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50nm分辨力极端紫外光刻物镜光学性能研究

作者：李艳秋 刊期：2004年第07期

极端紫外光刻(EUVL)作为实现100～32nm特征尺寸微细加工的优选技术，其光刻物镜的光学性能是实现高分辨图形制作的关键。利用光学设计软件CODEV对6枚非球面反射镜构成的光刻物镜设计和光学性能分析．其分辨力可以实现50nm，曝光面积为26mm×1mm。结果表明，光学性能对曝光场点的依赖关系。在全曝光场中进行了光学性能分析，其最大畸变为3．77nm，...

精确控制大数值孔径微透镜列阵面形的显影阈值方法

作者：董小春; 杜春雷 刊期：2004年第07期

提出了一种可对大矢高、非球面微透镜阵列面形进行精确控制的新方法。针对不同面形的微透镜阵列，该方法首先对光致抗蚀剂表面的曝光分布进行设计，然后，利用光致抗蚀剂显影过程中的阈值特性，对微透镜的面形实行控制。当抗蚀剂显影速率接近0时，即可获得设计的微透镜面形。该方法不仅大大提高了微透镜阵列矢高的加工范围，而且还减小了光刻材...

渗透剂对小鼠皮肤光学特性影响的实时动态监测

作者：岑建; 朱?; 骆清铭; 曾绍群 刊期：2004年第07期

自行研制了一套双积分球系统，应用该系统对离体小鼠皮肤在渗透剂无水甘油作用下，光学特性参量的变化进行了实时监测。实验结果表明：在无水甘油作用下，随着时间的延长，小鼠皮肤的约化散射系数明显减小，吸收系数略有增加，并最终导致了有效衰减系数的减小；但当作用时间超过25min后，样品的光学特性参量会趋于恒定。为生物组织光学特性控制...

生物组织的散射相函数及其二阶光学参量的性质

作者：刘迎; 张小娟; 胡佑周 刊期：2004年第07期

生物组织是一种复杂介质，在许多情况下仅仅用各向异性因子g来描述其散射特性是不够的。由于二阶参量γ是一个与相函数的二阶矩g2有关，并表示与一阶参量g1关系的量，因此用g和γ两个参量能更好地描述组织的光学性质。对几种目前用于描述人体组织的相函数及其二阶参量作了简要讨论，在此基础上研究了相函数的选取对测量参量γ的影响。研究表明γ是一...

倾斜入射时偏振分束棱镜的角宽压缩效应

作者：徐学科; 汤兆胜; 范正修; 邵建达 刊期：2004年第07期

从理论上计算了由于光束倾斜入射产生的棱镜起偏系统角谱宽度的压缩效应，计算结果表明，入射光束相对于棱镜入射面的入射角越大对角谱宽度的压缩就越明显，不同材料的基底折射率的差别对角谱宽度的压缩影响不大。通过举例从膜系设计的角度进一步论证了这一结论。还指明在实际系统中可以保持入射光束的相对角度不变的情况下，通过改变棱镜的形状...

确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法

作者：沈伟东; 刘旭; 叶辉; 顾培夫 刊期：2004年第07期

借助于不同的色散公式，运用改进的单纯形法拟合分光光度计测得的透过率光谱曲线，来获得薄膜的光学常数和厚度。用科契公式分别对电子束蒸发的TiO2和反应磁控溅射的Si3N4，以及用德鲁特公式对电子束蒸发制备的ITO薄膜进行了测试，结果表明测得的光学常数和厚度，与已知的光学常数以及台阶仪测得的结果具有很好的一致性。这种方法不仅简便，而且...

热致晶化高反射率SbOx薄膜的结构分析和光学性质

作者：方铭; 李青会; 干福熹 刊期：2004年第07期

利用直流磁控反应溅射法制备了SbOx薄膜，利用X射线衍射分析仪和光谱仪分别研究了这种薄膜热致晶化的微观结构和光学性质的变化，并通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热实验测出不同加热速度条件下结晶峰温度，研究了这种薄膜的结晶动力学。发现沉积态SbOx薄膜为非晶态，非晶态SbOx薄膜在热致晶化过程中发生了两种变化，分别对应为较低温度下Sb晶...

