微纳电子技术

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Micronanoelectronic Technology

杂志简介:《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准,自1964年创刊,国内刊号为13-1314/TN,是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊,致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备

主管单位:中国电子科技集团公司
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
国际刊号:1671-4776
国内刊号:13-1314/TN
全年订价:¥ 244.00
创刊时间:1964
所属类别:科技类
发行周期:月刊
发行地区:河北
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.44
复合影响因子:0.45
总发文量:1755
总被引量:5170
H指数:19
引用半衰期:4.2639
立即指数:0.0139
期刊他引率:0.9041
平均引文率:16.2222
  • 纳电子学与神经形态芯片的新进展

    作者:赵正平 刊期:2018年第01期

    综述了纳电子学和神经形态芯片进入新世纪后所处发展阶段以及近两年的最新进展。在纳电子领域,综述并分析了当今集成电路的发展现状,包括鳍式场效应晶体管(Fin FET)的发展、10 nm节点的技术突破、7 nm和5 nm节点的前瞻性技术研究以及三类后互补金属氧化物半导体(CMOS)器件(自旋电子器件、隧穿FET和碳纳米管栅的二维半导体Mo S2晶体管)的探...

  • 基于量子元胞自动机的新型同或门结构设计

    作者:余宸; 解光军; 邓凤斌; 张永强; 吕洪君 刊期:2018年第01期

    由于互补金属氧化物半导体(CMOS)器件尺寸的限制,量子元胞自动机(QCA)成为有望替代CMOS的新兴纳米器件。量子元胞自动机具有超低功耗、超高速度和高密度结构的潜在优势。提出了一种新型的同或门结构,在面积、延迟、复杂度及功耗方面相较于之前的结构均存在优势。所提出的新型同或门结构仅使用28个面积为0.02μm~2的QCA元胞,延迟仅为0.75个时...

  • TiO2薄膜染料敏化太阳电池的性能

    作者:杨修文; 王明秋 刊期:2018年第01期

    采用旋涂法、提拉法、水热法、涂覆法制备了TiO2薄膜,利用紫葡萄皮染料分子敏化了TiO2薄膜电极,制备出太阳电池。测试结果表明涂覆法制备的太阳电池的效率最好,初始短路电流密度、开路电压分别为2.840 m A/cm2和0.594 m V,而稳定性最差。相同条件下,其电池短路电流密度、开路电压与初始短路电流密度、开路电压的偏差百分比分别为13.3%和10%。旋...

  • 《微纳电子技术》成为《中国学术期刊(网络版)》首批网络首发期刊

    刊期:2018年第01期

    为促进中国学术期刊的数字化、网络化、规模化转型升级,经国家新闻出版广电总局批准(新广出审[2015]887号),由国家教育部主管、

  • 第三届新型半导体功率器件及应用技术研讨会在长沙成功召开

    刊期:2018年第01期

    继在厦门、昆明成功举办两届研讨会之后,"第三届新型半导体功率器件及应用技术研讨会"于2017年11月24—27日在长沙成功召开。此次研讨会由中国半导体行业协会指导,中国半导体行业半导体分立器件分会和株洲中车时代电气股份有限公司主办。

  • 中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介

    刊期:2018年第01期

    中国电子科技集团公司第十三研究所光电激光器部从事半导体激光器研发生产30余年,主要研究方向为高功率半导体激光器,应用于固态激光器泵浦、光纤激光器泵浦、红外照明、望远镜测距和激光雷达等领域。

  • 第一次征文通知 第十四届固态和集成电路技术国际会议

    刊期:2018年第01期

    第十四届IEEE固态和集成电路国际会议(IEEEIC—SICT—International Conferenceon Solid-State and Integrated Circuit Technology)将于2018年10月31日至11月3日在青岛召开,本次会议由IEEE北京分会和复旦大学主办,并受到了IEEE EDS及SSCS学会、IET、CIE等国内外多家学术组织的支持。

  • 电子封装用金属基复合材料的研究现状

    作者:张晓辉; 王强 刊期:2018年第01期

    介绍了典型的电子封装用复合材料,着重介绍了不同类型的金属基复合材料(MMC);综述了以铝碳化硅(SiC/Al)和Si/Al为代表的金属基复合材料的国内外研究现状和进展,阐述了SiC/Al复合材料常见的制备工艺,比较了粉末冶金、铸造法、喷射沉积、浸渗法等不同制备工艺的优缺点并讨论了不同制备工艺的影响因素,分析了这些工艺所制备的复合材料的热膨胀...

