杂志简介：《光电工程》杂志经新闻出版总署批准，自1974年创刊，国内刊号为51-1346/O4，是一本综合性较强的科学期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科学领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述、科研论文
杂志简介：《光电工程》杂志经新闻出版总署批准，自1974年创刊，国内刊号为51-1346/O4，是一本综合性较强的科学期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科学领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述、科研论文
作者：冯伯儒; 张锦; 宗德蓉; 刘娟; 陈宝钦; 刘明 刊期：2004年第01期
用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模(PSM)技术主要有无铬相移掩模(CPM),交替相移掩模(APSM)、衰减相移掩模(AttPSM)和混合相移掩模技术.对这些掩模的基本原理、制作方法及性能比较进行了分析研究.研究表明,无铬相位光刻(CPL)PSM和高透AttPSM 相结合构成的混合掩模最适合用于193nmArF光刻,以产生100nm节点抗蚀剂图形.
作者：陈献忠; 姚汉民; 陈旭南; 李展; 陈元培; 高洪涛; 石建平 刊期：2004年第01期
原子光刻是原子光学在微细加工技术领域的新应用.在对各种材料和真空泵性能综合考虑的基础上,设计并建立了一台用于原子光刻的超高真空蒸发设备.主要设计参数为:极限真空度和工作真空度分别为2.0×10-6 Pa 和1.0×10-5 Pa,原子源温度在300～1850℃范围内连续可调.初步运行结果表明极限真空度优于设计参数,温度连续可调.
作者：李葆华; 张迎春; 李化义; 许士文 刊期：2004年第01期
CCD星敏感器的关键问题是星图识别.从字符串的模式匹配来考虑这个问题,先把星图通过高通滤波器,然后用0-1的方法建立导航星库,再采用KMP算法来进行星图识别.仿真结果表明该算法每区域的识别时间才0.2486ms,并且克服了在许多星等相近的亮星或星对角距很小的视域内识别率严重降低的缺点.该算法有很好的鲁棒性.
作者：伍凡; 陈强 刊期：2004年第01期
根据会聚光路中使用的Offner补偿器和平行光路中使用的两片式补偿器的要求,设计出了四个针对F/1.3抛物面的补偿器,并从剩余波像差、公差要求、加工工艺性、装调等方面对它们的性能做出比较,确定了三个可用于实际补偿检验的设计结果,其剩余波像差均小于λ/35.所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型主镜补偿器的设计.
作者：李朝明; 吴建宏; 唐敏学 刊期：2004年第01期
提出一种复合同轴全息透镜的设计制作方法.该设计方法采用两片离轴全息透镜复合,按使用情况在布喇格条件下进行消像差设计.制作的全息透镜具有衍射效率高和像差小的特点,适合任意给定再现波长的窄带光场合.实验研制了一个全息透镜,其再现衍射效率达到63% .
作者：全薇; 凌宁; 宋贵才; 王肇圻; 陈志辉 刊期：2004年第01期
视觉系统的光学调制传递函数( MTF ),通常采用以大脑知觉为基准,对客观物理刺激进行主观评价的心理物理方法来测量.利用哈特曼-夏克波前传感器测量视觉系统的波像差,再由波像差和瞳函数的自相关,即可得出视觉系统的MTF.与心理物理方法相比,该方法不受被测试者情绪和心理状态的影响,并克服了测量过程繁琐的缺陷,具有客观、简便、快捷的特点,测量...
作者：田秀云; 吴时彬; 伍凡; 陈强; 吴永前 刊期：2004年第01期
通过在光瞳面上取点的方法,找出被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,即影响函数.利用最小二乘法求解一组过定线性方程组,求得被检平面镜的面形误差,拟合出被检平面面形.将其与干涉仪直接测得的面形相比较,发现两种方法得到的结果很接近.
作者：吴旭; 范天泉; 罗名容; 曹学东 刊期：2004年第01期
在普通最小二乘算法的基础上,根据短焦距、超广角光学镜头的实际特性,在线性回归方程组中添加约束条件,并借助 MATLAB Optimization 工具箱求得拟合的结果.计算结果表明, 该方法减小了测量误差对计算结果的影响,改善了畸变随视场的分布,使计算结果更加合理.
作者：苏俊宏; 陈磊; 朱日宏 刊期：2004年第01期
使用工作波长为10.6μm的红外激光平面干涉仪对光盘基片的表面面形进行了移相式干涉法测试,对测试的波面数据进行多项式拟合,并用计算机处理测试结果,实现了光盘平整度的自动化测量.所测光盘基片平整度的峰谷值为7.88μm,均方根值为2.0μm.
作者：郑军; 徐春广; 荆佩忠; 肖定国; 刘中生 刊期：2004年第01期
提出了一种基于环形激光的深孔内膛检测系统,该系统主要由环形激光发生器、反射锥镜、CCD相机以及驱动装置等组成.通过对环形激光器投射在被测身管内膛上的环形光斑进行成像和分析计算,可对身管内膛的一个截面形廓进行检测,并在驱动装置的驱动下,实现对深孔内膛形貌的三维检测.
作者：刘金国; 李杰; 郝志航 刊期：2004年第01期
为了解决三线阵CCD立体测绘相机内方位元素的几何标定问题,提出了一种实现相机亚像元精度内方位元素和交会角标定的方法.该方法利用光学高精度角度发生器和CCD细分测量相结合的检测方法,由最小二乘回归分析,实现相机内方位元素的标定,并通过扫描星点图像标定交会角.校飞实验的数据处理结果验证了该方法的有效性.
作者：马俊锋; 杨甬英; 陈伟; 卓永模 刊期：2004年第01期
在轻敲模式AFM中,利用DMT模型与光探针点衍射理论结合来检测微探针的振动,并对振动信号进行频率域分析,通过检测和控制信号中高次谐波分量使针尖-样品间撞击力保持恒定.测试实验表明,该系统具有结构简单、可测不同材料的样品和对软质材料样品损伤小的优点,其测量重复性可达1%,分辩力可达1～5nm.
作者：梁宜勇 刊期：2004年第01期
一种新的采用基准离焦信号的针孔调焦方案,用于激光直写的自动对焦子系统.通过在离焦曲线上提取参考离焦信号,建立基准离焦判据,它能容易地区分前离焦或后离焦,有效地克服了原有针孔调焦方案难于根据离焦信号来分辨离焦方向的弱点.借助微处理器和模拟电路实现了这一方案,并因此获得了均匀的1μm线宽的线条.
作者：熊文卓; 吴江洪; 孔智勇; 艾华; 张炜 刊期：2004年第01期
根据光栅自成像原理,由波长为690nm的半导体激光器、准直透镜、光电接收元件和光栅等组成细光栅自成像光学系统,得到高质量的莫尔条纹信号.以此信号为基础的细光栅光电轴角编码器具有精度高、频响高、易于实现小型化等优点.该技术是提高光电轴角编码器测角精度和环境适应性的一种新的实用的解决途径.
作者：张永怀; 白鹏; 林继鹏; 刘君华 刊期：2004年第01期
针对红外多组份气体分析存在的问题,采用窄带红外滤光片、光锥、热释电探测器阵列组合技术,研制了一种新型多组份气敏传感器.通过更换滤光片组件功能模块,可实现不同测量领域不同种类气体的定量分析.该传感器具有结构新颖、简单可靠、成本低等特点.实验结果表明,SO2和CO2的最大相对测量误差分别为8.3%和1.2% .
影响因子：0.65
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