杂志简介：《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1981年创刊，国内刊号为11-5177/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述评述、研究快报、研究论文
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作者：张为民 康平 卢允庄 刊期：2012年第06期
为提高食品冻干设备中物料托盘的传热性能和安全性,在BSNFD05冻干机上设计了三种物料托盘：不锈钢网状托盘、铝制平板托盘和不锈钢平板托盘,分别进行了传热计算和实验对比。结果显示,采用不锈钢网状物料托盘可以消除食品安全的顾虑,并提高辐射传热效率,其传热效率远远超过不锈钢平板托盘,达到铝制平板托盘相近的水平。
作者：彭杰 韩军武 吴振宇 杨银堂 魏经天 朱丽丽 刊期：2012年第06期
采用有限元分析方法模拟铜互连系统中的热应力分布,模拟了在铜互连不同位置处应力诱生空洞前后应力的分布及其变化,研究互连中应力诱生空洞可能的生长位置及其几何形状。结果表明,互连中的应力分布呈明显的各向异性,水平方向上的应力梯度显著大于垂直方向。互连系统中的张应力在M1顶端通孔两侧出现极大值。在M1顶端通孔两侧的空洞生长可以有效释...
作者：崔东旭 郑少成 邱亚峰 钱芸生 常本康 刊期：2012年第06期
阐述了微通道板（MCP）输出信噪比的概念内涵,提出了MCP输出信噪比测试的具体实现方法。设计了MCP噪声特性分析系统,该系统由真空系统、电子枪组件、高压电源系统、信号处理模块、数据采集和控制模块、计算机和测试软件等部件组成。利用热阴极组成面电子源,产生的面电子流作为输入信号,采用硬件滤波和软件数字滤波相结合的方法对MCP的输出电子流...
作者：范兴明 刘旭东 张鑫 樊建荣 潘永成 石维坚 赵光宙 刊期：2012年第06期
屏蔽罩电位是判断真空断路器灭弧室真空度水平优劣的一种技术手段,研究人员对屏蔽罩电位信号成分及其形成机理进行了大量的研究工作,并在理论上和试验方面取得了一定成果。但对于真空屏蔽罩上电位的成因并无公认的解释,且实际应用中难以将不同型号的断路器按同一标准对待。为寻求真空度与屏蔽罩电位的内在联系机理,本文基于前人研究成果,从电介...
作者：范兴明 张鑫 杨家志 樊建荣 潘永成 黄知超 李震 刘华东 刊期：2012年第06期
通过试验得到了触发系统的触发能量、触发电压与真空触发开关（TVS）导通概率、触发时延及分散性的关系,试验结果可以作为高性能真空触发开关控制器的设计与应用的指导。触发点火回路采用陡化高压触发脉冲,使TVS的导通时延及其分散性显著降低。引入同步触发技术,控制TVS主间隙在交流外施电压峰值触发。重点比较主间隙施加交直流情况下的触发特性...
作者：张珂 阎肃秋 邵文生 姜进红 刊期：2012年第06期
部分微波管的特殊使用条件要求阴极具有快速启动能力,即要求阴极组件加电后在十几秒甚至更短的时间内达到一定的发射电流。同时,还要求快热阴极组件具有良好的耐振动、冲击能力。本文介绍了高效率快热阴极组件的设计原则,并给出了一种多注速调管用快热多注阴极的设计实例,该阴极组件已经成功应用于某多注速调管,并具有良好的快热性能。
作者：裴宪军 巩春志 汪志健 田修波 杨士勤 刊期：2012年第06期
MATLAB是当今先进计算软件之一,它提供的各类工具箱和内置函数给应用者带来了极大的方便。本文通过调用MATLAB中偏微分方程工具箱和插值函数实现了方管内表面等离子体离子注入的Particle-In-Cell模拟,并与传统其他语言程序的计算结果对比,结果基本一致。文章还讨论了不同尺寸的内电极对离子平均注入能量的影响,结果表明：即使有内部电极“钳位”...
作者：朱宗涛 巩春志 汪志健 田修波 杨士勤 Ricky Fu 刊期：2012年第06期
提出了一种基于靶台（工件）二次加速的束线离子注入的新方法,基本原理是将传统束线离子注入和等离子体离子注入有效复合。采用二维Particle-in-cell（PIC）模型对这种注入方法进行了数值仿真研究。考察了靶台加负偏压情况下靶台表面空间电势、离子密度变化以及离子的运动状态的时空演化。统计分析了不同时刻离子注入剂量、注入能量和注入角度的...
