首页 期刊 光子学报 电极形状与紫外探测器灵敏度关系的研究 【正文】

电极形状与紫外探测器灵敏度关系的研究

作者:吕惠民; 陈光德; 苑进社 西安交通大学应用物理系; 西安710049; 西安理工大学应用物理系; 西安710048
紫外探测器   电极   加工工艺  

摘要:在传统工艺的基础上,改变电极的形状可以提高氮化镓(GaN)基材料光导型紫外探测器的灵敏度.经过计算可知,虽然三棱形电极可以使探测器有效受光率提高100%,但工艺复杂,难以实现;而半圆柱形电极虽然使氮化镓薄膜有效受光率仅提高20%左右,但工艺简单,便于加工。

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