杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：刘安琪; 吕亚威; 常胜; 黄启俊; 王豪; 何进 刊期：2018年第08期
隧穿场效应晶体管（TFET）在低功耗领域具有很好的应用前景,以优化新型准一维TFET为目的,通过数值仿真研究了以石墨烯纳米带（GNR）为沟道材料的准一维TFET以及受器件尺寸和掺杂浓度控制的器件输运特性及开态和关态电流。以能带调控理论结合局域态密度与电流谱密度间的关系为手段对隧穿效应的机理进行了详细的探讨,分析了禁带宽度、栅覆盖范围、...
作者：刘鹤鸣; 吴元龙; 牟俊朋; 连旭; 郝运; 宋健 刊期：2018年第08期
有机-无机杂化钙钛矿太阳电池（PSC）因其效率高、成本低及制备工艺简单等优点而得到广泛的关注。采用无机材料替代有机空穴传输材料可以进一步降低电池成本,拓宽钙钛矿太阳电池空穴传输材料的选择范围。采用水热合成法制备了NiO/石墨烯复合材料前驱体,经过高温处理,得到NiO/石墨烯复合材料,并将其应用于钙钛矿太阳电池空穴传输层。通过X射线衍...
作者：潘丽君; 李阳; 何鑫; 蔡俊韬; 包绵腾; 吴明建; 张美庆; 陈锏中; 董秋彤 刊期：2018年第08期
首先,采用光刻技术并结合湿法刻蚀工艺,在玻璃衬底上制备出蜂窝状分布的圆台阵列微结构,从占空比和反射、透射光线分布的角度分析其光学性能。然后,采用水热法制备银纳米线,并对样品进行X射线衍射（XRD）物相分析和扫描电子显微镜（SEM）微观形貌表征,得到平均直径为80 nm、长度为110μm、长径比大于1 000的超细长银纳米线。最后,通过浓硫酸和双...
作者：刘梦婉; 王赟姣; 谢婉谊; 周大明; 王德强; 崔洪亮 刊期：2018年第08期
由于纳米尺度流道加工过程中存在工艺复杂、效率低等缺点,限制了微纳流控芯片在纳米尺度下流体特性研究领域的应用。针对此问题,提出利用氮化硼纳米管作为纳流道集成到微纳流控芯片中的方法,并对芯片的离子输运性能进行测试。在微纳流控芯片制作过程中,结合SU-8厚胶光刻工艺与PDMS键合技术,使附着在Si/SiO_2基底上的氮化硼纳米管连接两个储液槽...
作者：何昱蓉; 贾利成; 何常德; 宋军华; 宋金龙; 张文栋 刊期：2018年第08期
针对0-0.3 N压力的大小与分布测试,设计了一款电容式压力传感器。通过ANSYS仿真与Matlab数据分析,确定传感器单个敏感单元半径为80μm,腔高0.5μm,膜厚2.5μm。阵元内敏感单元呈行列排布。设计工艺加工流程与版图,并进行干法刻蚀、减薄和键合等关键工艺加工。使用阻抗分析仪和压力计搭建测试平台,结果显示加工得到的压力传感器初始电容平均值为38.0...
作者：王欢; 李以贵; 蔡金东; 吴文渊; 吕瞳; 何易德 刊期：2018年第08期
为了获得高性能、较低成本的压电微驱动器,设计了悬臂梁式压电微驱动器。利用压电性能优良的块材压电陶瓷（PZT）材料和硅（Si）基板通过共晶键合工艺接合,结合硅片切割、PZT减薄和激光烧蚀及硅的湿法刻蚀工艺完成了微驱动器的制备。对设计的悬臂梁式压电微驱动器的前端位移输出和共振频率进行了理论分析和仿真。工艺上以0.9μm厚的金（Au）层为...
作者：赵思晗; 石云波; 赵永祺; 孙亚楠; 任建军; 李飞 刊期：2018年第08期
为了提高传感器的测试精度、抑制传统传感器的横向效应问题,通过改变压阻排布方式设计了一种低横向效应的压阻式加速度传感器。该传感器采用8电阻十字梁结构,电阻全部对称排布在应力变化的线性区,使传感器在满足高灵敏度的同时消除了横向效应。通过有限元仿真分析得出该传感器的灵敏度为0.297 4μV/g,横向灵敏度为零,对封装后的传感器进行了Hopki...
