杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
作者：邹胜; 杨铁牛; 黄尊地; 吴宗跃; 赵蕾蕾 刊期：2018年第03期
在半导体制造领域中，IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪（LDV）对真空腔室进行内流场测量，研究了在不同进气量、不同腔室压强下，腔室各平面流速的分布规律。研究表明，粒子浓度和背景噪声是影响腔室流速测量的两大关键因素，采用四种方法有效地降低了背景噪声对信号的干扰；通过大量实验得出了LDV有效...
作者：苗苗; 邵延君; 王俊元; 许向川 刊期：2018年第03期
为了更准确地优化蒸汽喷射泵的结构参数，提高喷射泵的性能，选取A（喉径比）、B（扩散器锥度）、C（喉管长度与直径的比值）、D（喷嘴距）为优化变量，R（引射系数）为目标响应，将数值模拟法与响应面法相结合，建立了能够较好反映各优化变量对引射系数的响应回归模型。通过方差分析和分析建立的响应面3D图，得出：喉径比、扩散器锥度以及喷嘴...
作者：武涛; 沈兴全; 董振; 李卫国 刊期：2018年第03期
对爪式真空泵无尖点直爪转子的性能进行了研究与分析，构建了不同几何参数下转子的三维模型，运用数值分析方法进一步研究了无尖点直爪转子的性能变化，探究了不同几何参数对无尖点直爪转子性能的影响。研究表明：爪顶圆弧对应圆心角的最佳取值范围为20°～60°；形状系数的最佳取值范围缩小为：0．6～0．7；最佳啮合间隙为0．110mm。对无尖点直爪...
作者：田梅; 高鸿恩; 郑军芳 刊期：2018年第03期
以纯He、及一定浓度He、Xe、SF6与N2的混合气体示漏，研究了将浓度检漏法获得的非氦示漏气体漏率转化为He标准漏率的可行性。研究结果表明，对于纯粘滞流和纯分子流，依据现有的理论，通过粘滞系数、压力、温度、分子质量等参数的校正，可以进行不同示漏气体间漏率的转换。但由于He分子直径小，与其它示漏气体分子显著不同，即便在相同漏孔、相...
作者：王虎军 刊期：2018年第03期
磁性液体密封具有“零”泄漏、寿命长等优点，在气体密封等领域得到了成熟的应用，然而，在液体环境中的密封性能较差。本文综述了磁性液体密封液体的发展现状，对传统磁性液体密封结构进行了改进，提出气体隔离式磁性液体密封，将原磁性液体密封液体介质的问题转化为其密封气体介质的问题，从根本上解决了磁性液体与被密封液体界面的不稳定性问...
作者：费加喜; 赵升升; 吴正涛; 高翔; 王启民 刊期：2018年第03期
采用电弧离子镀技术在硬质合金基体和立式面铣刀上分别沉积了AlTiN、AlTiCrN／AlTiN、AlTiSiN／AlTiN纳米多层涂层，采用扫描电子显微镜、x射线粉末衍射仪、能谱仪、纳米划痕、纳米压痕以及摩擦实验和切削实验等对AlTiN、AlTiCrN／AlTiN、AlTiSiN／AlTiN纳米多层涂层的结构、力学性能、摩擦性能和切削性能进行分析。结果表明，上述涂层表面形貌...
作者：罗蓉蓉; 但敏; 李鹏远; 金凡亚; 周毅 刊期：2018年第03期
利用单极性脉冲磁控溅射方法，采用300，600，800V的脉冲偏压，分别在A286铁基高温合金基底上沉积了MoS：涂层，并对其进行了组织和性能研究，结果表明：所制备的涂层表面存在成核势垒，呈岛状生长模式，磁控溅射过程中，高能粒子的轰击改变了涂层表面晶格畸变程度及涂层与基体界面之间的热应力，使得涂层结合强度随偏压的增加先减小再增大，800...
作者：董玉; 王铁钢; 郭玉垚; 李杰; 万文强 刊期：2018年第03期
利用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术制备Zr-B—N涂层，研究沉积过程中的氮气流量和热处理温度对涂层显微结构的影响。采用电子探针显微分析仪、扫描电镜和X射线衍射仪对涂层的成分、断面形貌及结构进行观察和分析。结果表明：热处理温度为600％时，涂层表面开始形成氧化膜，部分锆离子与氧反应生成（116）晶面取向的Zr3O；在N2流量为6mL...