大容量长距离传输用低非线性效应非零色散位移光纤

作者：蒋小强; 王瑞春 刊期：2004年第07期

利用非等温等离子体化学气相沉积(PCVD)工艺制备了一种适合于大容量高速率长途干线网与城域网的中芯下陷型纤芯结构非零色散位移光纤。该光纤的有效面积大于95μm^2，在1550nm波段的色散值约为9ps／(nm·km)，有效的抑制了传输过程中光非线性效应的产生。通过对光纤剖面结构的优化设计，光纤的1550nm处的传输损耗降到约0．21dB／km，与传统单模光...

金属包层长周期光纤光栅的理论和实验研究

作者：张自嘉; 施文康; 高侃; 吉小军; 方祖捷 刊期：2004年第07期

金属包层长周期光纤光栅可用于对谐振波长的调谐。通过实验和理论研究了长周期光纤光栅在沉积金属包层前后谐振波长的变化规律。分析了金属包层光纤的特点，给出了金属包层光纤包层模的本征方程，并给出了这一复本征方程的求解方法。长周期光纤光栅在沉积金属包层后，对低阶包层模，谐振波长会向长波方向偏移，模次增加，偏移会增大；对高阶包层...

振幅掩膜紫外写入的长周期光纤光栅特性研究

作者：郑凯; 裴丽; 简水生 刊期：2004年第07期

振幅掩膜紫外写入的长周期光纤光栅的纤芯折射率分布函数为矩形波。以三层阶跃折射率光波导结构基础，用弱导标量近似和标量耦合模理论分析折射率调制类型为矩形波的长周期光纤光栅的特性。详细地给出耦合模方程近似处理的方法，并说明了其合理性。用数学软件Matlab进行了数值模拟计算，发现折射率调制类为矩形波的光栅传输谱不是由它的各次余弦...

一种温度不敏感型阵列波导光栅的研究

作者：朱大庆; 许振鄂 刊期：2004年第07期

研究了的一种新型温度不敏感型阵列波导光栅(AWG)。该新型温度不敏感型阵列波导光栅的波导采用混合材料的波导结构，该混合材料波导通过在石英波导芯层上旋涂聚合物材料的上包层，达到改变波导温度特性的目的，使得阵列波导光栅的温度敏感性降低。通过理论分析和有限差分方法研究了其中两种结构：三层混合材料波导构成的阵列波导光栅和四层混合...

单模激光系统输入信号后的稳态平均光强相对涨落

作者：程庆华; 曹力; 吴大进; 王俊 刊期：2004年第07期

研究了具有实虚部间关联的量子噪声和抽运噪声驱动的单模激光系统输入信号后的统计性质，采用线性化近似方法计算了系统的稳态平均光强相对涨落，分析了量子噪声实虚部间关联系数、量子噪声强度、抽运噪声强度、输入信号振幅和频率、净增益等对稳态平均光强相对涨落的影响，发现在量子噪声实虚部间弱关联、小噪声、远离阚值、信号振幅不大和频率...

利用空问诱导色散补偿介质色散

作者：杨振军; 卢光山; 胡巍 刊期：2004年第07期

研究了超短脉冲贝塞尔光束在色散介质中的传输特性，指出空间诱导色散效应可以用来补偿介质色散作用，从而可以在色散介质中实现无衍射无色散的类时空孤子波的传输。用理论推导和数值模拟的方法得到的具有反常色散性质的空间诱导色散可以有效地补偿介质色散。数值模拟的结果表明，由于超短脉冲贝塞尔光束的无衍射无色散传输距离受到高阶色散效应...

利用空间诱导色散补偿介质色散

作者：杨振军; 卢光山; 胡巍 刊期：2004年第07期

研究了超短脉冲贝塞尔光束在色散介质中的传输特性 ,指出空间诱导色散效应可以用来补偿介质色散作用 ,从而可以在色散介质中实现无衍射无色散的类时空孤子波的传输。用理论推导和数值模拟的方法得到的具有反常色散性质的空间诱导色散可以有效地补偿介质色散。数值模拟的结果表明 ,由于超短脉冲贝塞尔光束的无衍射无色散传输距离受到高阶色散效应...

《光学学报》关键词规范

刊期：2004年第07期