杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
杂志简介：《纳米技术与精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自2003年创刊，国内刊号为12-1458/O3，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份季刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：纳米技术、微机电系统、精密加工、精密测量
作者：丁衡高; 朱荣 刊期：2007年第04期
近年来，微米纳米科学技术发展迅速，在产业化方面已经取得了不少进展．本文从发展现状和趋势上，结合我国具体情况，阐述了以下观点：开展创新工艺和设计方法研究，提高微机电（加EMs）应用和产业化能力；开展基础研究，提高MEMS器件和系统的水平；加强微米／纳米科学技术成果的结合．最后对今后研究工作提出了建议．
作者：王静; 黄庆安; 于虹 刊期：2007年第04期
硅微机械加工的梁、桥和板是微纳器件的基本结构；杨氏模量是描述力学性能的基本参数．用半连续方法计算了不同厚度的（001）硅纳米板沿[100]方向和[110]方向的应变能，并由此得到了两个方向上的杨氏模量．结果表明，沿[100]和[110]方向的硅纳米板杨氏模量均随着板厚度的减小而减小，并且减小的趋势随着板厚度的减小越来越明显,当板厚度逐渐增加...
作者：李博; 徐晨; 宋义超; 沈光地 刊期：2007年第04期
研究了自终止腐蚀停法制备浓硼重掺杂硅薄膜的腐蚀孔问题．许多MEMS结构需要进行2次或2次以上的深刻蚀，有些需要在多次深刻蚀后释放超薄的悬空薄膜结构，这时薄膜表面极易出现微小的腐蚀孔．分析可知，微蚀孔并不完全在第2次腐蚀的过程中形成，而是从第1次深腐蚀过程中对掩膜层的钻蚀开始的．对掩膜层的钻蚀，导致硅表面出现轻微腐蚀，形成细小...
作者：李以贵; 杉山进 刊期：2007年第04期
描述了一种新的亚波长光栅的微细加工技术，即X光光刻得到相应的亚微米级的线宽图形，再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长光栅．用此纳米加工技术获得了栅距为500nm、250nm、150nm，光栅高度为1900nm的特殊纳米光栅模具，开发了纳米无反射结构，并研制成功了亚波长光栅．该亚微米线宽微细加工技术可用于布拉格光栅、DVD读写头、无反射表...
作者：王慧泉; 金仲和; 李铁; 马慧莲; 王跃林 刊期：2007年第04期
通过选择性离子注入，在硅片表面形成P区、N区紧密接触的PN结结构．实验发现，在黑暗条件下，PN结N型区域可被HF酸或BOE溶液选择性腐蚀；该腐蚀速率与HF酸溶液浓度有关，随环境温度升高而加快，腐蚀速率范围为0．25～3．5nm／min；腐蚀后硅片表面平整．对腐蚀机理进行了初步讨论．结合氧化硅蚀刻缓冲液（BOE溶液）氧化硅牺牲层腐蚀技术，发展出...
作者：曲建波; 佘希林; 袁芳 刊期：2007年第04期
采用聚合物溶液和熔体浸润多孔阳极氧化铝（AAO）模板的物理方法，成功制备了通孔的热塑性聚氨酯（TPU）纳米管及其阵列结构．扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（1EM）测试表明：有效地调整溶液滴加量可制备出不同结构的聚合物纳米管阵列．以浓度为7．0％（wt）TPU溶液为例，研究了溶液滴加量对纳米管结构之间的关系，2μL为制得TPU纳米管...
作者：许晓慧; 冯艳; 刘爽; 李保庆; 褚家如 刊期：2007年第04期
提出了一种基于锆钛酸铅（PZT）压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜，建立了该微变形镜的结构模型，分析了其结构中各层厚度对其性能的影响．PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法刻蚀技术制备的。刻蚀液为1BHF：2HCl：4NH4Cl：4H2O．以数字锁相方法测试了压电厚膜的介电性能，在100kHz以下时，其介电常数和介质损耗分别优于2400和3...
