微纳电子技术杂志 北大期刊 统计源期刊

基于SPM技术的表面纳米计量

作者：黄文浩; 陈宇航; 党学明 刊期：2004年第01期

用扫描探针显微镜(SPM)技术观察三维表面形态,可以达到纳米级甚至原子量级的分辨率,所以SPM技术在计量方面有着广阔的应用前景.20年来,人们采用各种理论和方法来提高SPM的精度和稳定性,以适应表面计量领域不断提出的新要求.本文在总结表面规范与建模、高分辨率和高时间稳定性测量、图像解释与表面重建、SPM误差和校准以及纳米对准技术等研究结果...

光子晶体器件的研究进展及前景

作者：石建平; 陈旭南; 张小玉; 张磊; 安卫军; 秦涛 刊期：2004年第01期

光子晶体器件是近年来迅速发展起来的一类微纳器件,可以操控光子的运动行为,并具有损耗极低、体积小、易集成的优点.本文综合论述了光子晶体器件的几种主要设计方法的优缺点、指出了加工制作中的技术难点所在,还介绍了两种常用的耦合技术,最后对光子晶体的未来作了展望.

Ⅲ族氮化物HFET中的电流崩塌和二维电子气

作者：薛舫时 刊期：2004年第01期

讨论了Ⅲ族氮化物HFET中电流崩塌和沟道内二维电子气特性间的关联,提出了描述产生电流崩塌时电子动态运动的微观模型.栅延迟电流崩塌被归因于栅-漏电极间隙中表面态与其下沟道中的电子交换.异质结极化感应的表面电荷不稳定性和沟道中二维电子气的量子限制特性是决定电流崩塌的两个重要因素.应用这一微观模型解释了实验中观察到的电流崩塌现象.通...

碳纳米管应用研究进展

作者：孙晓刚 刊期：2004年第01期

简要介绍了碳纳米管的基本性能和主要生产方法,综述了碳纳米管应用研究在各领域的进展,展望了碳纳米管的应用前景.

激发波长和电化学腐蚀对注碳外延硅荧光特性的影响

作者：王强; 李忠; 李玉国; 石礼伟; 郭兴龙 刊期：2004年第01期

电化学腐蚀是蓝光发射的前提,但不同的电化学腐蚀条件对发光强度和峰位影响极大,随着电化学腐蚀条件的加强,蓝光峰将被红光峰代替.激发光波长亦可影响蓝光发射,如260 nm的激发光将引起在360 nm光激发下所获得的431 nm蓝光峰的蓝移.

纳米机械和微机械中杆的熔化性质

作者：黄建平; 李圣怡; 吴学忠; 罗兵 刊期：2004年第01期

根据纳米机械和微机械中杆的晶格振动量子化的结论,推导了杆的原子均方位移公式,并用Lindeman熔化判据,分析了纳米机械和微机械中杆的熔化性质.结果表明,微机械和纳米机械中的杆比宏观机械中的杆更易熔化;表面比内部更易熔化;杆的熔点与杆的尺寸有关,若杆的尺寸成比例缩小,则顶角、端面和中央端面熔点越低;若杆的横断面不变,而杆的长度越长,则顶...

CMOS技术在生物传感器中的应用

作者：杨振; 颜永红; 齐良颉 刊期：2004年第01期

介绍了应用传统CMOS工艺实现ISFET的设计方法,比较了四种不同结构ISFET的传输特性,提出了应用同一CMOS工艺实现衔接电路的差分结构形式,并通过实验验证了此电路设计的合理性.传感单元ISFET与衔接电路可整体集成于同一芯片,提高了生物传感器的品质.

MEMS封装V形腔阵列的研究与制备

作者：李雄; 徐智谋; 易新建; 何少伟 刊期：2004年第01期

MEMS器件封装时,为了给具有活动装置的MEMS器件提供足够的空间,需要在封装的帽层上刻蚀出V形腔结构.本文利用V形槽工艺,制作出适合于硅片上大面积MEMS芯片封装用V形腔阵列.SEM照片表明,所做V形腔阵列结构整齐,图形清晰.

自发光蛋白芯片检测仪的设计

作者：陈兴俊; 岑辉; 赵立新; 唐小萍; 胡松 刊期：2004年第01期

简要介绍了生物芯片的发展概况,生物芯片的基本概念和类型以及生物芯片的检测装置,详细介绍了一种新开发的生物芯片检测仪,主要论述了它的工作原理、光学系统、机械系统和软件系统的结构和功能以及整个仪器的性能要求,最后介绍了这种检测仪的功能和应用.

基于MEMS技术的加速度测量组合装置

作者：虞益挺; 苑伟政; 乔大勇 刊期：2004年第01期

在研究基于MEMS技术的叉指式硅微型加速度计工作原理的基础上,制订了加速度二维测量组合装置的系统方案,设计了系统电路,研制和开发系统装置,讨论了系统抗干扰问题.最后,通过单片机及VB串口通信编程,实现装置与计算机的实时串口通信,直观地展现了加速度及位移的变化规律.

业界快讯

刊期：2004年第01期