杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
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作者：刘汉 高卫东 孙荣辉 刊期：2013年第04期
为了有效地抑制窄带信号对超宽带系统的干扰，设计了一种新型双陷波平面超宽带天线，地板采用新型的缺陷地结构来扩展带宽，并通过在八边形天线的辐射贴片上加载互补开口谐振环、在馈线上开U形缝隙，使得天线在3．7—4.1GHz和5.1～5.9GHz频段内实现双陷波特性。分析了实现天线陷波的原理，研究了天线的尺寸参数对陷波的影响，并对所设计的天线进...
作者：李兴辉 白国栋 李含雁 丁明清 冯进军 廖复疆 刊期：2013年第04期
在Spindt场发射阴极制作工艺流程中，剥离层对于形成良好的发射尖锥形状至关重要，同时它也是实现阴极阵列中尖锥均匀性的关键因素。本文研究了几种常用的剥离层材料包括金属铜，A1203以及水溶性的NaCl和r％c03。实验表明NaCl和r％c03用作剥离层，可以被去离子水迅速、容易地去除，并同时实现很好的腐蚀选择性。但用这些水溶性材料得到的发射尖...
作者：徐勇 罗勇 王建勋 鄢然 蒲友雷 王晖 王丽 李宏福 熊彩东 刊期：2013年第04期
给出了一种十字交叉形TE-TE宽带模式变换器的设计原理。同时，完成了一支Ka波段TE-TE模式变换器的设计方案。根据该设计方案在高频分析软件HFSS中建立三维模型进行仿真优化。通过优化设计获得了0．042dB的带宽为13．5GHz（26．5～40GHz）的高性能TE□/10-ＴＥ○/01带模式变换器。冷测实验表明优化设计结果与冷测结果较吻合。热测实验表明设计出...
作者：李秦龙 胡欣 李实 刊期：2013年第04期
模拟预失真是补偿行波管非线性失真的一种非常重要的方法。不过，目前大多数的预失真器需要在输入输出端加隔离器，增加了系统的复杂性。本文介绍一种工作在L波段的基于二极管的预失真线性化器。这种预失真线性化器利用3dB分支线耦合器的特性，实现输入输出端的良好匹配。随着输入功率的增加，该预失真线性化器可以达到不同的增益扩张和相位扩张...
作者：徐长有 赵世柯 郝保良 赵建东 张院民 刊期：2013年第04期
行波管工作在非常恶劣的环境下，对结构可靠性具有很高的要求。本文探讨了国内外学者及科研机构对行波管结构动力学特性分析的研究方法和研究情况，利用有限元模仿真分析和随机振动试验相结合的方法，进行了某行波管输能窗两种结构的力学机理分析、动力学特性分析和随机振动试验。结果表明，有限元仿真分析的结论与随机振动试验的结果是吻合的。
作者：杨兰兰 屠彦 张盼盼 马善乐 占建英 张玮 刊期：2013年第04期
采用粒子．蒙特卡罗模型对气体电子倍增器工作在轻惰性气体№和重惰性气体xe中的倍增过程和增益特性进行了比较研究。研究结果表明，轻惰性气体Ne较重惰性气体xe具有更高的时间分辨率，更高的有效探测效率。但在1个大气压的工作条件下轻惰性气体№较易放电使得工作电压降低，从而能达到的最大增益较xe低，更高气压下的工作机理还需进一步的研究...
作者：田立成 石红 李雪春 张天平 刊期：2013年第04期
采用一维和双离子自洽流体模型研究了等离子体浸没离子注入圆柱形聚对苯=甲酸乙=醇酯介质内表面的离子鞘层要动力学。在模型中，考虑工作气体为氮气时离子成分为氮原子离子N’和分子离子时。计算结果表明，不同的离子成分比具有不同的鞘层演化特性，氮原子离子含量高会导致严重的充电效应。在实际工艺中，可通过调整相关参数以降低原子离子N°的...
作者：王坤 李建 刊期：2013年第04期
为了研究空气介质阻挡放电（DBD）对聚乙烯表面吸湿性的影响及其机理，在本文中利用空气DBD对PE表面进行改性研究。利用测量水接触角测试仪测量样品的水接触角，应用红外光谱（FrIR-ATR）、X射线光电子谱（XPS）对样品进行表面表征，应用扫描电镜（SEM）观测在处理前、处理后及处理中加吹风系统的聚乙烯样品表面上利用磁控溅射方法制备的铜膜。...
