杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：王森; 蔡理; 杨晓阔; 冯朝文; 齐凯 刊期：2017年第06期
为了便于对由全自旋逻辑器件构建的逻辑电路进行仿真和验证,基于Landau-LifshitzGilbert方程建立了纳磁体磁矩动力学模型,基于自旋注入和自旋传输机理建立了自旋传输模型,并分别将磁矩动力学模型和自旋传输模型封装为通用的SIMULINK模块。根据全自旋逻辑电路的拓扑连接关系,对这两类模块进行耦合,构建了电路仿真模型,实现对电路逻辑功能的仿真验...
作者：夏梦僧; 杨瑞霞; 李春静; 韩应宽; 马浩 刊期：2017年第06期
阻变存储器(RRAM)是下一代最有潜力的非易失性存储器。利用磁控溅射、电子束蒸发和离子束溅射方法制备了一种Ag/VOx/Al结构的RRAM。使用半导体参数分析仪(Agilent B1500A)测试了器件的电学特性,器件具有双极阻变特性。器件的高阻态的传输机制为空间电荷限制电流(SCLC)机制,低阻态的传输机制为欧姆机制,器件的阻变机制为金属导电细丝机制。研究了...
作者：刘卫兵; 明安杰; 谭秋林; 孟莹; 孙西龙; 毛海央; 王玮冰; 熊继军 刊期：2017年第06期
为进一步提升红外气体传感器的性能,提出了一种可实现辐射自增强的多层纳米交叠复合非晶碳薄膜材料应用于红外光源,对材料制备的关键工艺及性能表征进行了深入研究,以期大幅提高光源的辐射效率,降低功耗。采用非平衡磁控溅射工艺制备了含钛的周期性非晶碳复合薄膜,在不同退火条件下进行了方阻及光学吸收率测试表征。结果表明,多层纳米厚度交叠薄...
作者：钟军; 张忠强; 程广贵; 丁建宁 刊期：2017年第06期
采用经典分子动力学(MD)方法对几种基于分支结构碳纳米管(CNT)的纳米销进行安装过程模拟,比较了两种安装方式,重点研究了双支管纳米销的安装可行性及控制端长度对双支管纳米销安装性能的影响。研究表明:相比于推安装,拉安装不仅将其支管的安装提前了,也将安装过程中的最大安装阻力提升了一个量级,因此推安装更加实用;双支管纳米销可以被成功安装...
作者：李志超; 王霖; 吴书妍; 张高宁; 孟淼飞; 马锡英 刊期：2017年第06期
为了研究Eu3+掺杂MoS2薄膜的光电特性,采用气相运输沉积法在p-Si衬底上沉积MoS2薄膜,并利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应仪、分光光度计和光致发光光谱仪研究了Eu3+掺杂对MoS2薄膜的表面形貌﹑晶体结构﹑光吸收以及MoS2-Si异质结的光电流的影响。研究表明:Eu3+掺杂使MoS2薄膜的结晶更好;同时MoS2薄膜的电子迁移率和电导率增加...
作者：刘楠; a; 苏言; a; 童鑫; a; 韩国威; 司朝伟; 宁瑾; b 刊期：2017年第06期
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用的温度误差模型构建方法,算法补偿既符合小体积、低成本的设计理念,又能有效提升陀螺仪的温度稳定性,但复杂的...
作者：陈莹超; 熊继军; 周兆英; 谭秋林 刊期：2017年第06期
针对大多数虚拟现实体验中的人物运动主要靠手柄按键操作的问题,设计了一种基于佩戴者自身步态运动的虚拟现实系统,采用低成本、普通精度的MEMS惯性传感器采集佩戴者的足部姿态信息,从而实现无需外部设备的行人步迹的跟踪定位。根据惯性原理进行姿态解算,并对传感器采集数据进行分析研究,设计了多条件零速判定方法和主航向收敛算法,实现速度和方...
作者：李倩; 汪蔚; 杨拥军; 杨志 刊期：2017年第06期
设计制作了一种基于MEMS工艺的硅腔体环行器。该环行器以高阻硅为衬底材料,基于基片集成波导(SIW)技术的传输理论,采用体硅MEMS工艺和低损耗金属化技术实现了硅通孔及通孔金属化的制备。设计并仿真优化了硅腔体MEMS环行器结构,给出了一套硅腔体MEMS环行器制备的工艺流程,针对该工艺流程方案进行了关键参数的工艺误差仿真。实现了中心频率为13 GH...
作者：刘永涛; 李欣幸; 张志鹏; 秦华; 俞圣雯 刊期：2017年第06期
单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像。介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案。一对共漏极的SET集成在台阶型针尖上,台阶型的针尖和静电探针的设计避免了SET的刻蚀损伤。通过SET和静电探针的电容耦合来实现电荷探测。将扫描探针与石英音叉进行组...
作者：施雨辰; 郭灵霞; 刘向飞; 赵振杰; 谢文辉; 李欣 刊期：2017年第06期
在微流控芯片中采用水热法合成ZnO纳米棒。使用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分别对ZnO纳米棒的微观形貌和晶体结构进行分析和表征。结果表明,在微流控芯片中制备的致密的ZnO纳米棒具有良好的结晶性和c轴取向性,ZnO纳米棒的直径和长度随制备时间和在通道中的不同位置发生变化。利用异硫氰酸荧光素(FITC)标记的羊抗牛IgG对ZnO纳米棒的荧光...
作者：胡磊; 石树正; 高翔; 何剑; 穆继亮; 丑修建 刊期：2017年第06期
以薄膜体声波谐振器(FBAR)的背腔刻蚀为研究背景,研究了光刻工艺参数设置与光刻图形转移效果的关系。分析了紫外曝光剂量大小对光刻图形面积和边角曲率的影响,优化得到最佳工艺流程,以AZ4620光刻胶为掩膜实现了氮化硅的湿法刻蚀。实验结果表明,曝光剂量为60 mJ、显影时间60 s时,曝光图形化质量最佳;随着氮化硅刻蚀液温度的升高,湿法刻蚀速率不断...
作者：王庆宾; 张晓明 刊期：2017年第06期
针对弹载陀螺在发射过程中产生较大过载导致陀螺零点和灵敏度发生变化的问题,提出了一种利用地磁测量信息对陀螺进行在线标定的方法。该方法是利用最小二乘法对地磁场提供的滚转角信息与陀螺的数据进行拟合得到陀螺的标定参数:零点误差和灵敏度误差。通过仿真实验表明,采样点数为10时标定的效果最好。接着研究了速率对陀螺标定精度的影响。在外...
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