杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：赵正平 刊期：2019年第01期
CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段。综述了惯性、压力、温度和生化等典型的MEMS智能传感器,展现了MEMS智能传感器的应用需求、技术特点、传感器新材料和新结构、电子学新架构、设计拓扑、关键技术突破和测试结果。同时也对MEMS智能传感器的工艺...
作者：袁帅; 董瑞新; 刘汝新; 闫循领 刊期：2019年第01期
由于供体-受体型聚合物具有较强的诱捕和释放电荷的能力,在忆阻器的研究方面具有很大的潜力。利用异靛蓝、丙烯二氧噻吩和噻吩合成了低带隙的供体-受体半导体聚合物(IPDT)(异靛蓝/噻吩/丙烯二氧噻吩的摩尔比率为x/1/1-x),构建了有机电子器件Al/IPDT/ITO,发现器件具有较稳定的忆阻特性。x=0.5时器件的开、关电压分别为8和-7.5 V,高低电阻比达到10...
作者：刘城; 王爱记; 刘自瑞; 刘建强; 毛海央 刊期：2019年第01期
实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战。TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器件阈值电压的调控。实验采用射频(RF)-直流(DC)磁控溅射的方式沉积TiAl薄膜,通过优化直流功率、射频功率和反应压强工艺参数,实现了对薄膜Ti/Al原子比率的调节,提高了...
作者：方俊飞; 冯荣; 苟于春 刊期：2019年第01期
利用纳米流体作为工作介质来实现太阳能光热转换是太阳能利用的最简单方式。将二氧化钛(TiO2)纳米颗粒和氮化钛(TiN)纳米颗粒均匀分散在水中形成TiO_2/TiN复合物纳米流体,进而研究复合物纳米流体的光吸收与光热转换性能。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和BET比表面积测试等技术对TiO_2和TiN纳米颗粒的晶体结构、微观形貌以及比表面...
作者：田姣姣; 尤敏敏; 林祖德; 白毅韦; 战光辉; 刘景全 刊期：2019年第01期
设计制造了一种改进的双螺旋结构MEMS加热器,可用于高温气体传感器作为加热和传感单元。该MEMS加热器以Si为基底,SiO2/Si3N4纳米薄膜作为绝热层,Pt/Ti金属薄膜作为加热单元和传感单元。通过应用并联的线宽由内向外逐渐减小的双螺旋结构,实现温度的均匀性和低功耗。用Comsol进行仿真优化结构,通过MEMS工艺加工制造出器件并进行了测试,用红外显微...
作者：田野; 刘文耀; 张伟; 唐军; 刘俊 刊期：2019年第01期
光纤谐振腔作为谐振式光学陀螺的核心传感器件,其性能直接决定了谐振式光学陀螺的灵敏度。目前使用的光纤谐振腔存在着品质因数偏低的问题,极大地限制了谐振式光学陀螺极限灵敏度的提升。将掺铒光纤引入到光纤谐振腔中并外加高稳定性的泵浦激光器形成掺铒光纤谐振腔,从而有效提升了谐振腔的品质因数。通过对激光功率、掺铒光纤长度等参数的实验...
作者：唐敏; 许锋; 孔德义; 卞世元; 王焕钦; 倪林 刊期：2019年第01期
磷酸根离子是一种对作物生长非常重要的土壤速效养分,但由于盲目过量施肥,使其成为导致水体富营养化的最主要因素。研究并开发了一种低成本的钴基磷酸根离子电化学传感器。在一定条件下,采用恒电流沉积法在钴基电极上电沉积纳米钴敏感薄膜,该固态离子选择电极对磷酸根离子浓度的线性响应范围为10^-5~10^-1 mol/L,线性相关系数为0.994,斜率为-50 ...
