摘要：利用调Q的Nd：YAG激光器输出的纳秒激光脉冲诱导等离子体加工石英微通道,显微镜下观察微通道深度可达4 mm,通道周围没有发现热裂纹,围绕通道内壁产生了固化层.研究了纳秒脉冲下固体材料损伤的电离机理.波长为1064 nm,光强不很强的纳秒脉冲作用时,光学击穿中等离子体的形成主要是雪崩电离的结果,利用雪崩击穿的阈值理论得到了等离子体形成模型,求出了等离子体形成范围,理论模型结果与实验结果基本相符.最后基于激光支持的爆轰波模型,利用流体力学理论求出了等离子体的温度、速度、压强等特征参数,并分析了微通道的特点.高温高压的等离子体烧蚀出石英微通道,等离子通过后,在冲击波压力作用下微通道内壁熔化的石英凝固形成固化层.

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社