软件对常见的几种石墨件进行了仿真分析,并结合仿真结果给出了石墨电阻炉常用原件的测量及测量夹具的设计原则。
作者：李中杨; 马国鹭; 曾国英 刊期：2018年第09期
针对常温下的液体在固体表面的润湿行为研究。以液态金属汞为研究对象,采用真空等离子体刻蚀工艺制备不同表面形貌的硅片,研究不同硅片的润湿行为,并探究了液滴体积对润湿性的影响。利用金相电子显微镜、白光干涉三维形貌仪以及接触角测量仪分别对不同硅片的表面形貌、表面粗糙度以及润湿行为进行了测量与表征。结果表明：当液滴体积相同时,随硅...
作者：张卫刚; 李媛媛; 孙旭东; 王鹏; 闫文娟 刊期：2018年第09期
薄膜晶体管液晶显示面板（TFT-LCD）是当前的主流平面显示技术,而金属溅射靶材是制造TFT-LCD过程中最关键的材料之一。目前,国内主流的8.5代液晶显示面板生产线所使用的金属溅射靶材,以铝、铜、钼和钼铌合金等四种靶材的需求量最大,且每套包含12块条靶,每块条靶的尺寸约为：2650 mm×210 mm×18 mm。其中,铝靶和铜靶主要被爱发科电子材料有限公司...
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