杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：谭刚 刊期：2007年第07期
化学机械抛光（CMP）技术是半导体工艺中不可缺少的重要工艺。针对硅晶圆CMP平坦性问题，系统地考察了压力、转速、抛光垫、浆料、温度等因素对硅晶圆平坦化速率的影响，从中找到它们之间的优化参数，减少CMP工艺中的表面划伤、抛光雾、金属离子沾污，清除残余颗粒，保证硅晶圆的平坦化质量。
作者：徐英; 杨会峰; 吴经纬; 李刚; 王化祥 刊期：2007年第07期
利用RNGk-ε模型对100mm口径锥体差压式流量传感器进行了CFD数值模拟实验,其等效直径比β值分别为0.50,0.65,0.85,前锥角分别为40°,45°,50°,后锥角分别为120°,130°,140°,共27种锥体组合。实验结果表明：β值越大,流出系数越小,且流出系数更易受雷诺数的影响;β值相同时,前锥角对流出系数具有较大影响,且较大的前锥角可减弱雷诺数对流出系数的影响;后...
作者：陈亮; 亢勇; 朱龙源; 赵德刚; 李向阳; 龚海梅 刊期：2007年第07期
感应耦合等离子体（ICP）刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用。在对比了ICP与RIE，ECR等干法刻蚀技术优缺点的基础上，采用Ni作为掩膜，Cl2/Ar/BCl3作为刻蚀气体，对金属有机化学气相淀积生长的n-Al0.45Ga0.55N进行了ICP刻蚀研究。刻蚀速率随着ICP直流偏压的增加而增加，刻蚀速率随着ICP功率的增加先增加较快后增加缓慢。最后结合刻...
作者：王义; 朴林华 刊期：2007年第07期
根据计算敏感元件内的流场分布解释微型气流陀螺的敏感机理。利用ANSYS-FLOTRANCFD软件，根据陀螺实际尺寸进行建模求解，计算出在不同输入角速度时二维腔体中气体的流场及分布。计算结果表明，陀螺静止时两热电阻丝处气流速度相等，电流相等，输出电压为零；有角速度输入时，电阻丝气流速度不同，输出一个与角速度成比例的电压。
作者：郝连旺; 宋涛 刊期：2007年第07期
呼吸信号的检测具有很高的临床使用价值，其中采用传感器进行检测已成为较成熟的手段，但由于传感器使用范围的局限性，在某些场合需要采用非接触式检测。主要对现有的呼吸信号的检测方法和应用情况进行了讨论，重点对呼吸信号的测量原理进行了详细的分析，并对呼吸信号检测仪器的研制进行了简单地探讨。
作者：任杰; 樊尚春; 郭占社 刊期：2007年第07期
谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小，严重制约了加速度计灵敏度的提高，因此提出采用杠杆机构放大惯性力。由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接，且杠杆的输入、输出端有约束存在，制约了杠杆的自由转动，使惯性力不能高效放大。为此，设计了基于柔性支点的杠杆机构，建立了微杠杆机构的物理和数学模型，推导出杠杆机构各...
作者：邢维巍; 樊尚春 刊期：2007年第07期
为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题，并改善其可靠性和动态响应，提出在传感器原有结构上增加辅助传感器，构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值，可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制；可及时判断闭环系统失效；可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。辅助传感器的制造工...
作者：张文涛; 戴静云; 孙宝臣 刊期：2007年第07期
研究了光纤光栅（FBG）应变传感器的封装与安装工艺对温度交叉敏感特性的影响。基于弹性力学理论对表面粘贴式和表面螺栓安装式两种典型的FBG应变传感器封装形式的交叉敏感机理进行了理论分析，并对国内几家主要的FBG传感器生产商的产品进行了测试。测试结果表明，表面粘贴式FBG应变传感器的温度交叉敏感性要大于表面安装式FBG应变传感器，与理...
作者：杨集; 陈贤祥; 夏善红 刊期：2007年第07期
卫星在太空运行过程中，在周围等离子体和光电效应等综合作用下，会带上与周围等离子体环境不同的悬浮电位，这个电位会影响星上测量载荷的测量精度和测量范围。利用航天器与等离子体相互作用系统软件SPIS，采用粒子分室法模拟了低轨道（710km）卫星的充电特性。结果表明，由于等离子体温度低、浓度高，卫星的充电电位较低（-0.719V）；而周围的...
作者：崔媛媛; 田文杰; 鄂然 刊期：2007年第07期
设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器，并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率-温度特性，验证了其频率-温度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致，曲线为三次曲线。在相同激励及环境条件下，在同一基片上设置多对电极时，各对电极构成的谐振器的频率-温度特性基本相同。根据这种相似特点，将同一基片上不同电极...
作者：陈佳; 蔡萍; 周志锋 刊期：2007年第07期
提出一种通过自适应补偿提高长秤台汽车动态称重系统精度的方法。根据汽车动态称重两自由度模型，利用零、极点对消原理，设计校正滤波器，改善信号响应特性，使信号快速达到平稳状态。实验结果表明，本方法能有效地缩短信号衰减时间，改善称重精度，并具有很好的自适应性。
作者：刘旭; 高建忠; 赵玉龙; 蒋庄德 刊期：2007年第07期
针对MEMS复杂器件优化困难的问题，提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法。该方法采用遗传算法（GA）与有限元方法（FE）联合的优化策略，用MATLAB软件作为“调度员”，将ANSYS与MATLAB自带的遗传算法工具箱进行有机集成，共同完成柔性机构的优化功能。最后以一种柔性微杠杆机构为例，实现了提出的优化方法，给出了优化的结果。
作者：阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天 刊期：2007年第07期
提出了提高硅深反应离子刻蚀的新方法。该方法在硅的侧壁PECVD淀积SiO2，硅的底部采用热氧化的方法形成SiO2。由于在刻蚀中硅与SiO2的刻蚀选择比为120∶1-125∶1，因此SiO2层可以抑制在硅-玻璃结构的刻蚀中出现的lag和footing效应，扫描电镜结果也证明，采用改进工艺后的硅结构在经过长时间的过刻蚀后仍然保持了完整性。硅陀螺测试结果也证明了...
作者：杨轶; 任天令; 蔡坚; 王水第; 刘理天 刊期：2007年第07期
分别采用TO-CAN和SMT形式对微声学器件进行了封装，并对封装后的器件进行了耦合腔测试和指向性测试。测试结果表明，通过减小前入声孔直径大小，能够抑制微音频器件的高频响应；另外通过采用不同的封装结构参数，能够实现∞形和心脏形指向性的微超声器件。
作者：卞雷祥; 文玉梅; 李平; 程磊; 刘盼刚 刊期：2007年第07期
将超磁致伸缩材料（GMM）、压电材料（PZT-5H）复合于弹性基板上，利用共振原理构造了一种新型的磁电换能器。当激励磁场的频率等于或者接近于弹性基板的固有频率时，GMM将驱动弹性基板振动并发生共振，粘结于基板上的压电材料的输出电压将达到极大。实验研究表明，该器件的磁电耦合电压曲线呈现多个峰值，在800Oe偏置磁场和1Oe交变磁场激励下，...
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