作者：张英杰; 张思祥; 李新冉 刊期：2018年第08期
以电渗透流原理为理论基础,建立二维十字通道几何模型,推导出电力聚焦流理论模型。在3个入口流速一定的前提下,中心聚焦流的宽度与入口处的电压比呈一定关系,成功地预测了聚焦流的宽度。随后以COMSOL Multiphysics 5.3为仿真软件,设置层流、电流和粒子追踪3个物理场,进行了单细胞流仿真。以此为基础,加工出以聚二甲基硅氧烷（PDMS）材料为主体的...
作者：卢新艳; 徐淑静; 任臣; 李博 刊期：2018年第08期
零偏温度漂移是MEMS陀螺仪主要误差源之一,对MEMS陀螺仪零偏温度漂移误差源进行了分析。检测电路中延时相位的漂移是引起MEMS陀螺仪零偏温度漂移的主要原因。自时钟技术基于锁相环原理,将MEMS陀螺仪的驱动频率作为锁相环参考频率。陀螺仪检测电路的系统时钟频率跟随MEMS陀螺仪驱动频率而变化,两者始终保持固定的比例关系,最大限度地消除了延时相...
作者：雷鹿; 何秀丽; 高晓光; 贾建; 李建平 刊期：2018年第08期
利用静电纺丝技术制备了聚苯乙烯/氧化石墨烯（PS/GO）纳米纤维固相微萃取（SPME）涂层,分别研究了GO浓度对纳米纤维形貌的影响以及解吸温度、GO浓度和涂层厚度等参数对萃取性能的影响,比较了PS/GO纳米纤维、PS/GO薄膜及聚二甲基硅氧烷（PDMS）薄膜的萃取性能。将PS/GO纳米纤维SPME与离子迁移谱（IMS）联用,实现了毒死蜱和辛硫磷农药标准品及其...
作者：杨文思; 熊国斌; 黄悦; 蒋浩; 张霞 刊期：2018年第08期
研究了核壳纳米颗粒的表面增强喇曼光谱（SERS）,并制备了不同SiO2厚度的Au@SiO2核壳纳米粒子进行喇曼光谱分析测试。首先,采用化学还原法制备出酒红色的金溶胶溶液。接着,添加不同量的正硅酸四乙酯（TEOS）制备了以Au为核、不同厚度SiO2为壳包裹的Au@SiO2核壳纳米粒子。然后,采用紫外-可见光（UV-Vis）和扫描电子显微镜（SEM）对Au@SiO2核壳纳...
作者：赵梦凡; 常博; 葛正浩; 朱朝飞; 王政杰 刊期：2018年第08期
综述了软体机器人的制造工艺研究进展及目前主要的应用领域。其中详细介绍了3D打印技术、转印技术、形状沉积工艺、智能复合微结构法及微注塑成型等几种软体机器人制造工艺,探讨了各制造工艺的特点及所面临的挑战,并阐述了软体机器人的应用领域,如工业生产、野外勘探、娱乐电子设备及生物医疗等领域,尤其在生物医疗领域软体机器人具有广阔的发展...
刊期：2018年第08期
第十四届IEEE固态和集成电路国际会议（IEEE ICSICT-International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology）将于2018年10月31日至11月3日在青岛召开,本次会议由IEEE北京分会和复旦大学主办,并受到了IEEE EDS及SSCS学会、IET、CIE等国内外多家学术组织的支持。
刊期：2018年第08期
自2018年1月15日中国半导体行业协会以“中半协[2018]001号”文发出《第十二届中国半导体行业协会半导体分立器件年会暨2018年中国半导体器件技术创新及产业发展论坛》第一轮会议通知以来,来自全国各地的产、学、研、用等单位积极支持,踊跃投稿,现会议的准备工作已经就绪,就会议细节和论文录用情况通知如下。
刊期：2018年第08期
“第十一届中国微纳电子技术交流与学术研讨会”定于2017年7月23—25日在贵阳市举行。大会特邀请微纳电子技术领域的知名院士、专家、教授等作大会报告,欢迎广大科研人员、高校师生以及产业界技术研究人员积极参与。
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