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基于金属亚波长光学结构窄带滤色片的研究进展

作者：王启航; 张叶; 李国辉; 王文艳; 郝玉英; 崔艳霞 刊期：2019年第10期

窄带滤色片是一种在可见光波段选择性地反射或者透射特定波长的可见光而呈现不同颜色的常用光学元件,在液晶显示、光通信、传感探测和成像等多个领域得到广泛应用。综述了金属亚波长光学结构窄带滤色片的研究进展。根据结构形式的不同,将金属亚波长窄带滤色片进行了划分,主要包含了平直金属亚波长薄膜结构、金属-介质-金属腔结构、金属孔或颗粒...

基于重组蛛丝蛋白的多层级瞬态衍射光学传感元件

作者：高子涵; 蔡晓晴; 孙龙; 周志涛 刊期：2019年第10期

针对传统衍射光学元件(DOE)与MEMS加工工艺难以兼容、传感应用方面灵敏度低的问题,提出了一种基于基因重组蛛丝蛋白材料、利用热纳米压印工艺制成的多层级瞬态可溶DOE。重组蛛丝蛋白性能可按需定制,重复性高,具有极佳的生物相容性,高精度、高效率、低成本的纳米压印工艺可实现DOE的快速制备,同时控制其降解速率。纳米压印工艺制备的重组蛛丝蛋白...

中国电子科技集团公司第十三研究所光电专业部产品推介

刊期：2019年第10期

中国电子科技集团公司第十三研究所从事半导体光电器件研制与生产30余年,拥有一条国际先进水平的工艺线,涵盖材料外延、圆片加工和器件封装等全套工艺,主要产品有大功率半导体激光器、高速半导体激光器和高速探测器。其中大功率激光器代表产品有连续/准连续阵列激光器、高亮度光纤耦合激光器和窄脉冲激光器,应用于固态激光器泵浦、光纤激光器泵...

损伤恢复机制对3D NAND闪存保持特性的影响

作者：艾迪; 靳磊; 邹兴奇; 张瑜; 李春龙; 霍宗亮 刊期：2019年第10期

在3D NAND闪存的分布式编程擦除循环实验中发现,存储单元的保持特性随着编程擦除循环周期间隔的增加而改善。对实验数据的分析表明,编程擦除循环周期间隔中发生了损伤恢复,且在损伤恢复的两个机制中,氧化层电荷逸出对保持特性的改善起主要作用,而非界面陷阱修复。这说明,氧化层电荷逸出对于3D NAND闪存的保持特性有着重要影响。此外还发现,由于...

稀土掺杂GaN基稀磁半导体材料的研究进展

作者：梁李敏; 李英; 刘彩池 刊期：2019年第10期

GaN基稀磁半导体材料具有高于室温的铁磁性和优异的光电性能,在半导体电子自旋器件领域有广阔的应用前景。系统地介绍了制备方法对稀土Gd掺杂GaN基稀磁半导体材料铁磁性的影响,讨论了Gd掺杂GaN基稀磁半导体材料中铁磁性的起源,介绍了除Gd以外的稀土离子掺杂GaN基稀磁半导体材料中的铁磁性,以及共掺杂对GaN基稀磁半导体材料的铁磁性能的影响。目...

低温共烧陶瓷材料的研究进展

作者：张晓辉; 郑欣 刊期：2019年第10期

简述了低温共烧陶瓷(LTCC)介质基板的优缺点,介绍了国内外LTCC基板材料的主要生产厂商,综述了LTCC材料中的玻璃/陶瓷体系和微晶玻璃体系。分析介绍了国内外主要研究机构开发的玻璃/陶瓷材料,总结了不同陶瓷材料的介电性能和热学性能;介绍了以Ferro公司的A6系列微晶玻璃体系为代表的陶瓷材料,总结了不同微晶玻璃材料的介电性能和热学性能。分析了...

