首页 期刊 真空 第二十讲 真空离子镀膜 【正文】

第二十讲 真空离子镀膜

作者:张以忱 东北大学; 辽宁沈阳110004
电弧蒸发   电离碰撞   阴极电弧   电弧放电等离子体   永磁体  

摘要:电弧放电等离子体的参数主要有电子温度7;、电离强度乂、电场强度E、带电粒子密度«.(=心)及等离子体电位U及阳极电流。

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