作者：张燕 尚中选 吕印定 顾彪 刊期：2013年第04期
在介质阻挡放电装置中，使用阻抗匹配网络后，当气体间隙为3mln时，在大气压氮气中获得了均匀介质阻挡放电等离子体，放电模式为汤森放电。在其他放电参数不变的情况下，放电电流和放电功率随着~＇lqJn电压峰峰值的增大先非常缓慢增加，然后当放电面积铺满整个电极后呈线性增加。而放电电流和放电功率随驱动频率的增加呈现出非常明显的谐振现象...
作者：田树平 贺平逆 张静全 潘宇东 苟富均 刊期：2013年第04期
采用分子动力学方法模拟不同能量的c°离子与聚变材料钨的相互作用。模拟结果表明：当C°离子入射剂量为3．11×10埔cm-2。，入射能量为50eV时，样品表面形成一层碳膜；而入射离子能量为150和250eV时，c°离子入射到样品内与钨原子共同形成碳钨混合层，样品表面没有形成碳膜；碳的沉积率随能量的增大先减小后增加，溅射率随能量的增大先增大后减小；...
作者：胡志立 李长生 唐华 梁家青 刊期：2013年第04期
摘要通过对固相合成rqbs2过程中特殊形貌的产生，尝试提出“微量氧诱导机制”。在混合均匀的硒粉铌粉分别占固相反应釜不同的有效体积，经过700℃，1h反应后发现分别形成不同的特性形貌，采用x射线衍射、扫描电镜、能量散射谱分别分析了样品中的相成分、微观形貌和元素成份；提出微量氧气在Nbs2合成过程存在诱导机制。
作者：刘方元 王健 赵勇 胡强 刊期：2013年第04期
本文提出并初步实现一种提高等离子显示面板（PDP）出光率的多层干涉型反射膜，其中高折射率材料采用金属诱导多晶硅，低折射率材料采用二氧化硅，并通过实验得到了可见光波段平均反射率为80％的平面高反膜。实验中采用半圆管替代实际PDP中的障壁结构，并且通过蒙特卡罗方法分析了粒子在磁控溅射中沉积到半圆管壁上的过程，得到了薄膜在样片不同...
作者：李再金 李特 芦鹏 王勇 李林 曲轶 薄报学 刘国军 马晓辉 刊期：2013年第04期
GaAs基半导体激光器芯片在空气中解理后，解理腔面会被空气氧化形成腔面缺陷，在腔面形成的缺陷严重影响了器件的寿命。用GaAs衬底表面模拟半导体激光器的解理腔面，研究了不同的光学薄膜对GaAs表面特性的影响。研究结果表明暴露在大气中的GaAs表面会形成Gfd203、A昆03和As205缺陷。在表面镀含氧光学膜的GaAs表面上会形成少量Ga203缺陷，不形成A...
作者：杨芳儿 沈涛 郑晓华 郑晋翔 刊期：2013年第04期
采用脉冲激光烧蚀氮化碳薄膜靶，在室温至450％基片温度下制备了cM薄膜。利用扫描电镜、x射线衍射仪、x射线光电子谱仪和拉曼光谱仪等对薄膜的形貌、结晶性和结合键状态进行了表征。采用球．盘式摩擦仪测试了薄膜在大气中（相对湿度60％～62％）的摩擦磨损性能。结果表明：所得c吼薄膜均呈非晶状态，表面形貌与基片温度无关。随着基片温度的升高...
作者：曾群锋 于飞 董光能 毛军红 林凯生 刊期：2013年第04期
采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上以c2H2为反应气源制备了含氢类金刚石（DLC）膜。使用激光拉曼光谱摘要仪、x射线光电子能谱仪和原子力显微镜分析和观察了DLC膜的微观结构及表面形貌，结果表明：DLC膜表面由纳米级别的圆形颗粒堆积而成，其结构呈现出DIE的典型Raman光谱特征，薄膜中的碳元素主要以sp2C键、sp3C键和C-0键的形式存在。以GCr...
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