杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
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作者：薛大同 肖祥正 刊期：2013年第08期
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论：从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L〈1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大...
作者：薛大同 王庚林 肖祥正 刊期：2013年第08期
分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。对于预充氦...
作者：薛大同 肖祥正 王庚林 刊期：2013年第08期
密封器件氦质谱细检漏包括压氦法（即背压法）和预充氦法。对于压氦法，通常靠粗检鉴别是否有大漏孔，但候检时间不可过长，以免可能存在的大漏孔处于分子流状态，不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式，以便既避免漏检又做好被检器件表面的净化工作。预充氦法的优点是可检测的最小等效标准漏率比压氦法低好几个量级。但用户复检时，候...
作者：曹生珠 陈学康 王熙元 韩闯 杨建平 刊期：2013年第08期
微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于激光微加工技术,采用聚酰亚胺作为结构材料的微型星用热开关辐射器,介绍了器件的工作原理,对器件结构和热性能进...
作者：刘建明 周恒智 刊期：2013年第08期
对内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管进行了9组烘烤排气实验,通过对比各组集热管在烘烤排气过程中的排气量及分析高温烘烤———加速老化实验数据,得到了其烘烤排气最佳工艺参数。9组实验中,450℃/50 min,450℃/40 min,450℃/30 min及400℃/50 min四个工艺制作的集热管真空品质相差不多,优于其余五个工艺;单从集热管真空品质角度看,450℃/50min烘...
作者：王洁冰 谢二庆 许旻 左华平 王虎 李林 吴春华 赵印中 刊期：2013年第08期
电致变色薄膜器件的光学性质可以随外加电场而发生可逆的变化,利用这种性质,电致变色薄膜器件可以广泛应用于建筑、汽车、航天等领域,在节能、热控等方面发挥作用。本文针对电致变色薄膜器件在空间飞行器上的应用方向,综述了电致变色薄膜器件的研究现状,分析了该器件在空间飞行器主动热控以及空间太阳帆姿态控制等方面的应用前景。
作者：严楷 曹江利 姚文清 严谨 李展平 朱永法 刊期：2013年第08期
采用磁控溅射方法在Si基底上制备了Au/Cu薄膜。利用扫描俄歇微探针（SAM）纳米化分析技术进行表面成分分析与深度剖析,研究在真空环境中,紫外辐照、微氧氧含量及处理温度等因素作用对Au/Cu薄膜界面结构的影响。实验结果表明：环境温度的升高,使薄膜内缺陷增加,为Cu原子的扩散提供了更多的扩散通道;紫外辐照产生了等同的热效应,加剧了Cu原子在Au...
作者：杨淼 冯煜东 王艺 王志民 赵慨 王虎 刊期：2013年第08期
柔性热控薄膜材料广泛应用于各种航天器平台,其性能对维持航天器正常工作环境至关重要。本文针对空间热控技术发展要求,综述了国内外柔性热控薄膜材料的技术指标以及应用现状。介绍了国内外各种航天器上普遍应用的一次表面镜、二次表面镜、腐蚀防护膜和热控带等柔性热控材料的工作原理及应用范围,并对国内外典型柔性热控产品性能进行了对比。并...
作者：王雪梅 刘正堂 冯丽萍 刊期：2013年第08期
采用射频反应磁控溅射法在p-Si（100）衬底上成功制备出SrHfON高k栅介质薄膜,并研究了Au/SrHfON/Si MOS电容的漏电流机制及应力感应漏电流（SILC）效应。结果表明,MOS电容的漏电流密度随N2流量的增加而减小。在正栅压下,漏电流主要由Schottky发射机制引起;在负栅压下,漏电流机制在低、中、高栅电场区时分别为Schottky发射、F-P发射和F-N隧穿机制...
作者：杨修东 王树忠 阮存军 赵鼎 张长青 刊期：2013年第08期
研究了W波段高频输出窗的工作特性及三个关键结构尺寸对工作特性的影响规律。结果表明,驻波比小于1.2的频带为94.21~94.76 GHz;驻波比小于1.1的频带为94.34~94.64 GHz;工作频带内无谐振模式;窗片厚度对工作特性影响最大。热力学分析显示,温度最高点和应力最大点分别位于陶瓷窗片中心和边缘;最高温度和最大应力分别为117℃和144MPa。研制并测试了...
作者：郭际 尚新文 李飞 肖刘 刘濮鲲 王书见 刊期：2013年第08期
收集效率和回流率是体现多级降压收集极性能的两个重要指标,本文尝试在收集极表面加上一定弧度的磁钢贴片,以此在收集极内引入非轴对称磁场,通过调节磁场的大小和位置,观察磁场对收集极内电子运动轨迹的影响,寻求实现收集极效率的最大化并抑制二次电子回流。针对某一Ku波段行波管多级降压收集极,加入优化磁场后的计算结果与未加磁场时相比,各电...
作者：冯刘 张连东 刘晖 程宏昌 高翔 陈高善 史鹏飞 苗壮 刊期：2013年第08期
GaAs光阴极是一种高性能光阴极,它由GaAs/GaAlAs外延片和玻璃基底粘接而成。为了了解外延片的元素深度分布和各层的均匀性,利用X射线光电子能谱和Ar离子刻蚀来进行深度剖析。结果表明,由于送样过程中曾短暂暴露大气,因而GaAs光阴极表面吸附有少量C、O污染,并且GaAs表层被氧化;GaAs层中的Ga、As元素含量非常均匀,约为3∶2,富Ga;而GaAlAs层中的Ga...
作者：韦雪真 王树忠 阮存军 王勇 刊期：2013年第08期
通过三维仿真软件CST-MSW建立了平面线形排列的多注分布作用速调管五间隙谐振腔的物理模型,获得了结构参数对腔体的场形、特性阻抗等相关冷参数的影响。在工作模式频率相同的情况下,对平面线形排列的多注分布作用速调管五间隙腔体和带状注速调管传统的哑铃型五间隙腔体参数进行了对比分析。研究表明,平面线形排列的多注分布作用速调管谐振腔具有...
作者：张瑞 刊期：2013年第08期
以同轴腔高功率多注速调管为研究对象,以大信号程序KLY及PIC粒子模拟软件对其多电子注-波互作用系统开展了一维初始设计、二维等效设计及全三维模拟设计。通过采用二次谐波腔技术及参数优化,使同轴腔注-波互作用系统达到了70%以上的计算效率。与传统长漂移管方案注-波互作用系统相比,二次谐波腔方案不仅可以获得较高的注-波互作用效率,并且其系...
作者：王瑞 吴敢 杨建平 韦波 陈学康 刊期：2013年第08期
在已经过常规淬火的GCr15轴承钢表面,利用脉冲Nd：YAG激光进行了B4C粉末硼化改性处理。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度仪及摩擦磨损试验仪器对激光硼化处理后改性层的显微组织及性能进行了研究。结果表明：激光硼化改性层由树枝晶的FeB、Fe2B和基体组成,改性层的表面硬度高达HV1560,相比处理前硬度提高了81.8%,硬化层深度约为150μm,...
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