纳米技术与精密工程杂志 CSCD期刊 统计源期刊

不可逆封合微流控芯片中高活性蛋白质阵列的制备

作者：周勇亮 胡冬洁 张大霄 孙文 刊期：2012年第06期

保持生物分子的高活性是在不可逆封合微流控芯片中构筑微阵列芯片的关键问题．首先，利用MEMS技术和表面修饰方法制作了一种聚二甲基硅氧烷（PDMS）／玻璃芯片．应用光刻技术制作了PDMS盖片上的通道，同时用光刻剥离技术制作了玻璃基片上的金膜图案．进而，使用双官能团修饰剂3-氨丙基三甲氧基硅氧烷（APTMS）在玻璃基体和金膜图案上进行选择性...

微纳米级键合强度分析

作者：阮勇 尤政 张大成 刊期：2012年第06期

本文主要研究了微米／纳米尺度的键合技术和键合强度．给出并发展了基于MEMS技术的微米／纳米键合分析模型，为提取微米／纳米键舍面积的最大剪应力和压应力．设计、制备和测试了一系列单晶硅悬臂梁结构．并使用理论公式和ANSYS有限元模拟对实验结果进行了分析．键合强度可以分为扭转和剪压表征两部分．根据测试值可得．最大抗扭强度为1．9×10^9...

紫外-可见光谱分析碳纳米管电泳液浓度对阴极场发射性能的影响

作者：叶芸 肖晓晶 郭太良 林贺 黎威智 刊期：2012年第06期

将酸化的碳纳米管（CNT）粉末、硝酸镁置于异丙醇溶剂中超声处理，制备成分散均匀的CNT电泳液．采用不同CNT浓度的电泳液在CrCuCr电极上电泳沉积CNT薄膜，并对阴极样品进行场发射性能测试：同时采用紫外-可见光谱仪对CNT电泳液进行光谱分析．结果表明，CNT浓度为0～0．13g／L的电泳液在258nm处存在光谱吸收，且其吸光度与相应CNT浓度呈良好的线...

Ka波段DMTL移相器用RF MEMS电容式并联开关研制

作者：高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 刊期：2012年第06期

本文设计并制作了一种用于Ka波段分布式MEMS传输线（DMTL）移相器的MEMS电容式并联开关．通过理论计算和工程经验，大致定义了开关的结构尺寸．采用HFSS软件建立了开关的三维电磁场模型并优化了关键结构参数．仿真表明：开关在Ka波段插入损耗小于0．15dB，回波损耗大于15dB．采用Coventor Ware软件进行了开关的机电耦合仿真．得出其驱动电压为2...

石英陀螺闭环自激驱动电路

作者：王庆一 陈伟平 尹亮 刘晓为 周治平 刊期：2012年第06期

为使石英陀螺满足高性能、小型化和集成化需求，设计石英陀螺专用集成电路接口芯片势在必行．本文通过分析石英陀螺表头的机电特性．得出方波驱动方式是系统性能和复杂程度的折衷．据此设计了一种闭环自激驱动电路．该电路与石英结构形成反馈环路，从而实现陀螺的自激驱动，并通过自动增益控制电路实现幅值稳定．该电路已用0．5μmCMOS工艺实现．...

侧壁四电极电容耦合非接触电导检测器

作者：顾雯雯 温志渝 徐溢 温中泉 梁凤飞 刊期：2012年第06期

研制了一种集成于硅基电泳芯片分离沟道末端侧壁的新型四电极电容耦合非接触电导检测器．研究了该电导检测器的等效模型，对等效电路模型中的参数进行了公式推导，并讨论了影响电导检测响应灵敏度的相关因素．采用深刻蚀及离子注入加工技术制得了用于电导检测的立体电极．制作了基于锁相放大原理的信号处理电路，对该电导检测的频率响应及灵敏度...

基于MEMS工艺制造的阀芯阀座密封副的压电阀门

作者：吕建路 张德远 蒋永刚 陈华伟 刊期：2012年第06期

为了提高压电阀门的流量和动态性能，使其适用于微推进系统，本文研究了一种基于MEMS工艺制造的阀芯阀座密封副的压电阀门．采用MEMS工艺制作了硅片阀芯阀座，使阀门整体结构简单紧凑，获得了良好的密封效果（在阀门入口气压为1MPa的情况下泄漏率小于0．001mL／min），并使阀门达到了较大的流量．在入口气压大于0．4MPa．压电堆所施加的电压为20...

