杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：杨华明; 杜春芳; 欧阳静; 张向超; 苏晓辉 刊期：2005年第04期
介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性和选择性等参数;利用元件表面的氧吸附理论分析掺杂纳米SnO2的气敏机理;展望了SnO2气敏传感器的发展前景.
作者：许宝建; 金庆辉; 赵建龙 刊期：2005年第04期
基于MEMS的微针技术研究是当前药物传输领域中的热点.随着微细加工技术的发展,微针技术及其应用得到了快速发展,除了向生物体内传输药物和向细胞内传输DNA外,还可以用来监测和反馈药物对生物体的影响及外源DNA在受体内的表达形式,同时在植入式器械方面也有所发展.本文综述了基于MEMS微针技术及应用的发展状况.
作者：明平关; 胡洋洋; 朱健 刊期：2005年第04期
微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势.本文研究分析了利用微细电火花加工技术制造MEMS微结构、微器件的技术关键及其解决思路.
作者：朱丽; 侯丽雅; 章维一 刊期：2005年第04期
微混合器作为微全分析系统重要的组成部分,是目前微机电系统(MEMS)领域内的研究热点.文章介绍了微混合器的设计要求与目标、加工方法与材料的选择、微混合的特点与混合机理.微混合器一般可分为主动混合器与被动混合器,基于此分类方法,文章综述了微混合器的国内外研究现状,并讨论了目前研究中存在的一些问题,展望了微混合器的研究前景.
作者：谌贵辉; 张万里; 彭斌; 蒋洪川; 赵泽宇 刊期：2005年第04期
分别建立了串联悬臂梁、并联电容MEMS开关的结构模型和等效电路模型,利用其模型研究了开关的微波传输性能,在结构、工艺及驱动机制上作了比较.
作者：杨静; 高建忠; 赵玉龙; 蒋庄德 刊期：2005年第04期
介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结构参数;根据模拟结果,采用SOI硅片和微细加工DRIE技术制作了这种V型梁微执行器并联阵列.
作者：齐天华; 高文秀 刊期：2005年第04期
提出了一种用微机电系统技术(MEMS)应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路.探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点.对设计进行了理论计算和优化,并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真,模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响.当悬臂梁末端位移变化为50μm时,电阻变化率...
作者：刘林生; 刘肃; 黄庆安 刊期：2005年第04期
为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究.由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少.本文分析了具有代表性的薄膜磁学特性测试结构的原理及优缺点,并结合MEMS在线测试的特点提出了一种比较适合MEMS在线测试的新结构.
作者：栗大超; 冯亚林; 傅星; 胡晓东; 靳世久; 郝一龙; 胡小唐 刊期：2005年第04期
阐述了基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的MEMS动态测试技术、基于激光多普勒测振的MEMS动态测试技术以及基于其他原理和方法的MEMS动态测试技术等的测试原理、测试方法与研究现状,指出了MEMS动态测试技术进一步的研究方向.
作者：王刚; 明安杰; 梁静秋 刊期：2005年第04期
概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理.
刊期：2005年第04期
溶液中的微粒由于受到周围液体分子的胡乱冲撞而使科研人员对它们的观察变得非常困难。目前，科学家采用激光手段(如“光镊”)控制这些粒子，但必须将小于200nm的分子附着在更大的微粒上，才能用光镊夹住它们并对其进行研究，结果很可能导致分子变形。
刊期：2005年第04期
总部设在奥地利的EV集团针对晶圆凸点和芯片级封装、MEMS、化合物半导体、功率器件及纳米技术设计的EVG6200 Infinity掩模对准曝光机，可以近距离对很厚的阻光层近距离曝光，能够通过升级、安装底部显微镜进行MEMS的双面曝光。
刊期：2005年第04期
美国罗门哈斯公司3月2日宣布，决定选择上海浦东新区张江高科技园建立中国研究开发中心，占地面积约3-3万平方米。新研发中心将成为亚太地区技术储备与商业发展的基地。新的研发中心预计将于2006年中期正式开业。新研发中心能容纳1500人，最初入驻的300名员工将从罗门哈斯在上海的其他机构搬迁而来。初期投资3000万美元，最终投资根据需求预计将...
刊期：2005年第04期
罗门哈斯电子材料公司在我国开设东莞制造厂．该厂于2004年6月开工，产品能够支持罗门哈斯电子材料电路板、电子封装和表面精加工技术的业务。该公司希望东莞厂的建立能够为客户在产品质量、技术服务和应用支持上提供快捷的当地服务，降低客户的成本，提高该公司在中国的影响力。
刊期：2005年第04期
罗门哈斯公司电子材料公司由电路板技术部、化学机械抛光技术部、微电子技术部、封装与表面处理技术部四个部门组成。该公司在电子、光电子和表面精加工行业提供创新材料解决方案的领域中处于世界领先地位，重点致力于在电路板、半导体制造和先进的电子封装产业的技术上投资、扩大研究开发世界水平的工程技术。
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