杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
作者：徐宗伟 李龚浩 兀伟 邢晓东 李万里 刘红忠 陈明 刊期：2013年第06期
精密长光栅作为高档数控机床中的核心部件，其制造能力和精度直接决定高精密机床的制造水平．本文对纳米滚压印技术制造长光栅中的核心部件——圆柱母光栅的制造开展研究，建立了高精度的母光栅刻划制造平台，保证了母光栅制造的精度要求；分析了微尺度毛刺的形成机理和抑制方法，对母光栅材料选择及微尺度刻划工艺参数进行了优化，实现了直径11...
作者：徐志强 尹韶辉 陈逢军 余剑武 刊期：2013年第06期
针对目前小口径非球面零件在超精密加工中存在的加工效率和加工精度等问题，分析了现今小口径非球面超精密加工方法及其特点，提出了一种超精密金刚石车削和斜轴磁流变抛光超精密组合加工方法．其中小口径非球面斜轴磁流变抛光方法的特点是抛光主轴采用倾斜安装，并且抛光头由外部旋转抛光体和内部励磁装置两部分构成．通过开发新型的小口径非球...
作者：徐飞飞 张效栋 房丰洲 刊期：2013年第06期
本文利用超精密机床对单晶硅进行了斜切及车削实验，采用拉曼光谱仪测量单晶硅材料切削表面的损伤，利用高斯和洛伦兹分布拟合拉曼光谱得到单晶硅表面相变层厚度及残余应力信息．结果表明，单晶硅切削表面与磨削、纳米划擦表面不同，除了非晶相外，测不到其他高压相．随着切削厚度的增大，单晶硅表面非晶层的厚度和表层的残余应力也会相应增加．...
作者：张健 王军波 曹明威 陈德勇 刊期：2013年第06期
为提高谐振式MEMS压力传感器的品质因数，且同时降低温度漂移，设计了一种传感器的单芯片级真空封装和低应力组装方法，选用非光敏苯并环丁烯（BCB）材料在真空加热、加压条件下实现PYREX7740玻璃空腔与传感器芯片的黏合键合，在可伐合金管座上加工出与传感器尺寸相匹配的方形空腔，实现传感器芯片的低应力组装．实验结果表明：传感器具有较高的...
作者：卜灵 伍晓明 王晓红 刘理天 刊期：2013年第06期
提出一种新型静电式振动能量收集器，该器件采用基于聚四氟乙烯体材料驻极体的双面电晕驻极结构，提高了薄膜驻极体静电式振动能量收集器的输出功率．在电晕驻极栅网电压为-700V的条件下，体材料驻极体的上下表面分别获得了-564．0V±83．1V、-636．4V±69．7V的表面电位均值．采用组装方式制成器件，并在正弦激振条件下测试器件的输出性能．实验...
作者：陈方 苑伟政 常洪龙 杜松杰 刊期：2013年第06期
设计了一种用于MEMS陀螺敏感模态的六阶连续带通多反馈∑△M闭环控制系统，以及相应的系统参数多目标优化方法．与以往的低通∑△M闭环控制系统相比，该系统不仅具有更好的噪声整形特征，能较大程度抑制陀螺噪声，而且易于在PCB电路上实现．由于整个闭环系统非常复杂且非线度较高，采用遗传算法对系统参数进行了多目标优化．系统优化之后的仿真...
作者：张磊 吴星怡 郑童尹 鞠美庭 刊期：2013年第06期
作为一种水中的主要污染物，持久性有机污染物（POPs）严重威胁着人类健康．光催化降解水中的POPs是一项具有良好应用前景的创新性绿色技术．纳米化学领域的最新成就使得制备具有更优异降解性能的纳米尺寸催化剂成为可能．利用TiO2、In2O3、ZnO等不同种类的纳米结构材料可有效地光催化降解POPs．值得一提的是，上述反应机理含有羟基自由基的生成...