作者：姜振宁; 张长青; 罗积润; 杨晨 刊期：2018年第03期
扩展互作用速调管是通过使用分布作用谐振腔技术来扩展其瞬时工作带宽，可以在高工作频段，实现高功率、高效率、高增益、宽频带的一种紧凑型微波真空器件，在军事、科学和商业领域有着广阔的应用前景。本文以x波段为例，设计了三间隙耦合腔输出结构，对其群时延特性及间隙阻抗特性进行了分析计算，设计了扩展互作用速调管高频互作用电路，通过...
作者：母一宁; 樊海波; 王美婷; 王新; 李野; 姜会林; 刘春阳 刊期：2018年第03期
从位置和能量复合分辨的角度出发，开展基于微通道束导栅型空问调制的复合探测技术研究：探究微通道光电倍增机构的电子束空间束导机理，构建适用于栅型薄膜空间调制的微通道束导机构；揭示相关电子光学参数对其空问光学传递特性影响关系；设计构建基于微通道束导栅型空间调制的复合探测原型器件并在真空测试系统中开展了性能对比实验，最终验证...
作者：章昱; 张勇; 王岩; 崔接武; 刘家琴; 舒霞; 秦永强; 陈传胜; 吴玉程 刊期：2018年第03期
采用溶液聚合法一步合成铁离子改性、植酸掺杂的聚苯胺，在800～900℃氩氢还原气氛下，将电催化析氢性能良好的磷化铁与磷化亚铁颗粒，负载在高温裂解聚苯胺高分子生成的网络多孔碳骨架上。制备了FeP（Fe2P）纳米颗粒／多孔氮掺杂碳（NC）复合催化剂薄膜，通过扫描电子显微镜和x射线衍射分析表征了催化剂的微观结构。样品的催化性能采用线性扫描...
作者：宗学文; 张斌; 权坤; 熊聪; 刘洁 刊期：2018年第03期
冷坩埚真空悬浮熔炼技术是目前最为先进的金属冶炼技术，被广泛应用于钛合金、镁铝合金和高温合金的熔炼，感应线圈作为冷坩埚真空悬浮技术的关键零件，其合理性对冷坩埚的能量利用率起到关键作用。为了有效分析冷坩埚能量利用率的问题，应用Maxwel]3D软件对冷坩埚真空悬浮熔炼的感应线圈做三维电磁场强度对比和金属涡流损耗的仿真模拟，分析不...
作者：罗登; 李兴辉; 张强; 胡银富; 刘伟; 冯进军; 王金淑 刊期：2018年第03期
设计了一种基于场发射阵列阴极的X射线管结构。制备了金属尖锥阵列场发射阴极，结果表明该阴极具有良好的电子发射能力和稳定性，在阳极电压为3400V的条件下，发射电流达1．46mA，电流密度达516．4mA／cm2，适合应用于x射线管中。利用CST粒子工作室仿真软件对X射线管的电子光学系统进行计算，得到了可行的结构方案，结构由阵列阴极、聚焦极和阳...
作者：侯吉磊; 胡建生; 陈跃; 袁啸林 刊期：2018年第03期
先进实验超导托卡马克（EAST）作为国际上具有类似国际热核聚变实验堆（ITER）等离子体位型的全超导托卡马克之一，最近发展和建成了一套挤压成冰气动加速高频弹丸注入系统（PI-50），主要在EAST上用于等离子体边界局域模控制和芯部加料。PI-50弹丸注人器含有两个弹丸注入模块，并且配备了完善的供气系统。整个弹丸注入器的主要设计参数：发射弹...
作者：何丽娟; 潘鹏; 黄艳伟; 孙尚志 刊期：2018年第03期
以理想CO2气体为工质，采用Standard κ-ε湍流模型对涡流管冷热分离效应进行数值模拟。通过分析管内工质流动状态和温度、压力的分布，发现：CO2气体在内层强制涡区与外层自由涡区不断的进行热质交换，促进涡流管发生能量分离。在此基础上，探究进口温度为298．15K、进口压力为6．5MPa，冷流比在0．3～0．9范围变化时，冷孔板孔径对涡流管制冷制...
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