摘要:针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150~150μm内探针扫描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式轮廓仪探针的故障检查和维修。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
热门期刊服务
初中生世界 新作文·小学中高年级版 云南财经大学学报·社会科学版 数码印刷 蒙古学信息 北方语言论丛 电气化铁道 邵阳学院学报·社会科学版 光明少年 北京文化创意 上海铁道大学学报·医科版 中山大学青年法律评论相关文章
接触网实训总结