杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：张邦维 刊期：2007年第11期
4 全息储存技术中的几个重要问题 在全息储存中既希望数据储存容量大又希望数据传输率高，而且全息图像还要稳定。Stanford大学Hesselink教授的研究组在2004年结合他们自己以及他人的HDSS，对此进行了较系统的分析和讨论。下面本文分几个问题进行讨论。
刊期：2007年第11期
《微纳电子技术》第二届理事会年会于2007年10月31日-11月2日在上海成功召开。会议由理事会秘书长赵小宁主持。《微纳电子技术》主编马健云对两年来刊物的发展情况做了介绍。大会讨论通过了《微纳电子技术》理事会章程，秘书长赵小宁为《微纳电子技术》第二届理事会成员颁发了聘书。本次会议为期刊今后发展提出了新的目标。
作者：薛舫时 刊期：2007年第11期
在综述大功率AlGaN/GaN HFET性能退化实验结果的基础上,研究了器件退化与电流崩塌间的关联。分析了现有各类器件失效模型的优点和不足之处。通过沟道中强电场和热电子分布的研究,完善了热电子触发产生缺陷陷阱的器件退化模型。使用这一模型解释了实验中观察到的各类性能退化现象,指出优化设计异质结构可以有效减弱GaN HFET的性能退化。最后提出...
作者：曹璐; 李梦轲; 魏强; 张威 刊期：2007年第11期
用低压化学气相沉积法制备了T形和V形纳/微米ZnO同质结,用扫描电子显微镜（SEM）和高倍光学成像显微镜观察了同质结的结构与生长形貌,分析了其结构及生长机理。利用ZnO同质结组装成了纳/微米ZnO同质结器件,分析研究了这些器件的I-V特性,并对I-V特性变化规律进行了分析讨论。
作者：李芹; 蔡理; 吴刚; 王森 刊期：2007年第11期
随着超大规模集成技术的飞速发展,CMOS图像传感器已成为研究开发的热点。简要介绍和分析了基于非平衡格林函数、维格纳函数与密度矩阵、单粒子薛定谔方程的三种纳米CMOS器件的输运模型,并指出了各种模型的优缺点和适用对象;针对纳米CMOS图像传感器面临的关键技术问题,给出了相应的解决方法;讨论了纳米CMOS图像传感器在航空航天中的应用。
作者：李艳霞; 王凯; 周祚万 刊期：2007年第11期
采用高温固溶工艺制备了Al^3＋,Fe^3＋和Ag^＋掺杂的T-ZnO气敏材料,并制作了烧结型厚膜气敏元件,测试了元件对H2S,NH3,C2H5OH和H2的敏感特性,研究了掺杂剂、掺杂工艺和材料形貌结构对T-ZnO材料气敏特性的影响规律。结果显示,T-ZnO材料对H2S和C2H5OH气体灵敏度较高,对H2和NH3等气体灵敏度较差;经过H2气氛热处理,掺物质的量百分数为0.1%Al^3＋的T-...
作者：付承菊; 李杰; 郭冬云 刊期：2007年第11期
以多孔阳极氧化铝膜为模板制备纳米结构材料具有独特的优越性,得到了广泛的关注。介绍了多孔阳极氧化铝膜的形成机理、结构类型和在草酸溶液中制备多孔氧化铝模板的工艺。在本实验中,使用高纯铝片（99.99%）和0.3 mol/L浓度的草酸,利用电化学二次阳极氧化法制备出多孔阳极氧化铝模板,用SEM对其形貌进行了观测,得到的模板孔径在50～70 nm,孔间距...
作者：朱丽; 侯丽雅; 章维一 刊期：2007年第11期
设计了一种数字化微混合反应器,对不同流体通过数字化微喷射生成微液滴,利用液滴间的碰撞和聚合实现试样与试剂间的微混合与反应。该微混合反应器由玻璃微流体器件拉制仪拉制的微管道进行粘接组合而成,内部无可动件,无需复杂的微加工技术,结构简单,制造成本低。进行了氢氧化钠溶液和酚酞溶液的混合反应实验,实验证明该混合反应器可以用于微混合...
