摘要：半导体设备行业是技术含量较高的行业，目前我国90％以上的半导体设备依赖进口，尤其在高端IC设备领域，几乎没有国内设备的声音。因此，从其他半导体设备领域取得突破后，再“反哺”IC设备可以说是中国半导体设备行业最切实可行的路。
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