摘要：基于金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）和Marx发生器电路，研制了一种在重复频率1-100Hz下，最高输出脉冲电压10kv、脉冲宽度从550ns到1μs可调的全固态方波脉冲源。设计中利用直流高压电源作为能源系统，采用MOSFET半导体固态开关替代气体火花隙开关作为放电主开关，用快恢复二极管取代充电电阻。由外部多功能触发器产生脉宽和频率均可调节的触发信号，通过驱动电路控制由MOSFET半导体固态开关构成的放电主开关，经脉冲放电回路在不同负载上实现输出所需的高压方波脉冲。通过实验验证了设计原理及方法的可行性，并给出了单次和重频信号触发下该固态方波脉冲源输出的实验结果。

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