作者：潘金艳 高云龙 刊期：2013年第06期
为了提高碳纳米管（CNT）阴极膜的场发射均匀性和稳定性，同时改善CNT膜的制作过程，本文提出一种掺混纳米金刚石（D）制作高性能丝网印刷CNT膜的方法．通过掺混碳相纳米金刚石，形成结构匹配的CNT／D复合膜，CNT膜内的间隙势垒减少，发射体分散更均匀，膜层与基底接触面积增加；同时，结合纳米金刚石的负电亲和势和场发射特性，可有效提高CNT阴...
作者：樊启哲 余长林 操芳芳 陈建钗 魏龙福 刊期：2013年第06期
首先合成高结晶度的BiOBr纳米片，然后利用光化学气相沉积（PCVD）法将不同含量的Pd纳米粒子沉积在BiOBr纳米片上．运用N，一物理吸附．脱附、x射线粉末衍射（XRD）、透射电镜（TEM）、x射线光电子能谱（xIX3）、光致发光（PL）谱、紫外可见漫反射吸收光谱（uV-VisDRS）技术对合成的Pd／BiOBr进行了表征．考察了Pd含量对BiOBr光吸收性能和紫外光...
作者：孔全存 李勇 朱效谷 佟浩 刘桂礼 刊期：2013年第06期
根据微细电解加工中工具电极下端面面积远小于工件表面的非对称特征，在水基中性盐钝性电解液侧流冲入和金属电极处于钝化状态的条件下，提出了一种基于双电层电容的微细电解加工间隙的在线检测方法．在微细工具电极和／或工件上不外加传感器的前提下，利用工具电彬溶液界面上双电层电容值随加工间隙增大而单调递增的变化关系，精确、快速地实现...
作者：王琦琦 朱福运 孙明竹 张海霞 赵新 刊期：2013年第06期
本文提出了一种对黑硅表面进行三维重建的方法．通过对扫描电子显微镜的成像原理进行建模，该方法可以只使用单幅从黑硅表面正上方垂直向下拍摄的扫描电子显微镜图像获得黑硅表面的三维信息．该方法简单易行．本文对这一方法进行了重建测试．测试结果表明该方法能够获得比较理想的重建效果．
作者：朴伟英 袁怡宝 孙涛 许景波 刊期：2013年第06期
为了能高精度地实现表面计量中的高斯滤波，基于中心极限定理，提出了一个高斯滤波器的二阶巴特沃思滤波器逼近数学模型．用双线性变换法设计了IIR型数字高斯逼近滤波器．逼近精度可以通过调节逼近滤波器的级联阶数实现．在八阶级联的条件下，高斯逼近滤波器与高斯滤波器的幅度传输特性偏差大约只有0．25％．高斯逼近滤波器采用迭代算法实现，算...
作者：苏树清 李锦明 刊期：2013年第06期
激光陀螺的工作中心频率作为激光陀螺的工作计量基准，其频率的稳定性对激光陀螺的测量精度有着直接的影响．稳定激光陀螺工作中心频率最为有效的方法就是采用主动腔长补偿控制．在对腔长控制原理和方法介绍的基础上，提出了将激光陀螺输出光强信号进行交直流分量分离独立控制的方法，并给出了系统的硬件设计框图，最后介绍了软件设计流程．测试...
作者：李晓琳 王刚 徐天舒 黄文准 刊期：2013年第06期
为探索因子分析中因子旋转的性能和提升因子分析计算的效率，研究因子分析的原理并提出基于最大方差旋转的因子分析算法．从线性表示的角度分析，因子分析模型与稀疏表示情况下的独立分量分析相似，独立分量分析模型是忽略了噪声因子的因子分析模型．目标函数关系分析表明，传统的因子旋转方法，如最大方差方法和一般直交法，与独立分量分析的峭...
作者：王选择 王诣 翟中生 刊期：2013年第06期
为了消除悬臂梁移动时产生的阿贝偏角误差，设计了一种可同时测量角度与位移的精密测量系统．首先，在激光干涉原理的基础上，通过改变光路将角度转换为可以反映干涉系统中光程差变化的位移量．其次，采用压电陶瓷（PZT）驱动柔性铰链机构，产生运动的干涉条纹．最后，采用四细分条纹计数辨向方法，进行运动干涉条纹的接收与处理实验，结果表明...
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