摘要：使用弹性膜软光刻方法,制作了冠深为3μm,底面直径为25μm,焦长约64.05μm的柔性凹微透镜阵。本文给出了制作柔性凹微透镜阵列的详细工艺流程,并使用金相显微镜、台阶仪、三维显微成像系统等分别对凹微透镜阵列的三维形貌,光学性质进行了测试。测试结果表明凹微透镜阵列三维形貌清晰,光学性质良好。本文也使用有限元分析方法对施加分布载荷的柔性微透镜阵列的形变作了分析。分析结果表明,载荷的增加使得曲面微透镜阵列的形变增加,阵列的曲率半径减小,阵列两端的形变程度要高于阵列中部的形变程度。

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