杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
作者：王权; 王波; 刘云辉; 张天一 刊期：2018年第04期
利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法，研究了细长石英管内的低气压直流放电行为，探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明：通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度，且当放电气压为100Pa时，电子密度最大，本装置所测最大密度为1．03×lO^17m^-3；电子温度则随着放电功率和放电气压的增大而不断减小...
作者：李春伟; 田修波; 宋炜昱; 赵美君; 张旭; 孙梦凡; 白翔云; 黄洁; 梁家鹏 刊期：2018年第04期
研究磁场增强高功率脉冲磁控溅射技术的放电特性在不同工作参数下的演变规律。利用数字示波器采集HiP-IMS的基体离子电流用于表征其放电特性的变化。结果表明：靶放电电压不同时基体离子电流对工作气压的响应不同，较低靶电压时基体离子电流平均值随工作气压的增加逐渐增加；而较高靶电压时基体离子电流平均值随工作气压增加迅速增加后趋于稳定...
作者：许文婷; 杨兰兰; 屠彦 刊期：2018年第04期
为了研究静电放电对PCB板的影响，建立了PCB板静电放电的三维模型，利用CST微波工作室对PCB板的静电放电进行了仿真，分析了PCB板空间电磁场的分布、表面电流分布及它们随时间的变化情况。仿真结果表明，直接接触放电将会产生强电场、高电压、瞬时大电流及磁场脉冲，静电电流的传播路径主要是沿着电路布线路径传播或沿着器件边缘及管脚回路传播...
作者：穆昱; 李常青; 刘平; 张旭 刊期：2018年第04期
为了研究高频宽气隙条件下介质阻挡放电特性，实现电源和放电管之间的负载匹配。使用频率20～40kHz连续可调的全桥方波逆变电源作为主电路，采用脉冲宽度调制作为控制策略，利用高频变压器漏感和放电管等效电容进行阻抗匹配。重点研究了高频宽气隙放电特性，采用Lissajous图形法研究放电过程中等效电容，等效电阻等电学参数。研究结果表明，稳态...
作者：徐伟; 孙震; 左桂忠; 孟献才; 黄明; 钱玉忠; 胡建生 刊期：2018年第04期
为提高锂膜在先进实验超导托卡马克（EAST）内真空室器壁上的均匀性，从而提高锂膜对再循环的控制，对杂质的抑制能力，优化设计了新型三孔蒸发型坩埚，并成功的用于锂化壁处理实验。实验表明，锂膜在内真空室器壁上更加均匀，坩埚附近没有出现明显的锂膜起皮现象，下石墨偏滤器得到有效的覆盖。锂膜均匀性的提高，有效的提升了初次锂化壁处理对...
作者：李党娟; 王顺录; 王娜; 林彤 刊期：2018年第04期
随着科研及工业的不断发展，对真空环境的要求越来越高，相应的真空测量技术要求也越来越严格，在精准测量的基础上对传感器的体积提出了更高的要求，例如MEMS封装的真空设备将需要较小体积的传感器来完成真空度的测量。而目前常见的电阻真空规、液态式真空计、电容真空计、热传导真空计等都无法同时满足小体积、宽范围、高精度的测量要求。本文...
作者：蔺晓建; 蒙峻; 杨伟顺; 刘建龙; 李长春; 谢文君 刊期：2018年第04期
薄壁二极铁真空室由于其特殊的作用被应用在HIAF装置的部分位置，由于真空室的壁非常薄，在抽真空状态下易变形，因此对其进行有限元分析明确其在抽真空状态下的应力、变形情况很有必要。本文利用ANSYS Workbench对薄壁二极铁真空室进行结构静力分析，在静力分析的基础上对真空室进行多目标优化及结构优化得到了最佳设计点和可以减少的质量，为...
作者：黄嵩; 俞建成; 张俊良; 朱强 刊期：2018年第04期
针对目前谱库预检索精度较低且剩余参考谱图依然较多的问题，提出了一种基于质谱图特征峰匹配的谱库预检索算法。将谱图中峰强度最高和质荷比最大的谱峰作为谱图特征峰，然后依次预检索了每个查询谱图和所有参考谱图对应的特征峰。结果表明，与相似度阈值分别为0．6、0．7和0．8的基于向量空间模型的谱库预检索算法相比，精度分别提高了15．01％...