作者：赵汉中; 陈瑶 刊期：2007年第11期
采用有限体积法计算了微尺度矩形通道中气体的三维流动,在计算中考虑了气体稀薄效应所造成的壁面相对滑移和气体的可压缩性。计算结果表明,由于壁面上存在着速度的相对滑移,壁面摩擦系数显著减小,质量流量明显加大。尽管微尺度通道中气流的马赫数通常都很小,但是气体的压缩性影响仍然不能忽略,质量流量随压力比的增大而非线性增长。
作者：郭阿全; 钟辉; 洪小雅; 席文明; 孙道恒 刊期：2007年第11期
在细胞注射时,显微镜上CCD获取的只是注射针的二维信息,但光轴方向的深度信息丢失,这会导致细胞注射的失败,必须用其他方法获得。利用激光三角测量法对注射针以及细胞载玻片的深度信息进行测量,通过纳米平台的移动来标定激光入射角参数,对获取的数据进行图形化处理,确定线激光条纹图像间的偏移距离,从而获得标准物体高度与激光条纹图像偏移量的...
作者：陈景; 刘玉岭; 王立发; 武亚红; 马振国 刊期：2007年第11期
阐明了金属化学机械抛光的机理,同时介绍了铝合金化学机械抛光过程中存在的问题,并提出采用碱性抛光液进行实验;分析了抛光液、压力、温度、pH值参数、FA/OⅠ型活性剂对LY12铝合金圆薄片抛光过程的影响。实验表明,pH值在10.1～10.3、温度控制在25～30℃、压力0.06 MPa下有利于铝合金表面完美化。在抛光后期采用单一表面活性剂溶液并且无压力自重...
作者：边永超; 刘玉岭; 张建新 刊期：2007年第11期
利用硼掺杂金刚石膜电极在电解液中作阳极,通过控制各种相关条件使电解液中产生大量氢氧自由基和其他强氧化物质,将有机污染物氧化分解成小分子,甚至是CO2和H2O;同时配合专用清洗剂,极好地去除材料表面及狭缝中的固体颗粒和金属杂质,有效实现了被清洗表面的高度洁净化。通过实验分析了pH值的变化对电解液氧化性的影响,确定了最佳pH值为12.5。
作者：叶媲舟; 凌朝东; 黄群峰 刊期：2007年第11期
由于研究脑电的需要,研制检测脑电信号的专用集成电路具有重要的意义。提出了一种基于CSMC的DPDM 0.6μm CMOS工艺可集成低通椭圆滤波器的设计。该滤波器的特点是同时实现了低通滤波和工频陷波的功能,它是针对脑电信号的检测采用基于跨导运算放大器和电容（OTA-C）结构而设计的。通过Cadence公司的Spectre仿真结果看,该滤波器通带符合设计要求,对...
刊期：2007年第11期
应用材料公司推出新Carina系统克服高k介电常数／金属栅极刻蚀难题；美提出标记计量辅助碳纳米管自组装技术；欧姆龙收购IBM 200mm工厂准备量产MEMS麦克风；Gabriel预计今后几年MEMS市场规模将达到数十亿美元。
影响因子：0.16
期刊级别：省级期刊
发行周期：旬刊
影响因子：0.9
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
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期刊级别：部级期刊
发行周期：半月刊
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发行周期：月刊
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期刊级别：部级期刊
发行周期：半月刊
影响因子：0.75
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
影响因子：1.92
期刊级别：北大期刊
发行周期：旬刊
影响因子：2.55
期刊级别：北大期刊
发行周期：旬刊
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期刊级别：省级期刊
发行周期：旬刊
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期刊级别：CSSCI南大期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.69
期刊级别：省级期刊
发行周期：双月刊
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期刊级别：统计源期刊
发行周期：半月刊