真空科学与技术学报

真空科学与技术学报杂志 北大期刊 CSCD期刊 统计源期刊

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

杂志简介:《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准,自1981年创刊,国内刊号为11-5177/TB,是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊,致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:综述评述、研究快报、研究论文

主管单位:中国科学技术协会
主办单位:中国真空学会
国际刊号:1672-7126
国内刊号:11-5177/TB
全年订价:¥ 700.00
创刊时间:1981
所属类别:工业类
发行周期:月刊
发行地区:北京
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.53
复合影响因子:0.43
总发文量:2514
总被引量:9677
H指数:21
引用半衰期:4.2318
立即指数:0.0045
期刊他引率:0.4178
平均引文率:15.5495
  • 高精度真空材料放气测试研究

    作者:罗艳 王魁波 吴晓斌 王宇 刊期:2016年第03期

    材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空度最低达6.8×10^-9Pa。低的本底真空进一步降低了系统的放气率测量下限,三种方法的测量下限依次可达:6.20×10^...

  • 大间隙聚合型阶梯式磁性液体密封的设计及试验研究

    作者:杨小龙 李德才 刊期:2016年第03期

    为了解决大间隙条件下磁性液体密封耐压能力低的难题,本文在阶梯式迷宫密封的基础上创造性地提出了一种新型阶梯式磁性液体密封结构。初步设计了一种聚合型阶梯式磁性液体密封结构和一种与其具有相同结构参数的普通磁性液体密封结构,采用试验的方法研究了两种密封结构的密封耐压性能,并对结果进行了分析与比较。结果表明:当轴向密封间隙宽度为0...

  • 真空冷凝锅炉管束效应研究

    作者:梁逸敏 李建新 王永川 蒋林 张秀珍 丁亚琪 陈世一 陈光明 刊期:2016年第03期

    试验对真空冷凝锅炉中的叉排水平换热管的管束效应进行了研究。为了解真空锅炉中冷却水流速、进出口温度、热通量、不凝性气体等参数对管束效应的影响规律,试验设置了不同的工况,得到换热管束中各单管的冷凝传热系数,结果呈现出一定的规律。分析试验结果得出,真空环境下的叉排管束冷凝换热规律与Nusselt模型相差较大,当热通量较大时,模型预测值...

  • 基于Hartmann哨超声喷嘴的雾化特性研究

    作者:刘旭泽 高贵军 刊期:2016年第03期

    介绍了一种基于Hartmann哨的超声雾化喷嘴。通过激光粒度分析仪对喷嘴的雾化特性进行了实验研究,分析了不同气压对雾滴索特平均直径(SMD)、雾化角和用水量的影响。对喷嘴加装了中心杆,对比了有无中心杆对于雾滴SMD的影响。研究表明:随着气压的增大,雾滴SMD显著减小,雾化角增大,而气压在0.5 MPa时两者达到极值并趋于稳定;喷嘴加入中心杆,并在...

  • ZrxVyFez低温激活吸气剂的CO吸气动力学研究

    作者:崔航 崔建东 徐瑶华 徐晓强 徐大磊 杜军 刊期:2016年第03期

    运用非自耗真空电弧炉熔炼不同配比的Zr_xV_yFe_z吸气合金。对Zr_xV_yFe_z吸气合金粉末的相结构进行了X射线衍射分析。经过350℃保温2h的激活工艺后,分别测试了Zr_xV_yFe_z吸气合金粉末在25,50,75,100和125℃对CO的吸气性能。结果表明:Zr_xV_yFe_z吸气合金是由C15Laves相Zr( V_aFe_(1- a))_2和α-Zr相组成。随着Zr( V_aFe_(1- a))_2相的...

  • 调制结构对Ti/TiB_2多层膜在模拟体液中摩擦学行为影响

    作者:周广宏 方冬 王湘鸣 丁红燕 刊期:2016年第03期

    采用磁控溅射法在316L不锈钢表面制备了具有不同调制结构的Ti/TiB_2多层膜,研究了调制结构对Ti/TiB_2多层膜在Hank’s模拟体液中与超高分子聚乙烯配副的摩擦学行为的影响。结果表明:多层膜的摩擦学行为与调制层数n间存在着一定的依赖关系。n=4的多层膜平均摩擦因数约为0.126,与316L不锈钢相比降低了34.3%;对磨副UHMWPE的磨损量明显降低,呈现出...

  • 厚度对TiN薄膜力学性能的影响

    作者:赵升升 周晟昊 余红雅 匡同春 曾德长 刊期:2016年第03期

    采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律。结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐渐增加,结合力逐渐下降,摩擦系数略有下降;而薄膜应力沿层深分布趋势基本一致,都呈钟罩形分布;磨损率随薄...

