摘要：TN364 2005010465 ZnO基紫外探测器的制作与研究=Fabrication and study of ZnO UV photodetector[刊,中]／杨晓天(吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室．吉林,长春(130023))．刘博阳…∥发光学报．-2004,25(2)．- 156-158 利用新型的等离子体辅助金属有机化学气相沉积(P- MOCVD)系统在蓝宝石、硅等衬底上生长出具有单一c轴取向、高阻的ZnO薄膜,利用添加的等离子体发生装置,进

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