作者：王国勋; 纪新明; 周嘉; 包宗明; 鲍敏杭; 黄宜平 刊期：2007年第04期
结合光子晶体和表面等离子体共轭（surface plasmon resonance，SPR）技术，研究了一种新型的MEMS红外光源．相比传统的红外光源，该新型光源具有红外光谱窄、红外发射峰位置可调等优点．该光源衬底材料为硅，然后在硅表面形成SiO2-Cr-Au结构，并在Si-SiO2-Cr-Au结构表面形成刻蚀深度为2pm、孔间距分别为7μm和8μm（孔直径分别为3．5μm和4μm）等...
作者：孟凡涛; 褚金奎; 韩志涛; 赵开春 刊期：2007年第04期
针对仿生微纳导航传感器敏感波段380～520nm的要求，基于严格耦合波理论，设计了一种适用于蓝紫光波段的金属光栅偏振器，并应用等效介质理论直观地分析了金属光栅偏振器的工作原理．所设计的金属光栅偏振器与传统的金属光栅偏振器的不同之处在于：在基底和金属线栅之间增加了氟化镁薄膜，并且刻蚀一部分氟化镁薄膜．在垂直入射条件下，在整个可...
作者：樊尚春; 汪彩霞 刊期：2007年第04期
对谐振式微机械传感器的敏感元件——微机械谐振梁的谐振频率特性进行了详细的实验研究，并从理论上分析了激励功率对谐振频率的影响．实验结果表明，谐振频率随着激励功率的增加而近似线性减小，当激励功率从1．1mW提高到10．1mW时，谐振梁的谐振频率降低了1．609kHz，灵敏度为0．179kHz／mW．实验结论与理论分析的结果基本一致．若要使激励功...
作者：梅德庆; 汪延成; 陈子辰 刊期：2007年第04期
为了提高应力检测的灵敏度，提出了一种基于应力集中的新型压阻式微悬臂梁设计方法．首先，通过在硅基悬臂梁上加工出一些条缝结构作为应力集中区域，利用应力集中效应来提高应力检测的灵敏度，并在梁上沿硅的（100）面〈110〉晶向布置4个压阻元件组成惠斯通电桥来进行应力检测．其次，用有限元法分析了不同参数的孔缝结构对应力分布的影响．结...
作者：钟砚超; 梁静秋; 李小奇; 李伟; 王淑荣; 梁中翥; 孙德贵 刊期：2007年第04期
设计制作了一种电磁驱动式悬臂梁．为降低驱动电流，选择柔韧性较好的聚酰亚胺（PI）作为梁结构材料，其优良的绝缘性和耐热性保证了驱动线圈的功能实现．通过理论计算及有限元模拟仿真对悬臂梁动力响应及结构模态做了系统分析；根据分析结果，优化得到悬臂梁的结构参数．介绍了悬臂梁的制作工艺及流程，通过PI刻蚀、A7A903光刻胶光刻、电铸等工...
作者：熊继军; 高健飞; 郭涛; 范波 刊期：2007年第04期
微加速度计是集微电子与机械于一体的加速度敏感元件．微加速度计的应用越来越广泛，但是其可靠性问题成为制约微加速度计市场化的关键因素．为了预计压阻式微加速度计的可靠性，分析了一个完整的压阻式微加速度计，它由加速度计微结构、键合引线以及封装管壳等构成；讨论了加速度计的主要失效类型——由芯片材料缺陷以及工艺缺陷导致的内部失效...
作者：李华; 石庚辰 刊期：2007年第04期
对两种横向变形的终止位置定位机构进行了力学分析，选择对被定位件滑块卡入阻力小的终止位置定位机构结构形式．根据少装配原则与满足MEMS整体系统性能要求相平衡的设计思想，将MEMS定位机构和基座分开设计．选择金属镍作为定位机构材料，用LIGA工艺成功制备出定位机构的原理样机和镍标准样条．在24℃和25％相对湿度的条件下，利用微型硬度测试...
作者：施长治; 刘晓为; 谭晓昀 刊期：2007年第04期
设计了一种基于Σ-Δ调制器技术的新型电压．频率转换器，可用于加速度计接口电路将模拟电压信号转换成相应的频率输出信号，且其对于恒定输入电压具有稳定的输出频率，具有正负两种转换特性．采用中国电子科技集团二十四所的4μm P阱标准CMOS工艺参数对电路进行了模拟仿真．在10V电源电压下，其时钟频率为1．04MHz，输入电压范围为1．5—8．5V，输...
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