作者：杨鹏辉 曾志刚 胡志宇 刊期：2012年第06期
碲化铋材料是目前已知的室温下性能优异的热电材料之一。本文利用射频磁控溅射在不同基片温度下制备了碲化铋薄膜。研究发现,基片温度对薄膜的微结构和表面形貌影响显著。随着温度的提高,薄膜内晶粒尺寸都不同程度地增加。基片温度100℃以上碲化铋薄膜为Bi2Te3相为主的多晶结构,并具有良好的c轴择优取向,形成了六角层状结构。基片温度250℃时薄...
作者：潘园园 沈鸿烈 吴天如 张磊 刘斌 刊期：2012年第06期
采用热丝化学气相沉积法制备了不同B2H6掺杂比例（B2H6/SiH4为2%-15%）的p型纳米晶硅薄膜,通过探索B2H6掺杂比例、晶化率、光学带隙和电学性能（电导率、载流子浓度、霍尔迁移率）之间的关系以及薄膜掺杂机理来研究B2H6掺杂比例对薄膜微结构和光电性能的影响。在掺杂比例为11%时成功获得了电导率为32 S/cm的高电导率硼掺杂nc-Si∶H薄膜。
作者：张志坚 于光龙 杨尊先 陈景水 郑灼勇 郭太良 刊期：2012年第06期
先采用阳极氧化法在铝基板上制备了多孔氧化铝（AAO）膜,并以铝基AAO膜作为前驱物,采用化学腐蚀溶液分别制备出了具有纳米结构、微米结构和微纳复合结构表面的薄膜材料结构。利用扫描电子显微镜、荧光分光光度计和电子能量色散谱仪等测试手段分析了薄膜材料表面结构,并在薄膜表面涂覆低表面能物质氟硅烷薄膜研究这些表面结构的疏水性能。研究结...
作者：沟引宁 黄楠 孙鸿 刊期：2012年第06期
考察了C（硬）/C（软）调制比对多层膜结构和性能的影响。采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术制备了C/C多层膜,通过Raman光谱对多层膜的结构进行了表征;用硬度计和销盘式摩擦磨损试验机测试了多层膜的硬度及摩擦学性能。结果表明：所制备的多层膜呈现类金刚石结构并具有良好的耐磨性,其摩擦系数均小于0.15;随多层膜中软膜比例的增大,薄膜中sp2...
作者：吴震弘 刊期：2012年第06期
采用程序升温脱附实验方法测量氧的同位素C16O2,C18O2和18O2分别在Ni16O表面吸附后的脱附谱,其结果表明C16O2在Ni16O表面吸附后出现C16O2和C16O两个波峰,且C16O2和C16O的脱附量随C16O2气体暴露量增加而增加,其峰值温度随C16O2气体暴露量增加而减少,当C16O2气体覆盖度超过一定值后,C16O2和C16O脱附量趋于常数,其活化能分别是0.48 eV和0.42 eV。C1...
作者：杨尊先 李松 郭再萍 郭太良 刊期：2012年第06期
以锐钛矿TiO2粉末为原料,通过简单的两次水热及氩气气氛下热处理工艺,制备出新型TiO2（B）/碳一维复合纳米线材料。研究结果表明该复合纳米线主要是由TiO2（B）所组成,其外层包覆一层无定形碳以形成特殊的一维壳/核结构;这种特殊一维壳/核结构和化学组成在诸多领域都将会有着极其广泛应用。本文锂离子电池测试结果证实该复合纳米线电极具有超高...
作者：万贺利 徐宝强 杨斌 刘大春 戴永年 刊期：2012年第06期
在真空炉中（30-40 Pa）1273 K下,将物料放入螺纹密封的石墨坩埚中进行不同时间下的还原反应。本文采用热力学分析及X射线衍射、扫描电子显微镜及能量弥散X射线谱等方法与手段,系统研究了金属钙（Ca）与反应器中的氧气（O2）、氮气（N2）、二氧化钛（TiO2）的反应和还原时间及还原产物的预处理对得到金属钛粉（Ti）的影响。通过热力学研究,在温...
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