摘要：<正> 0507610电容底部电极用渐射氟化钛薄膜作为扩散势垒的增强热稳定性=Enhanced Thermal Stability of a SputteredTitartium-Nitride Film as a Diffusion Barrier for Capaci-tor-Bottom Electrodes[刊,英]/Dong-Soo Yoon.Jae SungRoh//Journal of Electronic Materials.—2003.32(8).—890-898(E)0507611氢能发电机空气供给系统变频控制技术初探[刊,中]/陈海清//光电技术应用.—2004,19(6).—44-49(D2)为了使空气供给系统供气量满足发电系统发电量随负荷变化的要求。在分析感应电机变频调速控制原理的基础上,提出了基于 PEMFC 氢能发电装置空气供给驱动系统采用交流感应电机和矢量控制变频调速

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社