A Portable Instrument for Rapid Field Test of E. coli Based on Bioluminescent Magnetic Immunoassay

作者：王蜜霞 罗金平 刘晓红 蔡新霞 刊期：2012年第06期

基于椭球假设的三轴加速度计无依托校准方法

作者：刘仁浩 王华 夏金秀 刊期：2012年第06期

针对现有航姿测量系统三轴加速度计校准方法成本高、精度低以及现场校准能力不足的问题，本文提出了一种基于椭球假设的无依托现场校准方法．首先．根据传感器的灵敏度、偏置以及非正交耦合因素对加速度计的影响，建立了误差椭球校准模型．该模型将三轴加速度计的校准过程转化为将椭球面还原成圆球面的几何变换过程．使得校准参数由15个减少到9...

基于改进偏最小二乘的CMM动态误差混合建模分析

作者：张梅 费业泰 刊期：2012年第06期

三坐标测量机（CMM）动态误差源错综复杂，并且相互影响，因此很难建立一个通过误差源分析误差的准确预测模型．本文以空间测量位置的三维坐标值和测量机测量时的计算机直接控制（DCC）参数，包括移动速度、逼近距离和触测速度作为CMM动态测量误差模型的原始自变量，并通过3B样条变换获得各原始自变量与动态测量误差的非线性关系函数，再利用正...

基于小波聚类的罐底声发射源聚集区域自动识别

作者：王伟魁 曾周末 李一博 靳世久 刊期：2012年第06期

利用声发射（AE）技术进行储罐罐底腐蚀检测过程中，不仅要获得声发射信号，还要根据声发射源分布的疏密了解罐底各处的腐蚀情况．传统方法一般采用人工方式进行腐蚀区域划分和识别．效率和准确率都低．为解决该问题，提出了一种基于小波聚类的罐底声发射源聚集区域自动识别方法．算法过程主要包括：划分网格、二维离散小波变换、区域查找和标记...

齿距偏差测量中系统误差的分离方法

作者：娄志峰 贺海钊 凌四营 王立鼎 王晓东 马勇 刊期：2012年第06期

德国联邦物理技术研究院（PTB）与日本计量院（NMIJ）提出了将闭环技术应用于齿距偏差的测量，用于消除测量过程中的系统误差．达到高精度测量齿距偏差的目的．通过借鉴闭环测量技术，提出了齿距偏差两步测量法用于消除齿距偏差测量中的系统误差．首先将被测齿轮安装于齿距偏差测量仪中，对齿距偏差进行初次测量；测量结束后．将齿轮在测量仪中...

基于游离磨粒的化学机械抛光材料去除非均匀性形成机制

作者：苏建修 张学铭 刘幸龙 刘志响 张竹青 刊期：2012年第06期

本文主要研究硬脆晶体材料化学机械抛光中基片内材料去除非均匀性的形成机理．首先分析了化学机械抛光时抛光机的运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律．然后通过基片内材料去除非均匀性实验．得出了抛光机运动参数对基片表面材料去除非均匀性的影响．...

金刚石刀具刃口的动态微观机械强度各向异性评价方法

作者：宗文俊 胡振江 李增强 孙涛 苑世剑 刊期：2012年第06期

为了评价金刚石刀具刃口动态微观机械强度的各向异性，对金刚石晶体的动态微观机械强度进行了理论建模，包括抗拉、剪切和抗压强度．通过比较分析动态微观机械强度的各向异性分布特征，提出了基于金刚石晶体动态微观抗拉强度的刀具刀口微观机械强度各向异性评价新方法．即刀具刃口强度评价因子．刀具刃口强度评价因子越高，其对应的刀具刃磨质量...

先进陶瓷材料超声振动铣磨加工表面粗糙度仿真及实验、

作者：乔国朝 周明 黄劭楠 刊期：2012年第06期

为了对超声振动铣磨加工先进陶瓷的表面粗糙度进行预测，建立了加工表面形貌的仿真模型．通过实验测得砂轮表面形貌和磨粒突出高度信息，并对这些信息进行Kolmogorov-Smirnov正态验证．发现砂轮表面彤貌不服从高斯分布．对非高斯分布的数据进行Johnson变换，建立砂轮形貌的数值模型．结合砂轮表面形貌和磨粒与工件的相对运动分析，提出了一种表...