作者：樊启鹏; 胡玉莲; 桑利军; 王卉; 刘忠伟 刊期：2018年第04期
集成电路的高速发展为铜互连提出诸多要求，其中，如何低温条件（≤150℃）下在大深宽比的通孔或沟槽中沉积保形性好、纯度高、导电性好的铜籽晶层是亟需解决的问题。本文利用等离子体增强原子层沉积技术，以脒基铜为铜前驱体，以氢等离子体为还原物质，在较低的沉积温度（100℃）下，沉积了纯度高、导电性能优良的铜薄膜。在10：1的硅基沟槽中...
作者：刘战合; 王晓璐; 王菁; 姬金祖; 周鹏; 赵辉 刊期：2018年第04期
基于非平衡磁控溅射技术在浮法玻璃表面沉积了系列掺铝氧化锌（AZO）和氧化铟锡（ITO）薄膜，从电磁隐身角度出发，确定了两种薄膜的电磁散射测试方法和分析方法，并测试了10、15GHz的HH、VV的极化雷达散射截面（RCS）曲线，以试验数据为基础，研究了方块电阻对两种薄膜电磁散射的影响特性。试验结果表明，AZO与ITO散射曲线具有相似性，AZO散射...
作者：张阳军; 王炳琴; 周益春 刊期：2018年第04期
铁电薄膜在外加力场，电场和温度场的作用下表现出明显的非线性，为了更好的描述这种现象，本文提出了一个热-电一力耦合场铁电薄膜下的畴变模型。该模型基于细观力学模型，认为电畴自由能的改变提供电畴翻转的动力，且180°电畴翻转由两步90°翻转构成。在本构关系中加入了铁电薄膜制备过程中产生的残余应变项，以区别于块体铁电材料，通过该模型...
作者：成伟; 彭继华; 苏东艺; 杜日昇 刊期：2018年第04期
采用阴极多弧离子镀在M42工具钢表面制备了Al66Cr34N和Ti62Al34Si4N两种硬质涂层，并在室温大气环境下采用球／盘式摩擦磨损仪研究它们同40Cr齿轮钢的摩擦磨损行为。采用表面接触角测试仪OCA40Micro、3D表面形貌仪、扫描电子显微镜、电子能谱分析了涂层磨痕，探讨了两种涂层与齿轮钢对摩的磨损机理。结果表明：两种涂层与40Cr齿轮钢摩擦时，失效...
作者：王晓婧; 刘艳红; 冯硕; 李怀林 刊期：2018年第04期
通过直流磁控溅射方法在锆合金基体表面沉积cr涂层，再在cr层上射频磁控溅射制备SiC涂层，探索了基体预处理方式、射频溅射功率对涂层结合力、厚度和表面质量的影响。采用扫描电镜及能谱仪，红外光谱和X射线衍射仪对SiC／CT复合涂层样品进行成分分析，结果表明所制备的涂层cr层为晶态，SiC层为非晶态。高温水蒸汽氧化实验表明cr作为锆合金与SiC...
作者：张余祥; 杨尊先; 刘佳慧; 郑康; 郭太良 刊期：2018年第04期
以聚偏氟乙烯（PVDF）作为CdxZnl-xSeyS1-y量子点微封装材料，利用简易刮涂法工艺成功制备出大面积、高稳定性的CdxZnl-xSeyS1-y量子点／PVDF纳米复合薄膜，同时对该纳米复合薄膜的结构、形貌及光学性能进行表征和分析，并进一步研究纳米复合薄膜的水热稳定性。研究结果表明，使用刮涂工艺制备的CdxZnl-xSeyS1-y量子点／PVDF纳米复合薄膜仍然保...
作者：龚耀庭 刊期：2018年第04期
使用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法在富氮N2／CH4／H4体系中纳米金刚石膜沉积进行研究。使用扫描电子显微镜对纳米金刚石膜的表面形貌进行测试，使用光射线光电子能谱（XPS）和拉曼光谱对纳米金刚石膜的表面化学结构进行表征。结果表明，氮气浓度的改变对纳米金刚石膜的表面形貌和晶粒尺寸都有明显影响。在氮气浓度为85％时，纳米金刚石...
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