摘要：电子传输层是钙钛矿太阳电池的重要组成部分。采用原子层沉积的方法制备二氧化钛薄膜,并将其作为电子传输层制备了平面钙钛矿太阳电池。系统研究了二氧化钛薄膜厚度和退火温度对钙钛矿太阳电池性能的影响。研究结果表明,TiO2的沉积速率约为0.41/cycle,13 nm左右的二氧化钛薄膜能够获得较好的电池性能;后期退火改善了TiO2薄膜的光学和电学性能,但是退火产生的微小裂纹限制了电池的性能,因此,选择90℃退火条件下制备的二氧化钛。最终利用原子层沉积制备的TiO2得到了17.1%的电池效率。

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