杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
作者：何文涛; 李艳华; 邹江波; 张世名; 赵和平; 杨龙 刊期：2017年第02期
针对航空发动机、重型燃气轮机等动力设备燃烧室内压力原位测量的需求,设计了一种基于4H-SiC的LC谐振式无线高温压力敏感芯片.以现有SiC微工艺水平为基础,利用TCAD软件及多物理场耦合仿真软件,完成了敏感芯片电容、电感、感压膜等主要部件的结构设计、优化,以提高敏感芯片的Q值及耦合强度.探讨了电感内置、外置两种设计方案本体电容的大小,并在...
作者：路远; 董培涛; 吴学忠 刊期：2017年第02期
针对恶劣环境下MEMS对高强度材料的需求,采用化学气相沉积（CVD）外延生长3C-SiC薄膜.利用微力学操纵系统,对3C-SiC微悬臂梁进行了弯曲实验.利用厚板结构的有限元仿真和威布尔统计,得到3C-SiC薄膜断裂强度.结果表明：不同尺寸3C-SiC微悬臂梁威布尔特征强度为1 852.15 MPa、2 554.56 MPa、2 598.39 MPa、2 911.64 MPa,威布尔模数分别为9.547、11....
作者：李艳宁; 曾荟燕; 吴森; 刘璐; 胡晓东 刊期：2017年第02期
设计并制作了一种适用于原位纳米力学测试的原子力显微镜（AFM）测头.测头由光学检测系统和Z向压电陶瓷微位移机构组成.其中光学检测系统采用光杠杆与显微镜同轴光路检测探针形变,压电位移机构内置电容传感器可实现探针进给量的闭环控制.标定实验表明该测头闭环位移分辨力优于10 nm,在标定范围内具有很好的线性.利用该测头对某型微悬臂梁法向弹...
作者：段发阶; 许飞; 蒋佳佳; 马凌; 邓澈 刊期：2017年第02期
针对油田现场对回注水油分浓度的在线检测需求,设计了管道式回注水油分检测系统.系统基于油分紫外荧光效应,首先对油分的荧光光谱进行测量,完成系统激发光和荧光发射光波长的选择,然后采集荧光发射光进行微弱信号处理,最终求得油分浓度.采用法兰式结构,搭建了管道式回注水油分检测系统样机,并进行了室内油分浓度测量实验,结果表明,系统对于0~1 0...
作者：王鹏; 钟小峰; 孙长库; 王中任; 刘海生 刊期：2017年第02期
掌握不同时刻刀具径向尺寸对评估刀具径向磨损量具有极大意义.基于线结构光视觉测量原理,设计了一套可以实现刀具在位测量的系统,可利用系统测得不同时刻的刀具径向尺寸.根据实际测量情况提出了一种基于半径和轴线约束的最小二乘圆柱轴线拟合方法,利用该方法能够实现刀具轴线的快速测量,并利用测得的轴线计算出刀具整体的三维坐标.研究了刀具安...
作者：李一博; 王会芳; 张博林 刊期：2017年第02期
以势阱函数为研究对象,提出了势函数参数的概念,阐述了不同势函数参数下系统随机共振机理,并讨论了过阻尼系统和Duffing振子系统在不同势函数参数下的随机共振性能对比.实验表明,在满足一定参数条件下,提升系统势函数参数将会提升系统输出的最大幅值增益以及最大输出信噪比,与传统一元四次势函数下的随机共振系统相比,性能提升得非常明显;Duffin...
作者：陈达; 卢帆; 李奇峰 刊期：2017年第02期
模型标准化方法是目前最常用的近红外光谱模型传递方法,但大都基于单尺度,校正不够精细且易导致光谱信息丢失.本文尝试采用多尺度建模这一化学计量学领域刚兴起的新思路,将其应用于近红外光谱模型传递中,在多尺度空间上校正主、从机光谱之间的差异,有效实现了预处理与多元校正的一体化运算.将该算法应用于多台近红外光谱仪所采集的玉米模型转移...
作者：陈津平; 崔芳芳; 邹晶; 胡晓东; 吕寒玉 刊期：2017年第02期
本文从模体观测法和调制传递函数法两个方面总结了显微CT三维空间分辨率的测试方法,重点介绍模体的形式结构和分辨率计算方法.三维分辨率模体通常分为条纹或圆孔模体,能够比较直观地估计分辨率的大概范围,但是受观测者的主观影响较大,且用于三维成像的显微CT的条纹模体成本较高.调制传递函数法模体加工相对简单,可以较客观全面地探究分辨率的空...
作者：吴素艳; 黄银国; 赵美蓉; 付胜楠 刊期：2017年第02期
提出一种新的基于光纤光栅（FBG）技术的扭矩测量方法.分析了光纤光栅的传感机理,推导了扭矩与中心波长之间的数学关系,建立了双光纤光栅扭矩测量的理论模型.搭建实验平台,采用曲线拟合算法,对实测数据进行分析和处理,该扭矩测量系统的灵敏度达到22.89 pm/（N·m）,最大非线性误差为0.23% FS,符合测量系统的误差要求,验证了此种扭矩测量方法的可...
作者：吴翔宇; 王仲; 李兴强; 吴振刚; 付鲁华; 曾周末 刊期：2017年第02期
针对工件内尺寸的快速、在机、自动化、精密测量问题,提出一种基于平行射线簇的测量方法.当具有测距功能的射线沿着某一平面平移时,测量射线的平移轨迹就构成了平行射线簇.基于平行射线簇的测量方法,通过平移测量射线而实现测量信息的采集,通过分析测量射线的轨迹数据从而获得目标信息.在此基础上,开发了一种利用激光位移传感器的嵌入式非接触测...
作者：高奇; 巩亚东; 蔡明 刊期：2017年第02期
以铝AL1060为研究对象,基于ABAQUS对不同晶粒度AL1060进行微铣削力仿真研究,采用直径为0.6mm的硬质合金立铣刀对不同晶粒度AL1060零件进行高速铣槽试验,依据单因素试验方法,分析主轴转速、铣削深度和进给速度对不同晶粒度AL1060零件微铣削力的影响,探究微铣削力影响机理,仿真与试验结果数值较为接近,误差较小,细晶铣削力大于粗晶.
作者：葛坤鹏; 李圣怡; 胡皓 刊期：2017年第02期
基于化学机械抛光（CMP）技术的基本原理,选取合适的抛光液,研究了铝合金反射镜磁流变抛光过程中材料的去除机理,分析了磁流变平坦化加工的可行性,并通过单因素实验确定了最优参数,最后研究了相应去除函数的稳定性.实验结果表明,铝镜经磁流变抛光后获得了较高的表面质量,表面粗糙度达到Ra=5.593 nm,且去除了车削时产生的纹路;铝镜磁流变去除函数...
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