摘要：通过对金属Ce蒸发行为的分析,确定了合适的蒸发温度,在此基础上开展了电磁感应蒸发装置的设计及蒸发技术研究。对金属Ce蒸发速率进行了测定,并采用膜厚法分析蒸气密度分布,称重法测量了蒸气密度。结果表明：2 000℃左右金属Ce蒸发速率约为99~135g/h,实测值略低于理论值;金属Ce原子蒸气密度分布近似为余弦函数高次幂分布,原子蒸气密度约为10~（11） atom/cm~3量级。采用电磁感应加热蒸镀金属Ce薄膜具有应用可行性。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社