摘要：台阶高度测量是目前新提出的国际计量比对项目之一，当前的趋势是向纳米量级精度发展并尽量扩大测量范围。在分析现状和背景的基础上，大致归类了测量台阶高度的几种光学方法，着重介绍了其中绝对干涉方案的最新进展，从测量原理、测量精度以及量程等几方面比较了它们的优缺点。在此基础上提出以可调谐半导体激光器作为光源，采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量，详细分析了方案的原理误差，得到最后的结论。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社