杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
作者：HARRIMAN T A HILDEBRAND D S LUCCA D A LEE J-K WANG Y Q NASTASI M 刊期：2012年第05期
为进一步了解离子注入过程对纳米晶体发光响应的损伤效果，研究了注入氢离子和氦离子对氧化锌纳米晶体光致发光（PL）特性的影响．首先在二氧化硅衬底上制备了直径为4nm和9nm的氧化锌纳米晶体薄膜，接着在室温下向生成的薄膜中注入氢离子和氦离子，并研究其PL响应变化．结果表明，与未注入离子的纳米晶体相比，注入氦离子导致缺陷PL发光增加，而...
作者：荣伟彬 吴振广 孙立宁 刊期：2012年第05期
设计了一种大行程、高分辨率的一维纳米定位平台，并进行了性能测试．该平台采用差动杠杆原理和柔性铰链，运用两个压电陶瓷叠堆致动器驱动．对柔性铰链平台建模，通过材料力学及结构振动微分方程等相关知识，对柔性铰链微动平台的刚度、输入反作用力、放大倍数等参数进行了分析，得到平台结构参数对平台性能的影响，并结合有限元分析软件，确定...
作者：吴德志 胡兴旺 黄翔宇 王凌云 孙道恒 刘益芳 刊期：2012年第05期
三维纳米纤维结构具有超高比表面积、可控孔径和孔密度，潜在应用非常广泛．以高度和位置可调的探针阵列为静电纺丝收集器，同时探针阵列通过控制开关与辅助电压相接，通过改变各探针高度、探针间距和与辅助电压的导通状态，制备所需的三维纳米纤维结构．初步实验结果表明，最大／最小探针间距随着电压的增大而减小，而随喷头与收集器间距的增大...
作者：陈宇航 郑成 杨春来 黄文浩 刊期：2012年第05期
超声检测技术与原子力显微技术相结合，构成原子力声显微镜（AFAM），能够实现样品内部纳米结构的测量，并分析如局域弹性模量、刚度等力学性能．本文在传统的原子力显微镜（AFM）的基础上初步构建了AFAM．利用AFM轻敲模式下的微悬臂梁振动激励信号来驱动样品背面的压电超声换能器．并利用轻敲模式控制系统中的锁相环检测经过样品后由探针收集的...
作者：王晓峰 李翔宇 陈学坤 周扬 尤政 刊期：2012年第05期
随着MEMS技术的发展，对微纳尺寸器件的需求日益凸显，微能源的研究变得尤为重要，而微型超级电容器则是其中一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件．设计了一种基于氧化钌功能薄膜的三维微柱阵列电极，并进行了相关的扫描电镜（SEM）、循环伏安（CV）和交流阻抗谱（EIS）测试．测试表明在2mm×2mm的硅片上，直径为50μm、高为100μm的三维...
作者：王淑云 阚君武 沈黄桥 傅骏翔 温建明 程光明 刊期：2012年第05期
为提高压电泵的输出能力，提出一种多腔串联压电泵．并从理论和试验两方面进行了研究．理论分析表明，在其他条件确定时，多腔串联压电泵的输出压力与泵腔数量n成正比，输出流量与√n成正比．设计制作了金属阀五腔串联压电泵，并以水为工作介质测试了工作腔数量不同时的输出特性．结果表明，压电泵工作腔数量不同时，存在不同的最佳工作频率使其...
作者：张子立 殷晨波 朱斌 陶春旻 刊期：2012年第05期
设计了一种带硅岛结构的基于Sn0：薄膜材料的共面式气体传感器．利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析，分析结果表明这种传感器在33．84mW功耗下最高温度达到400℃，气敏薄膜上温度分布均匀．详细阐述了传感器的制作过程，过程中总共使用4块掩模版用于光刻工艺．采用溶胶一凝胶法制备了SnO2纳米薄膜作为传感器的气敏元件．对传感器进行了气...
