真空科学与技术学报

真空科学与技术学报杂志 北大期刊 CSCD期刊 统计源期刊

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

杂志简介:《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准,自1981年创刊,国内刊号为11-5177/TB,是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊,致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:综述评述、研究快报、研究论文

主管单位:中国科学技术协会
主办单位:中国真空学会
国际刊号:1672-7126
国内刊号:11-5177/TB
全年订价:¥ 700.00
创刊时间:1981
所属类别:工业类
发行周期:月刊
发行地区:北京
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.53
复合影响因子:0.43
总发文量:2514
总被引量:9677
H指数:21
引用半衰期:4.2318
立即指数:0.0045
期刊他引率:0.4178
平均引文率:15.5495
  • 不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响

    作者:钟博扬; 王维; 李芳芳; 叶小球; 陈长安; 罗文华 刊期:2017年第04期

    针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^-6Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H2、He、D2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔...

  • 基于数值计算方法的双螺杆真空泵气体输运过程研究

    作者:肖红云; 王庆生; 王玉青; 陈长琦; 陈宗武; 张东庆; 汪宏喜 刊期:2017年第04期

    基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模型。以渐开线型端面的等螺距螺杆真空泵为研究对象,计算分析了泵从大气压到极限真空的整个抽气过程。对不同入...

  • 擦玻璃机器人负压吸附特性研究

    作者:孙立新; 徐良君; 张明路; 徐子寒; 董鹏; 贾计东 刊期:2017年第04期

    针对负压吸附式擦玻璃机器人(WCR),提出在泄漏条件下的负压腔(NPC)流体模型建立方法,并进行仿真分析和实验验证。对擦玻璃机器人进行静力学分析,得到机器人安全吸附在玻璃表面的负压值;由于负压腔与玻璃之间存在气隙,建立泄漏条件下的负压腔流体模型,将负压系统简化为RC等效电路,负压响应特性为惯性环节。最后对负压腔流体模型进行计算流体...

  • 电子轰击材料出气性能

    作者:刘燕文; 田宏; 朱虹; 孟鸣凤; 赵丽; 李芬; 谷兵 刊期:2017年第04期

    固体材料在大气中会溶解、吸附一些气体,当材料置于真空环境下,就会因气体解溶、解吸、电子轰击等而发生放气。电真空微波器件广泛应用于加速器、卫星通信、可控热核聚变、全球定位及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,其制造过程中非常关键的步骤是真空获得。为提高微波电真空器件研制过程中的管内真空水平,本文研制了高精度真空材料放气测试...

  • AP1000核电厂脱气塔真空泵运行特性研究

    作者:王鹏; 范洪明; 颜岩 刊期:2017年第04期

    对AP1000核电厂脱气塔真空泵,在不同工况下的电流特性进行了试验研究。分析了泵的背压,泵抽取的气体流量,泵抽取气体的种类对泵的运行电流的影响。结果表明泵的背压越高泵的运行电流越大,并且存在一个峰值背压,使得泵的电流阶跃上升,造成泵过载。同时随着泵的流量的增加,运行电流缓慢上升;真空泵背压一定情况下,抽取不同种类气体的运行电流相同...

  • 基于损耗介质加载波导回旋行波放大器的多模稳态分析

    作者:唐彦娜; 罗积润; 彭澍源; 李实 刊期:2017年第04期

    目前回旋放大器的稳定性分析主要采用单模理论,而该理论不能分析模式间的相互影响。多模稳态理论可以分析不同模式间的相互影响,现有的多模理论仅可以分析光滑波导或内壁加载石墨涂层的波导结构,该结构并不适合高平均功率工作。本文首次将回旋行波放大器的多模稳态理论应用于适合于高平均功率的损耗介质加载波导模型,并分析了回旋返波振荡的存在...

  • 盒栅式电子倍增器模拟计算

    作者:谭孝青; 吴胜利; 王洪广; 胡文波; 田进寿 刊期:2017年第04期

    采用三维电磁分析软件CST对盒栅式电子倍增器结构进行建模,利用控制变量的分析方法修改模型参数,模拟计算了不同打拿极栅网结构参数和出射电子能量条件下电子倍增器内部的电场分布、电子运动轨迹以及倍增器增益。研究分析了打拿极栅网结构参数和出射电子能量对电子倍增器特性的影响。数值模拟结果表明,倍增器打拿极栅网密度过密或者过疏均会降低...

