杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：刘道群; 李志华; 冯俊波; 唐波; 张鹏; 王桂磊 刊期：2018年第05期
采用CMOS兼容工艺,在绝缘体上硅（SOI）晶圆片上制备了高性能波导集成型锗pin光电探测器。该光电探测器锗区长度为15μm,宽度分别为1,2,3,4和5μm。光波导与探测器间的光耦合为倏逝波耦合。为了进一步提高探测器的性能,在结构设计上采用了聚焦耦合光栅及楔形耦合增强结构,在材料生长方面采用了选择性外延生长法,以提高锗的质量。通过暗电流、响应...
作者：相文峰; 刘义; 胡明皓; 陈少华; 赵嵩卿 刊期：2018年第05期
利用化学还原法制备了Ni纳米线后经过高温氧化得到了Ni/NiO核壳纳米线,最后利用半导体工艺制备出单根Ni/NiO核壳纳米线器件,并对其光电特性进行了测试分析。I-V曲线测试结果表明器件具有很好的整流特性。在-1 V外加偏压下,暗电流为1.6μA,光电流为15μA,光电流约是暗电流的10倍。在波长为248 nm、功率密度为40 mW/cm2的脉冲光照射下,器件的最大光...
作者：洪求龙; 付兴昌; 冀乃一; 柳溪溪 刊期：2018年第05期
对高热导率纳米银胶进行了性能分析,并与Au80Sn20焊料进行了对比;将其应用于一大功率器件,通过对粘结芯片进行剪切力测试,验证了纳米银胶具有可靠的连接强度;调整粘结样品的键合参数,并对键合丝进行拉力测试,结果在正常范围内;对器件进行热阻测试,与Au80Sn20焊料烧结对比,温度分布基本一致;进一步进行各项电性能测试,器件各参数正常。各项结果表...
作者：程洁; 李明虓; 叶一霏; 袁明宇; 刘洋; 赵阳; 黄成军 刊期：2018年第05期
实现痕量气体分子检测的前提是实现气体的高效富集,针对这个问题给出了微流控芯片上柱状预浓缩器的结构设计与仿真数据。在气相微流体研究的基础上,基于微电子机械系统（MEMS）加工技术,设计了圆形、菱形、长方形和三角形四种形状和不同排列方式的六种硅基微柱,采用有限元分析（FEA）方法对柱状预浓缩器模型进行仿真与分析。基于微柱形状、流道...
作者：肖红; 陈婧; 段俊萍; 张斌珍 刊期：2018年第05期
设计了一款含有一个非谐振节点的W波段矩形波导带通滤波器,实现了其传输函数中传输零点可任意放置的功能。滤波器包括一个T型结波导结构、两个TE（101）模谐振腔和四对电感膜片。其中T型结波导结构中连接了一个TE（101）模谐振腔,能够产生一个传输零点,通过调整该谐振腔的结构参数尺寸,能够独立地控制传输零点的位置。使用Ansoft HFSS软件对滤波...
作者：王海星; 吉耀辉; 逯斐; 谭秋林; 熊继军 刊期：2018年第05期
无源压力传感器在一些极端环境下有着广阔的应用前景。提出了一种新型无源LC薄膜高温压力传感器,在传统的平面螺旋电感基础上加入了多组叉指电容。传感器的基底材料采用的是高温共烧陶瓷（HTCC）,通过厚膜后烧工艺将平面螺旋电感和叉指电容集成在HTCC基板上完成传感器的制备。本传感器较传统的LC传感器实现了单层布线,制作工艺简单,节约了制作成...
作者：吝海锋; 沈超群; 杨拥军; 沈路; 王宁; 刘译允 刊期：2018年第05期
为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元（MIMU）的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器谐振频率的影响因素。通过构建有效的有限元模型分析MIMU减振结构的频率响应,并调整减振器内环、外环结构及减振橡胶的材料硬度等因素,设计得到了一种MIMU橡胶减振器结构...
作者：卞玉民; 杨拥军 刊期：2018年第05期
利用绝缘体上硅（SOI）技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统（MEMS）电容式压力传感器。利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力和模态仿真分析。敏感结构为敏感电容和参考电容差动输出形式,可以有效减小温度漂移和重力误差对压力测量准确度的影响。比较了无岛和有岛两种敏感...
作者：熊壮; 屈明山; 张照云; 杨荷 刊期：2018年第05期
基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,...
作者：曲章; 武兴盛; 魏久焱; 马宗敏 刊期：2018年第05期
为了进一步提高自制超高真空室温非接触式原子力显微镜（NC-AFM）的检测灵敏度和获得材料表面更高分辨率的原子图像,在比较了原子力显微镜探针振动位移检测的三种方法的基础上,重点研究了光束偏转检测方法,理论上分析了这种方法的偏转检测灵敏度与噪声。设计了一个高灵敏度、低噪声的光束偏转检测系统,该系统的激光光斑能够高精度地聚焦在悬臂上...
作者：张晓磊; 徐永青; 杜妙璇 刊期：2018年第05期
针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统（MOEMS）芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定位以及连续两次深反应离子刻蚀（DRIE）工艺,可成功实现固定梳齿和可动梳齿的精确定位。基于该技术制备出的静电梳齿驱动光可调衰减器（VOA）芯片和光开关（OSW）芯片具...
作者：张道森; 王姗姗; 何冠楠; 关烨锋 刊期：2018年第05期
利用TracePro软件设计微流控液滴检测光学系统,构建系统组件模型,对不同尺寸和形状的液滴与气泡通过检测窗口所引起的光强信号变化进行仿真,分析光强信号与液滴尺寸和形状之间的关系。同时,搭建光学检测实验平台,对微流控芯片中生成的液滴和气泡进行实验测试,实验结果与仿真结果吻合。结果表明,液滴直径越大,光强越大,液滴纵向长度越长,波峰间距...
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