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气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响

作者：聂君兰; 谷坤明; 汤皎宁; 麦达宇; 樊璠深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室; 深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室; 广东深圳; 广东深圳

ecr溅射镀膜磁控溅射气源流量

摘要：介绍了一种新型的DLC膜制备方法——ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法。采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C)中间层结构的碳薄膜。研究了制备时不同气源流量对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能等的影响。

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