一种用于称重的矩形微通道式微悬臂梁

作者：郝秀春; 蒋辟涵 刊期：2019年第10期

矩形微通道式微悬臂梁传感器可用于检测单个微粒子或细胞的质量,在生物和化学等领域具有非常广泛的应用前景。设计了一种含有矩形微通道的微悬臂梁结构,建立了单个微粒子等效的集中载荷在微悬臂梁中矩形微通道的任意位置时弯曲挠度的理论模型,分析了静态工作模式下的弯曲挠度变化以及研究了单个微粒子的质量及位置对微悬臂梁的弯曲挠度的影响,并...

基于MEMS技术的颅压监测传感器的设计与制备

作者：王文涛; 梁庭; 杨娇燕; 雷程; 李志强; 单存良; 薛胜方 刊期：2019年第10期

颅内压力的监测对颅内疾病的诊断和治疗有重要的作用,基于硅的压阻效应,设计了一种可用于人体颅内压力监测的植入式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了颅压传感器力学结构和电学性能的设计,然后采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备,并提出了一种具有生物兼容性的绝缘封装结构。同时搭建了绝缘性测试平台和性...

FA优化BP神经网络的MEMS陀螺仪温度漂移补偿

作者：郭震; 刘颖; 于福华 刊期：2019年第10期

微电子机械系统(MEMS)陀螺仪输出易受环境温度的影响,产生温度漂移,测量精度降低,为解决这个问题,提出一种萤火虫算法(FA)优化BP神经网络的温度漂移补偿方法,在传统的BP神经网络中,存在易陷于局部极值的问题可能降低建模精度甚至导致建模失败,而此方法可以避免这个问题。首先在全温区(-40℃~+70℃)选取7个温度点进行测试,接下来采用该方法建立ME...

SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度

作者：袁本铸; 许煜; 贾琛 刊期：2019年第10期

设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度,对检测方向的输出干扰非常小。进行了工艺加工和实验测试,实验结果表明,该面内振动的压阻式加速度传感器在20℃下,工作...

基于微流体的ZnO纳米线的合成

作者：黄斌冰; 谢琰; 赵振杰; 李欣 刊期：2019年第10期

微流控芯片在纳米材料的合成方面具有突出的优势,在芯片中通过微流体的操控制备ZnO纳米线,并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和能谱仪(EDS)对制备得到的ZnO纳米线的表面形貌、晶体结构及成分进行表征。实验结果表明,在具有微腔室结构的微通道中可以构建浓度梯度,从而在单一通道中制备得到形貌及尺寸不同的致密ZnO纳米线,成为高效探索...

抛光压力和抛光垫硬度对PMMA-CeO2核壳复合磨粒抛光性能的影响(英文)

作者：马翔宇; 陈杨 刊期：2019年第10期

磨粒结构在化学机械抛光(CMP)过程中发挥重要作用。利用化学沉积技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)表面嫁接氧化铈(CeO2)纳米粒子,得到了核壳结构的PMMA-CeO2复合颗粒。借助X射线衍射、傅里叶转换红外光谱、场发射扫描电镜、透射电镜和选区电子衍射等手段对样品结构进行表征。结果表明,硝酸铈用量对CeO2复合颗粒的壳层厚度及均匀性具有明显影响。以...

基于3D打印技术的微电子器件制造

作者：樊宁; 唐文来; 杨继全 刊期：2019年第10期

传统微电子加工工艺存在着诸多限制,尤其是无法实现具有复杂三维(3D)结构的微电子器件的加工。首先,简述3D打印的工艺流程,并详细介绍了用于微电子器件制造的三种典型3D打印技术。随后,从刚性电子器件、柔性电子器件和半导体器件角度出发,重点阐述了3D打印技术在微电子器件制造中的研究现状。最后,总结了3D打印技术在制造微电子器件中存在的主要...

第十二届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知

刊期：2019年第10期

微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,第十二届“中国微纳电子技术交流与学术研讨会”定于2019年10月...

《微纳电子技术》编辑委员会

刊期：2019年第10期