摘要：1960年,第一台红宝石激光器的发明为原子光谱分析注入新鲜血液,自此,类似于火花源的激光光束聚焦击穿现象即见诸文献报道。1962年Jarrell-Ash的Brech发表第一篇关于用激光产生等离子体进行分析的文章,标志着激光烧蚀分析技术的诞生。1964年,得益于激光器Q开关脉冲技术,使得激光烧蚀无需通过辅助电极放电,直接通过激光产生等离子体进行分析,成为今天LIBS的雏形。

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