摘要：高性能铁电氧化物薄膜是当今功能材料的研究热点之一.随着新型MO源的不断研究与开发,利用MOCVD技术制备高质量铁电薄膜材料得到了快速的发展.本文在分析金属醇盐和金属β-二酮化合物等MO源的结构与其物性依赖关系基础上,分类综述了近年来在用于MOCVD方法生长铁电氧化物薄膜的新型MO源研究和开发方面的发展动态与趋势,为MOCVD方法制备铁电薄膜材料MO源的选择提供有用的参考与借鉴.

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