  • 基于肖特基二极管和移相器的超宽带线性化器

    作者:虞崇志; 尚新文; 胡波雄; 王刚; 苏小保 刊期:2017年第04期

    基于ADS软件设计并加工了一款2~6 GHz的超宽带线性化器。实测结果表明,该线性化器在2,4和6 GHz这三个频点分别既可提供约9.5 dB和55°,8.3 dB和55°,8.8 dB和73°增益和相位扩张量,用于改善行波管的非线性失真,也能提供约7.8 dB和42°,8.4 dB和42°,5.1 dB和56°增益扩张和相位压缩量,用于改善固态功率放大器的非线性失真。将该线性化器应用到某S波段...

  • 混合极性GaN基HEMT中2DEG性能分析

    作者:王现彬; 张晶; 杨洁; 赵正平 刊期:2017年第04期

    综合镓极性(Ga-polar)和氮极性(N-polar)GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)上的欧姆接触特性,提出了一种混合极性的GaN基HEMT结构。通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程,分析了该混合极性GaN基HEMT结构中的二维电子气(2DEG)行为特性,从而为该混合极性HEMT结构的实际应用提供了理论参考。仿真结果表明N-polar AlGaN背势垒的Al组分较其厚度对2D...

  • 射频磁控溅射法制备Cu2SnS3薄膜结构和光学特性的研究

    作者:李学留; 刘丹丹; 史成武; 梁齐 刊期:2017年第04期

    利用射频磁控溅射法并经快速退火处理制备Cu2SnS3薄膜,研究了使用SnS2、Cu2S混合靶(摩尔比分别为1∶1、1∶1.5、1∶2)及在不同溅射功率(40和80W)条件下所制备Cu2SnS3薄膜的晶体结构、物相组成、化学组分、表面形貌和光学特性。结果表明:混合靶的SnS2、Cu2S最佳摩尔比为1∶1.5,利用该靶所制备薄膜均结晶;在溅射功率为80 W条件下,所制备薄膜...

  • 电子回旋共振等离子体中TMG的离解氢对气相沉积氮化镓薄膜的影响

    作者:符斯列; 王春安; 丁罗城; 秦盈星 刊期:2017年第04期

    氢在GaN薄膜制备工艺中扮演很重要的角色,氢主要有两个来源,一是载气氢,另一个来源是从TMG气源本身离解出来的氢产物。本文研究了电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)沉积GaN薄膜工艺中从TMG离解出来的氢产物及其对薄膜生长环境的影响。实验分别采用N_2和TMG作为N源和Ga源,衬底为(0001)面α-Al_2O_3。实验的结果表明从TMG中离...

  • 100Pa下800mm棒-板间隙放电等离子体外部特征研究

    作者:杨亚奇; 李卫国; 袁创业; 夏喻; 陈艳 刊期:2017年第04期

    为研究低气压下长间隙放电等离子体通道外部特征,利用试验平台对100 Pa下800 mm棒-板间隙交、直流放电进行观测,并对放电通道发展过程及其外部特征进行研究。研究结果表明:50 Hz交流和正极性直流电压下等离子体通道发展过程及通道外形差异显著,交流电压下等离子体通道自棒、板电极双向发展并双向消散,击穿后通道呈纺锤形且存在明暗条纹;正极性...

  • 新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究

    作者:何兆; 张小宁; 梁志虎; 刘纯亮 刊期:2017年第04期

    在厚度为100μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程。结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,发光光强分布从腔体中心位置逐步向腔体侧壁移动,其发光光谱为588 nm的可见光和312 nm的紫外光。增强电荷耦合器...

  • HIAF强流重离子加速器真空室烘烤功率计算及热-结构耦合分析

    作者:谢文君; 蒙峻; 罗成; 万亚鹏 刊期:2017年第04期

    针对薄壁真空室的使用特点,首先利用ANSYS有限元软件进行结构优化设计。其次通过理论计算和数值模拟相结合的方法计算出真空室烘烤功率,并给出在达到热平衡后真空室的温度分布规律。此外采用间接耦合法得到薄壁真空室在热-结构耦合状态下的变形及应力分布规律,结果表明升温阶段损失功率随时间而逐渐增加,真空室达到热平衡后损失功率保持恒定;仅...

  • 微弧氧化/磁控溅射复合涂层对镁微观结构与摩擦性能的影响

    作者:楼白杨; 杜敬平; 赵杰; 徐斌 刊期:2017年第04期

    镁基材料表面进行微弧氧化处理(MAO)制备的多孔结构的陶瓷涂层在干摩擦环境下的摩擦系数较高,本文采用微弧氧化结合非平衡磁控溅射技术在纯镁基体表面制备出了MAO/CrN复合涂层。通过扫描电镜、显微硬度测试、X射线衍射仪能谱、摩擦磨损实验等手段研究了复合涂层的形貌、成分及摩擦磨损性能。结果表明:MAO/CrN复合涂层相比单层的MAO涂层力学与...