作者：张英杰; 张思祥; 竭霞 刊期：2019年第01期
基于T矩阵模型,推导出单模光纤光镊对细胞的驱动力公式。以COMSOL Multiphysics5.3为仿真软件,首先模拟出单模光纤的磁场模和电场模分布,得出在纤芯处场强最大,激光聚焦于此,然后又模拟出同一功率和波长条件下的光纤光镊对不同直径微粒的驱动作用,模拟结果表明不同直径的微粒沿着光轴移动的距离不等。提出了用于细胞驱动的光纤芯片的制作方法,并...
作者：郭锦玉; 张益霞; 郭星; 李艳萍 刊期：2019年第01期
基于磁致伸缩材料将巯基十一烷酸自组装于磁弹性芯片,经N-羟基丁二酰亚胺(NHS)和1-乙基-(3-二甲基氨基丙基)碳二亚胺盐酸盐(EDC)活化后固载癌胚抗原抗体(AntiCEA),设计构建了一种新型且低成本的磁弹性生物传感器,基于抗原-抗体特异性识别以及传感器质量增加其共振频率降低的机理,实现对癌胚抗原(CEA)的检测。采用荧光显微镜对异硫氰酸荧光素标记...
作者：白建新; 程丽霞; 史一明; 王任鑫 刊期：2019年第01期
针对目前Ag/AgCl湿电极存在导电膏干涸而导致的信号质量变差、电极-皮肤接触阻抗变大等问题,提出一种可测量生物电信号的柔性干电极的制备方法。结合深反应离子刻蚀(DRIE)和湿法腐蚀工艺制备出硅针尖模具,后经聚对二甲苯薄膜的保形淀积完成聚二甲基硅氧烷(PDMS)两次翻膜工艺,并有效解决了PDMS与金属种子层之间的黏附性问题。使用COMSOL软件对干...
作者：李鹏; 吴婷; 张礼兵; 陈建洲; 冯孝为; 黄风立; 左春柽 刊期：2019年第01期
以聚氧化乙烯(PEO)为直写溶液,光泽柔性绝缘相纸作为基板材料,采用自主研制的电流体动力学近场直写(ENDW)设备直写微图案。研究了工作电压、直写高度和直写溶液的质量分数等参数对PEO溶液的直写微图案宽度的影响。结果表明在使用质量分数3%的PEO溶液在进行直写时,喷嘴与基底之间的工作电压从1.1kV增大到2.6 kV,PEO微图案的平均宽度从35.61μm下降...
作者：程纪榕; 赵军; 蔡潇雨; 邵力 刊期：2019年第01期
为了在使用高倍物镜测量标准样板时获得高分辨率的样本整体区域信息,提出了一种基于尺度不变特征变换(SIFT)图像拼接算法的标准样板测量技术。首先通过高倍物镜获取局部三维结构,将其转化为二维灰度图像;然后采用SIFT和RANSAC算法得到准确的特征点;最后采用加权平均融合算法得到完整图像,重构整体样板三维结构,并利用ISO5436-1∶2000对标准样板...
作者：张维军; 赵世坤; 于洋; 何希文; 奚晶; 栾洋; 李遥; 陈翔 刊期：2019年第01期
作为一种在微米尺度操作流体的技术,微流控芯片具有反应体系小、通量高、自动化且操作灵活等优势,被越来越多地应用于细胞和微米尺度生物的研究中。秀丽隐杆线虫作为一种重要的模式生物被广泛地用于神经生物学、衰老及发育和药物筛选等研究中。提出了一种用于研究线虫和环境毒素相互作用的微流控自动化平台,该平台集成了基于微振荡原理的快速梯...
刊期：2019年第01期
由中国半导体行业协会半导体分立器件分会主办的“第四届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会”于2018年11月23-25日在苏州工业园区成功召开,共有来自全国各地360余位代表与会共享最新行业与技术信息。新当选的半导体分立器件分会理事长中国电子科技集团公司第十三研究所卜爱民所长致欢迎辞,苏州工业园区管委会林小明副主任和苏州纳米科技发...
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