  • 具有微生物颗粒预富集功能的微过滤系统设计

    作者:杨潞霞; 张斌珍; 段俊萍 刊期:2018年第01期

    为了提高微流式细胞仪对低浓度细胞样本液的检测效率和准确率,提出一种以电磁驱动的微过滤系统设计方案。该微过滤系统包括具有过滤结构的微流控芯片(微过滤芯片)和电磁驱动机构,借助电磁控制来实现微过滤芯片对微生物颗粒的富集功能。使用微电子机械系统(MEMS)工艺设计与制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜微过滤芯片,通过对微过滤芯片的受...

  • 基于四螺旋梁-质量块的MEMS压电能量采集器

    作者:高翔; 石树正; 徐方良; 何剑; 穆继亮; 杨玉华; 丑修建 刊期:2018年第01期

    设计了一种四螺旋悬臂梁-质量块结构的压电能量采集器,将环境振动能转换为电能。采用有限元分析软件(COMSOL Multiphysics)建立结构模型,仿真结构固有频率,计算不同振动频率下器件的位移、应力、应变和电势以及不同加速度下的电压输出,仿真得到结构的一阶谐振频率为102 Hz,为后期测试提供指导。利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PZT)压电薄膜...

  • 全解耦硅MEMS陀螺仪正交耦合分析

    作者:吝海锋; 王宁; 杨拥军; 徐淑静; 李博 刊期:2018年第01期

    为了减小正交误差对硅MEMS陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度和工程化成品率,对MEMS陀螺正交耦合的影响因素进行了研究。通过MEMS陀螺的运动学简化模型,分析了正交耦合的起因;计算了MEMS陀螺的静电驱动力和阻尼系数,建立了MEMS陀螺有限元参数化模型,利用谐波分析模拟了陀螺在驱动模态下的运动状态;在谐波分析的基础上,研究了不同误差来源对正...

  • Ib型金刚石NV色心系综的制备及磁检测

    作者:林朝东; 王芳; 张少文; 王生毅; 高健 刊期:2018年第01期

    弱磁探测在材料科学、基础物理和磁强计等众多领域都具有重要的研究意义。由于金刚石氮空位(NV)色心的弱磁探测兼具高灵敏度与高空间分辨的优点,因此对利用Ib型金刚石NV色心系综进行磁检测的技术进行了研究。通过电子辐照并高温真空退火的方法制备了Ib型金刚石NV色心系综,并对其光致发光光谱进行了测试与分析;利用自主搭建的共聚焦系统成功检...

  • TiO2纳米棒阵列的可控合成及其光电性能

    作者:赵宇龙; 顾修全 刊期:2018年第01期

    采用简单的水热路线合成出TiO2纳米棒阵列,作为染料敏化太阳电池(DSSC)光阳极,并对其形貌、结构和光电特性进行表征。探讨了前驱体溶液总量、Ti源加入量等对产物形貌以及DSSC性能的影响。研究结果表明:增加前驱体溶液中Ti源的加入量将使纳米棒长度和直径同时增加,最终导致形成"蒲公英"状产物,DSSC性能有所提高,同时暗电流也会随之增大;增加...

  • 无氧化剂条件下铜钴CMP去除速率的控制

    作者:张文倩; 刘玉岭; 王辰伟; 牛新环; 杜义琛; 季军; 韩丽楠 刊期:2018年第01期

    利用不含氧化剂的碱性抛光液对铜和钴进行化学机械抛光,深入分析了抛光液组分包括硅溶胶磨料、FA/O螯合剂以及非离子表面活性剂对两种金属去除速率的影响规律及作用机理。实验结果表明,铜和钴的去除速率随着磨料质量分数的增加而升高,并且在磨料质量分数低于5%时钴的去除速率为20~30 nm/min,而铜的去除速率几乎为零;加入FA/O螯合剂可增强其与金...

  • 化学气相沉积法可控制备石墨烯薄膜和单晶畴

    作者:杨晓丽; 孟军华 刊期:2018年第01期

    采用化学气相沉积(CVD)法,以铜箔为衬底,以甲烷为碳源,制备了石墨烯薄膜和单晶畴,并利用扫描电子显微镜、光学显微镜、喇曼光谱仪、紫外-可见透过光谱仪等手段对石墨烯进行了系统表征。结果表明,质量分数为10%的稀硝酸对铜箔表面进行腐蚀处理20 s可以有效去除铜箔表面析出的杂质颗粒,从而提高石墨烯的质量。在此基础上,研究了氢气和甲烷体积流...