  • 基于新型TiBCN单相金属陶瓷粉末制备纳米薄膜特性的研究

    作者:付秀华 潘永刚 董军 胡建东 刘冬梅 张静 刊期:2016年第03期

    TiBCN单相陶瓷粉末是一种刚问世的新型材料,该材料具有Na Cl型面心立方(Fcc)结构,兼有陶瓷和金属特性。在真空状态下,当温度为1200℃时,利用热蒸发TiBCN粉末,在三氧化二铝(Al_2O_3)陶瓷衬底上获得了TiBCN薄膜。采用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜及能谱分析仪研究了TiBCN薄膜的组织和微观结构,并用硬度计测试了薄膜的硬度。结果显示,利...

  • TiAlN涂层刀具强流脉冲电子束表面处理工艺多响应值优化研究

    作者:娄长胜 张垒 芦馨 金光 刊期:2016年第03期

    采用响应面设计方法对TiAlN涂层刀具强流脉冲电子束表面后处理工艺进行优化设计,结合回归统计建立硬质合金涂层刀具的表面粗糙度、硬度以及弹性模量数学模型。此外,分别对三个数学模型进行显著性分析,以揭示输入电压、输入电流和脉冲次数对涂层刀具表面粗糙度、硬度及弹性模量的影响。结果表明,强流脉冲电子束轰击过程中的输入电压、输入电流和...

  • 层流等离子体炬在快速成形制造中的应用

    作者:王建龙 杨宽 张一川 李唤 朱晓东 刊期:2016年第03期

    本文开展了层流状态的直流等离子体炬在金属快速成形制造中应用研究。在放电电流70~80 A条件下,氩等离子体射流长度约为18 cm,而氮气作为工作气体时等离子体射流的长度明显高于氩气,可达40 cm。利用氩等离子体射流,进行了高约3 cm、外径约为2.8 cm的铜管状部件的快速成形制造。对部件截面进行了扫描电子显微镜和和X射线衍射分析,发现在截面上存...

  • 基于FLUENT软件直流电弧等离子体喷射法等离子体放电特征二维数值模拟

    作者:郭建超 刘金龙 闫雄伯 化称意 赵云 陈良贤 魏俊俊 李成明 刊期:2016年第03期

    直流电弧等离子体喷射法制备金刚石膜的过程中氩气主要起维持电弧放电作用,在一定程度上保证电弧放电的稳定性。本文利用自定义标量和自定义函数技术对FLUENT软件进行二次开发,在动量和能量守恒方程中添加相应电磁源项。对纯氩直流电弧等离子放电特征进行二维数值模拟,并经过实验验证后最终得到等离子体放电区域的温度、焦耳热、电流密度和速度...

  • 活性屏等离子渗氮工艺中双重辉光放电下氮的输运机理

    作者:郑少梅 郝国祥 陈启 刊期:2016年第03期

    采用大尺寸铜质活性屏进行活性屏等离子渗氮处理,在距离活性屏不同位置处分别放置玻璃片,用来收集主电压和偏压同时存在时,即等离子空间处于双重辉光放电模式下阴极溅射产生的在渗氮过程中起到载体作用的纳米粒子。通过对粒子形貌、化学成分进行分析,以此揭示双重辉光放电条件下活性屏离子氮化工艺中氮的输运机理。实验结果表明:主电压和偏压同...

  • 电子回旋共振波等离子体及其应用

    作者:殷冀平 蔺增 巴德纯 刊期:2016年第03期

    电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中的等离子体,能够实现半导体薄膜的低压高速沉积,具有离化率高、放电反应室内无电极、适合大面积薄膜沉积等优点...

  • 相速渐变折叠波导的研究

    作者:刘冬 刘文鑫 王勇 李科 刊期:2016年第03期

    为了提高折叠波导行波管的注-波互作用效率,本文提出了两类变形的折叠波导高频结构,分别是直波导长度渐变的折叠波导以及部分加载介质的折叠波导。前者又分为连续渐变和阶梯渐变两种结构,后者有两段式及三段式介质加载两种;并从理论上分析了这两类结构。分别用等效电路法和矩形波导法分析计算了两种新型的折叠波导结构的相速,得出两者的波在轴向...

  • 大功率同轴与波导窗的结构与设计原理综述

    作者:朱小芳 胡权 胡玉禄 徐立 李斌 刊期:2016年第03期

    大功率微波输能窗是微波电子管、电子直线加速器、正负电子对撞机、等离子体加热等装置的关键部件之一,其性能直接影响到器件的工作带宽、功率容量、寿命和可靠性等性能,甚至研制的成败。本文总结了几种大功率同轴窗和波导窗的结构和设计方法,并对大功率微波输能窗设计过程中存在的主要问题与发展趋势进行了分析,希望对各种应用场合下微波输能窗...