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微细加工技术杂志创刊于1983年， 发行周期为双月刊， 是一本电子类 统计源期刊， 由中国电子科技集团公司第48研究所主办， 中国电子科技集团公司第48研究所主管， 内容节奏经过编排与改进，受到越来越多的读者喜爱。

杂志论文栏目设置：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术、等。