摘要：设计了AFM工作原理演示仪,利用反光弹片模拟AFM的微悬臂,利用振动电机激发弹片振动模拟AFM轻敲模式下的微悬臂振动,利用半导体激光器、反射镜、弹片、光屏等组成的结构模拟AFM的光电检测系统,利用二维电机移动平台模拟AFM压电扫描管的平面扫描运动.分别在接触模式和轻敲模式下扫描样品,结果表明光屏上光点的位置或振幅随样品表面的起伏变化显著,演示了AFM光路放大和扫描成像的原理.

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