摘要：超纯水的制备通常只以电阻率来进行水质监控.这种制备方法需要若干步骤.以本地用水为纯化水源时,必须在最终精制之前对其进行预处理.纯化的初始步骤包括DI(去离子技术)或者RO(反渗透)/EDI(连续电流去离子技术)联用.尽管通过这两种技术都能获得电阻率较高的超纯水,但是当更能精确地监控超纯水质量的TOC(有机碳总量)也被列入考查指标的时候,不同制备技术得到的超纯水之间水质的差异就明显了.由于TOC偏高,选用去去离子技术(DI)进行预处理需要更加严谨的维护和操作.而且,树脂再生之后使用,容易导致有机物脱落进入离子交换精制介质甚至后面的过滤器,进而影响、削弱整个系统的效率、可靠性和使用寿命.

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