作者：聂金泉 赵玉龙 刘亦敏 彭年才 刊期：2012年第05期
为了降低微型聚合酶链式反应（PCR）芯片的功耗，设计了一种嵌入硅基内部的微加热器．该加热器由采用离子注入技术制作的加热电阻并行排列构成，利用设计的热循环控制系统，对微加热器进行了热循环特性研究．包括功耗、不同加热功率下的温升速率以及样液对芯片温度及功耗的影响．实验结果表明，当加热功率为1．6W时平均温升速率可达4．7℃／s，9...
作者：曾涛 石庚辰 张兵 王禛 王倩倩 刊期：2012年第05期
为了解决MEMS器件在加工过程中在线高度检测的困难，提出了一种基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法．首先建立了用以验证激光光切法有效性的高度在线检测系统；然后提出了一种基于阈值分割、数学形态学、逐行扫描法和加权最小二乘法的快速激光中心线提取算法．实验表明．建立的高度在线检测系统的最大平均误差及误差的均方差分别为-6．38...
作者：熊继军 杨芳 梁庭 牛坤旺 李叶 王凯 崔天宏 刊期：2012年第05期
为了解决无源压力传感器的无线信号传输性能问题，采用环氧树脂基底制作无源压力传感器模拟结构．传感器无线测试装置由共振电容空腔和感应天线组成。内部无需有源器件、电池等．通过改变压力敏感结构电感天线的金属层厚度和线宽等因素来研究无线信号传输性能．经过实验测试，电感的品质因素Q影响传感器的信号传输．可以通过对金属层加厚，对线...
作者：徐耀松 李一博 靳世久 刊期：2012年第05期
研究了石油储罐罐底腐蚀声发射源的定位方法．针对有限空间液态场中水声信号的多途效应严重影响声源目标定位问题．提出一种基于粒子滤波的到达时间差（TDOA）声源定位方法，充分考虑广义互相关结果中多途效应导致的多个峰值．采用高斯似然函数进行重要性采样，实现对多途效应影响的抑制．水池实验结果表明这种方法比传统的Chan方法具有更高的定...
作者：李醒飞 杨光 赵建远 王佳 刊期：2012年第05期
针对动力调谐陀螺（DTG）模型锁定回路设计中陀螺真实模型与理论模型差异带来的问题．提出基于陀螺辨识模型的解耦、控制一体化控制器设计方案．首先，构建动力调谐陀螺模型辨识系统，获取动力调谐陀螺自回归（ARX）模型参数，为控制器设计提供设计依据．然后，按照系统指标要求在单独通道设计（ICD）框架下分析动力调谐陀螺参数模型的耦合特征...
作者：伍鹏 栗大超 杨佳 朱芮 徐可欣 刊期：2012年第05期
人体组织液中的葡萄糖浓度与血糖浓度密切相关，微创血糖检测通过测量组织液中的葡萄糖浓度来预测血糖浓度，而组织液中成分复杂，利用对葡萄糖有特异性吸附作用的D-半乳糖／D-葡萄糖结合蛋白（GGBP）胺耦合绑定修饰表面等离子共振（SPR）传感器可以实现葡萄糖选择性测量．但是由于测量过程复杂，需要对影响测量精度的因素进行评价，确定最佳测...
作者：关炎芳 刘春波 张士雄 俞正寅 刊期：2012年第05期
通过对新型锯齿型和传统扩张／收缩型两种微流道内部流场数值分析结果进行比较，得出微流道内流动状态随雷诺数的变化情况以及漩涡产生原因：锯齿型微流道由于侧面齿形角的存在．流动过程中较传统扩张／收缩型微流道易产生漩涡，正是由于漩涡的产生使流道压力损失降低．因而新型锯齿型微流道微泵性能优于传统扩张／收缩微流道微泵．最后采用先进...
作者：罗怡 王良江 祁娜 王晓东 刊期：2012年第05期
作为一种新型聚合物微结构成形方法，超声波压印具有成形速度快和基片整体变形小的特点，但是微结构在较大面积成形时存在均匀性较差的问题．本文面向微流控芯片中微沟道的超声波压印成形，通过设计正交实验和有限元仿真研究的方法，分析了超声压印工艺参数对微流控芯片成形质量和均匀性的影响原因及规律．结果表明，可以通过优化超声波压印压力...
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